晶圓制造是一項對環境極為敏感的工藝。無論是光刻、刻蝕，還是封裝環節，溫度的細微波動和空氣中的微小顆粒都可能帶來災難性后果，影響芯片的功能或造成短路或斷路，導致整片晶圓報廢。南京拓展科技旗下企業，極測（南京）技術有限公司推出的超精密恒溫潔凈棚，憑借突破性的環境控制技術，為晶圓構建起無可比擬的操作空間，可實現±0.002℃，±0.005℃，±0.05℃，±0.01℃，±0.1℃等不同等級精度的溫度控制，及ISO class1-ISO class6不同等級的潔凈度，相比晶圓操作臺通過被動抵御環境溫度變化，極測精密恒溫潔凈棚通過其在溫度控制和潔凈度管理上的雙重突破，主動調控外部溫度，形成超精密恒溫潔凈間的 “黃金環境”，成為推動半導體產業向更高精度邁進的關鍵力量。因此，光學儀器行業通常要求潔凈室或無塵室的潔凈度達到一定的標準，如千級、萬級或十萬級凈化標準。0.002精密溫控設計

控溫精度：提供業界前列的 ±0.002℃高精密溫度控制能力，溫度水平均勻性嚴格控制在 <16mK/m 范圍內，確保測量過程的穩定性和 0.1% 的控制輸出精度。

濕度與潔凈協同保障：設備同時實現 ±0.5%@8h 的高濕度穩定性，杜絕因濕度問題導致的零部件腐蝕和鏡片結霧風險。潔凈度控制可達百級以上，關鍵工作區蕞高優于 ISO class3 標準，嚴防塵埃顆粒干擾精密光路。
全方wei環境定制：極測具備強大的全場景非標定制能力，不僅能滿足嚴苛的溫濕度穩定性需求，還能根據用戶具體場景定制抗微振、防磁、隔音等綜合環境參數，為干涉儀量身打造理想的工作空間。 浙江精密溫控此外，晶圓在高溫環境下可能會因為熱膨脹而發生變形，影響成品率。

這款高精密環控柜是我司單獨研發的精密環境控制設備，可達成ISOClass1-6級潔凈度，以及±0.1℃、±0.05℃、±0.01℃、±0.002℃等多級溫度波動控制精度。依托全場景非標定制能力，能滿足用戶在溫濕度穩定性、潔凈度、抗微振、防磁、隔音等多方面的個性化需求。設備具備運行數據實時記錄與查詢功能，并配備自動安全防護系統，確保長期穩定運行。其構成包括主柜體、控制系統、氣流循環系統、潔凈過濾器、制冷（熱）系統、照明系統及局部氣浴等，專為光刻機、激光干涉儀等精密測量與制造設備，提供超高精度的溫濕度及潔凈度工作環境。該系統采用“外環境保障相對濕度、大環境穩定絕dui含濕量”的邏輯，通過精zhun控溫實現倉內濕度達標。為滿足嚴苛要求，采用大風量小溫差設計，快速循環過濾空氣并帶走余熱，使關鍵區域溫度波動低至±0.002℃；同時通過多級控溫（表冷盤降溫+多級電加熱升溫），將精度從±0.1℃逐步提升至±0.002℃。

光刻機是半導體制造中的關鍵設備，其功能是通過光學投影方式，將掩模版上的集成電路圖形精確轉移到涂有光刻膠的晶圓表面，實現電路圖形的圖形化轉移工序。在芯片制造流程中，光刻環節是蕞為復雜且成本高昂的工藝步驟，其成本占晶圓制造總成本的三分之一，耗時占比達到 40%-60%，直接決定了芯片的制程精度與生產良率。其關鍵原理是利用高能激光作為光源，光束穿透掩模版后，經過聚光鏡系統進行 1/16 比例的縮小，隨后精zhun聚焦于晶圓表面，使光刻膠發生感光反應，從而完成電路圖形的高精度復制。相當于在頭發絲上刻出一座城市的地圖，其復雜程度和技術挑戰可想而知，也對運行使用環境有極高的要求。極測（南京）精密環控柜滿足用戶不同溫濕度穩定性、潔凈度，氣壓穩定性、抗微振、防磁、隔音等個性化需求。

極測的精密溫控箱罩專為滿足三坐標測量儀等精密設備的嚴苛環境需求而設計。其具備的 ±0.002℃高精密溫度控制能力，猶如為三坐標測量儀構建了一個恒溫 “堡壘”。精密溫控箱罩運用自主研發的高精密控溫技術，確保精密溫控箱罩內部溫度穩定性關鍵區域可達 +/-2mK（靜態），溫度水平均勻性小于 16mK/m。保證測量儀在長時間運行過程中始終保持穩定的測量精度，實現0.1% 的控制輸出精度。除了溫度控制，精密溫控箱罩在濕度和潔凈度方面同樣表現。精密溫控箱罩內部濕度穩定性可達 ±0.5%@8h，避免了因濕度問題導致的測量儀零部件生銹、電子元件短路等故障，延長了設備使用壽命。同時，該系統可實現百級以上潔凈度控制，內部潔凈度蕞高可優于 ISO class3（設備工作區），有效防止灰塵等微小顆粒附著在測量儀的光學部件或被測工件表面，避免對測量精度造成干擾。潔凈室內需配置無塵空氣過濾與流通系統，保證氣流分布合理，無死角，使潔凈空氣充分到達每個角落。天津冷水機組精密溫控

靜謐運行：應用 EC 風機與高效隔音材料，運行噪音低于 45dB，避免噪音對精密操作產生干擾。0.002精密溫控設計

極測（南京）微環境控制系統設備內部濕度穩定性可達 ±0.5%@8h，有效防止因濕度變化引發的光學元件發霉、機械部件生銹等問題，延長立式干涉儀使用壽命。同時，系統可實現百級以上潔凈度控制，蕞高優于 ISO class3（設備工作區），避免灰塵等污染物影響光線傳播與干涉條紋，為干涉儀營造超凈工作空間。 智能功能助力運維極測微環境控制系統具備強大的數據實時記錄查詢功能。運行中的溫度、濕度等關鍵數據自動生成曲線，便于操作人員直觀掌握環境變化。微環境控制系統數據自動保存且可隨時導出，運行狀態與故障狀態同步記錄，方便進行數據分析、質量追溯與故障排查。此外，自動安全保護系統可實現故障自動保護，確保設備全天候穩定運行，減少因故障導致的測量中斷。0.002精密溫控設計