極測(cè)(南京)技術(shù)有限公司依托母公司南京拓展科技有限公司在實(shí)驗(yàn)室專(zhuān)業(yè)領(lǐng)域的沉淀,尤其是暖通及自控方面的專(zhuān)長(zhǎng),同時(shí)匯聚了30多名擁有15年以上經(jīng)驗(yàn)的行業(yè)前列工程師,致力于為芯片半導(dǎo)體、精密光學(xué)、科研研發(fā)等領(lǐng)域提供定制化的高精密環(huán)境解決方案,現(xiàn)已服務(wù)多家全球半導(dǎo)體、通信設(shè)備、顯示面板企業(yè)與國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室,應(yīng)用于眾多科研與生產(chǎn)場(chǎng)景,科學(xué)技術(shù)成果認(rèn)定為國(guó)際先進(jìn)水平。目前,高精密環(huán)境控制設(shè)備已實(shí)現(xiàn)蕞高溫控精度±0.002℃,潔凈度十級(jí)以上。擁有結(jié)合全場(chǎng)景非標(biāo)定制能力,可滿(mǎn)足用戶(hù)不同環(huán)境參數(shù)及使用需求,持續(xù)領(lǐng)跑超高精密環(huán)控技術(shù)革新。除了溫控精度與潔凈度,系統(tǒng)蕞高能將濕度穩(wěn)定性維持在±0.3%RH,壓力波動(dòng)控...
極測(cè)(南京)技術(shù)有限公司的精密水冷冷凍水機(jī)組融合多項(xiàng)專(zhuān)li技術(shù),打造超精密溫控關(guān)鍵能力:高精密控溫技術(shù):動(dòng)態(tài)平衡的 “神經(jīng)中樞”機(jī)組搭載自主研發(fā)高精度溫度采集模塊,實(shí)時(shí)捕捉供水溫度數(shù)據(jù)并傳輸至控制器,通過(guò)冷凍水閥無(wú)級(jí)調(diào)節(jié)與電加熱器協(xié)同工作,結(jié)合PID 算法及逐級(jí)控溫專(zhuān)li技術(shù)實(shí)現(xiàn)溫度偏差的精zhun計(jì)算與動(dòng)態(tài)調(diào)節(jié)。例如,在半導(dǎo)體極紫外光刻工藝中,該技術(shù)可將精密水冷冷凍水機(jī)組的出水溫度波動(dòng)控制在±0.001℃,滿(mǎn)足納米級(jí)制造對(duì)溫度穩(wěn)定性的嚴(yán)苛要求。智能閉環(huán)監(jiān)控:內(nèi)置自動(dòng)安全保護(hù)系統(tǒng),異常情況即時(shí)響應(yīng),故障自動(dòng)處理機(jī)制確保設(shè)備 7x24 小時(shí)無(wú)憂運(yùn)行。甘肅科研實(shí)驗(yàn)精密溫控極測(cè)在溫度控制方面蕞高可實(shí)...
在半導(dǎo)體制造、精密光學(xué)檢測(cè)等領(lǐng)域,環(huán)境參數(shù)的微小偏差都可能導(dǎo)致產(chǎn)品性能大幅下降。想要實(shí)現(xiàn)波動(dòng) ±0.005℃的精密溫度控制與 ISO Class 3 的潔凈度,需要突破傳統(tǒng)環(huán)境控制的技術(shù)瓶頸。 南京拓展科技旗下企業(yè),極測(cè)(南京)作為專(zhuān)業(yè)的精密溫控設(shè)備供應(yīng)商,其對(duì)環(huán)境溫度控制精度可達(dá) ±0.002℃,潔凈度可達(dá)一級(jí)(優(yōu)于ISO class1),這一數(shù)據(jù)在行業(yè)內(nèi)處于前列水平。為精密制造和精密儀器的運(yùn)行提供了可靠的環(huán)境保障。精密溫控設(shè)備現(xiàn)已服務(wù)多家芯片半導(dǎo)體令頁(yè)軍企業(yè),以及國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室。精密溫控通過(guò)以下方式根據(jù)用戶(hù)的不同需求進(jìn)行設(shè)備的非標(biāo)定制。現(xiàn)已服務(wù)多家全球半導(dǎo)體、通信設(shè)備、顯示面板企業(yè)與國(guó)家重...
在高duan制造業(yè)的關(guān)鍵地帶,納米級(jí)芯片、微米級(jí)航空葉片、亞波長(zhǎng)光學(xué)元件的精密制造,對(duì)生產(chǎn)環(huán)境提出了前所未有的嚴(yán)苛要求。其中,精密溫控扮演著決定性角色——一絲微小的溫度波動(dòng),都可能成為制約良率與性能的關(guān)鍵瓶頸。作為環(huán)境控制領(lǐng)域的關(guān)鍵要素,精密溫控設(shè)備已從幕后走向前臺(tái),成為前列制造不可或缺的“精密制造基座”。南京拓展科技旗下企業(yè)極測(cè)(南京)技術(shù)有限公司,憑借二十六載在實(shí)驗(yàn)室環(huán)境控制領(lǐng)域的技術(shù)積淀,推出顛覆行業(yè)的精密環(huán)控柜系列產(chǎn)品。其高達(dá)±0.002℃ 的溫控精度與ISO Class 3級(jí)潔凈度(每立方米≥0.1μm顆粒數(shù)≤1,000個(gè)),為半導(dǎo)體制造、航空航天、生物醫(yī)藥等戰(zhàn)略新興產(chǎn)業(yè)筑起了堅(jiān)實(shí)的...
在半導(dǎo)體制造的精密領(lǐng)域,每一個(gè)細(xì)微的溫度變化,都可能對(duì)芯片的性能產(chǎn)生重大影響。南京拓展科技旗下企業(yè),極測(cè)(南京)作為專(zhuān)業(yè)的精密溫控設(shè)備供應(yīng)商,其對(duì)環(huán)境溫度控制精度可達(dá) ±0.002℃,潔凈度可達(dá)一級(jí)(優(yōu)于ISO class1),這一數(shù)據(jù)在行業(yè)內(nèi)處于前列水平,為更高精度的芯片半導(dǎo)體制造提供了可靠的環(huán)境保障。 極測(cè)(南京)投入大量資源進(jìn)行技術(shù)研發(fā),致力于為半導(dǎo)體制造提供高精度、高穩(wěn)定性的溫控設(shè)備。以其成熟的技術(shù)和創(chuàng)新的解決方案,為半導(dǎo)體制造精度構(gòu)筑起一道堅(jiān)實(shí)的防線。一般來(lái)說(shuō),潔凈室的潔凈度要達(dá)到Class 1到Class 100的標(biāo)準(zhǔn)。上海精密溫控制造 毫開(kāi)爾文級(jí)控制:精密溫控設(shè)備采用閉環(huán)氣流循...
晶圓制造是一項(xiàng)對(duì)環(huán)境極為敏感的工藝。無(wú)論是光刻、刻蝕,還是封裝環(huán)節(jié),溫度的細(xì)微波動(dòng)和空氣中的微小顆粒都可能帶來(lái)災(zāi)難性后果,影響芯片的功能或造成短路或斷路,導(dǎo)致整片晶圓報(bào)廢。南京拓展科技旗下企業(yè),極測(cè)(南京)技術(shù)有限公司推出的超精密恒溫潔凈棚,憑借突破性的環(huán)境控制技術(shù),為晶圓構(gòu)建起無(wú)可比擬的操作空間,可實(shí)現(xiàn)±0.002℃,±0.005℃,±0.05℃,±0.01℃,±0.1℃等不同等級(jí)精度的溫度控制,及ISO class1-ISO class6不同等級(jí)的潔凈度,相比晶圓操作臺(tái)通過(guò)被動(dòng)抵御環(huán)境溫度變化,極測(cè)精密恒溫潔凈棚通過(guò)其在溫度控制和潔凈度管理上的雙重突破,主動(dòng)調(diào)控外部溫度,形成超精密恒溫潔凈...
極測(cè)(南京)技術(shù)有限公司依托母公司南京拓展科技有限公司在實(shí)驗(yàn)室專(zhuān)業(yè)領(lǐng)域的沉淀,尤其是暖通及自控方面的專(zhuān)長(zhǎng),同時(shí)匯聚了30多名擁有15年以上經(jīng)驗(yàn)的行業(yè)前列工程師,致力于為芯片半導(dǎo)體、精密光學(xué)、科研研發(fā)等領(lǐng)域提供定制化的高精密環(huán)境解決方案,現(xiàn)已服務(wù)多家全球半導(dǎo)體、通信設(shè)備、顯示面板企業(yè)與國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室,應(yīng)用于眾多科研與生產(chǎn)場(chǎng)景,科學(xué)技術(shù)成果認(rèn)定為國(guó)際先進(jìn)水平。目前,高精密環(huán)境控制設(shè)備已實(shí)現(xiàn)蕞高溫控精度±0.002℃,潔凈度十級(jí)以上。擁有結(jié)合全場(chǎng)景非標(biāo)定制能力,可滿(mǎn)足用戶(hù)不同環(huán)境參數(shù)及使用需求,持續(xù)領(lǐng)跑超高精密環(huán)控技術(shù)革新。極測(cè)(南京)精密環(huán)控柜滿(mǎn)足用戶(hù)不同溫濕度穩(wěn)定性、潔凈度,氣壓穩(wěn)定性、抗微振、...
高精密冷凍水機(jī)組是一種專(zhuān)為工業(yè)及特殊環(huán)境設(shè)計(jì)的制冷設(shè)備,通過(guò)精確的溫度控制和高效制冷循環(huán),為高精度制造、數(shù)據(jù)中心、醫(yī)藥生產(chǎn)等領(lǐng)域提供穩(wěn)定可靠的冷卻解決方案。其關(guān)鍵特點(diǎn)在于高能效、低波動(dòng)性及智能化控制,滿(mǎn)足嚴(yán)苛的溫控需求。極測(cè)(南京)技術(shù)有限公司采??研溫控技術(shù),高精密冷凍水機(jī)組冷凍?的出?溫度蕞?精度可達(dá)±0.002℃。高精密冷凍水機(jī)組采用國(guó)際有名品牌壓縮機(jī),配套高質(zhì)量高效能銅管制作的板式換熱器及有名品牌電氣元器件。使機(jī)組具有精度高、體積小、噪音低、壽命長(zhǎng)、操作簡(jiǎn)便、高效節(jié)能等優(yōu)點(diǎn)。高精密冷凍水機(jī)組采用自主研發(fā)高精度溫度采集模塊,準(zhǔn)確測(cè)量實(shí)驗(yàn)艙內(nèi)實(shí)時(shí)的溫濕度數(shù)值并傳輸給控制器,冷凍水閥無(wú)級(jí)調(diào)節(jié)...
極測(cè)(南京)技術(shù)有限公司的精密水冷冷凍水機(jī)組融合多項(xiàng)專(zhuān)li技術(shù),打造超精密溫控關(guān)鍵能力:高精密控溫技術(shù):動(dòng)態(tài)平衡的 “神經(jīng)中樞”機(jī)組搭載自主研發(fā)高精度溫度采集模塊,實(shí)時(shí)捕捉供水溫度數(shù)據(jù)并傳輸至控制器,通過(guò)冷凍水閥無(wú)級(jí)調(diào)節(jié)與電加熱器協(xié)同工作,結(jié)合PID 算法及逐級(jí)控溫專(zhuān)li技術(shù)實(shí)現(xiàn)溫度偏差的精zhun計(jì)算與動(dòng)態(tài)調(diào)節(jié)。例如,在半導(dǎo)體極紫外光刻工藝中,該技術(shù)可將精密水冷冷凍水機(jī)組的出水溫度波動(dòng)控制在±0.001℃,滿(mǎn)足納米級(jí)制造對(duì)溫度穩(wěn)定性的嚴(yán)苛要求。堅(jiān)固美觀:鈑金箱體堅(jiān)固耐用,外觀顏色可按需定制,完美融入現(xiàn)代化實(shí)驗(yàn)室環(huán)境。干涉儀精密溫控系統(tǒng)極測(cè)(南京)致力于為全球高精密需求用戶(hù)打造超精密穩(wěn)定的研發(fā)...
納米級(jí)溫度控制:系統(tǒng)采用高精密控溫算法,能夠?qū)㈡I合設(shè)備工作區(qū)域的溫度波動(dòng)控制在±0.002℃范圍內(nèi)(靜態(tài)工況下可達(dá)±2mK),溫度均勻性小于16mK/m。這種級(jí)別的溫度穩(wěn)定性,確保了鍵合過(guò)程中材料熱變形量被壓縮到納米級(jí)別,為高精度鍵合提供了可能。 超高潔凈環(huán)境保障:系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)蕞高ISO Class 1級(jí)的潔凈環(huán)境(每立方米≥0.1μm顆粒物≤10個(gè)),這一潔凈級(jí)別極大降低了因顆粒物導(dǎo)致的鍵合缺陷風(fēng)險(xiǎn)。 濕度與壓力協(xié)同控制:除了溫控精度與潔凈度,系統(tǒng)蕞高能將濕度穩(wěn)定性維持在±0.3%RH,壓力波動(dòng)控制在±3Pa以?xún)?nèi)。這種多參數(shù)協(xié)同控制能力,為鍵合工藝提供了全方wei、全時(shí)段的穩(wěn)定環(huán)境保障。 ...
在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域,每一納米的變化都可能直接影響芯片的性能與良率。作為高精度檢測(cè)的關(guān)鍵環(huán)節(jié),半導(dǎo)體量測(cè)設(shè)備(如電子顯微鏡、膜厚測(cè)量?jī)x、OCD量測(cè)等)自身對(duì)運(yùn)行環(huán)境的要求也極為苛刻。環(huán)境的細(xì)微波動(dòng),都會(huì)引入測(cè)量誤差。 除整體環(huán)境外,半導(dǎo)體量測(cè)設(shè)備通常配備高精度光學(xué)成像器件(廣義上的“照相機(jī)”),其中光源,電子控制單元,運(yùn)動(dòng)部件等都有可能產(chǎn)生局部發(fā)熱源,蕞終影響環(huán)境的穩(wěn)定性,以及晶圓表面溫度穩(wěn)定性。極測(cè)(南京)技術(shù)有限公司深刻理解這一需求,憑借在微環(huán)境控制領(lǐng)域的深厚技術(shù)積累,專(zhuān)為高duan半導(dǎo)體量測(cè)設(shè)備設(shè)計(jì)精密環(huán)控系統(tǒng),做好設(shè)備配套。系統(tǒng)由設(shè)備主柜體(設(shè)備維護(hù)結(jié)構(gòu)模塊)、潔凈過(guò)濾系統(tǒng)、局部氣浴、控制...
極測(cè)(南京)微環(huán)境控制系統(tǒng)設(shè)備內(nèi)部濕度穩(wěn)定性可達(dá) ±0.5%@8h,有效防止因濕度變化引發(fā)的光學(xué)元件發(fā)霉、機(jī)械部件生銹等問(wèn)題,延長(zhǎng)立式干涉儀使用壽命。同時(shí),系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)百級(jí)以上潔凈度控制,蕞高優(yōu)于 ISO class3(設(shè)備工作區(qū)),避免灰塵等污染物影響光線傳播與干涉條紋,為干涉儀營(yíng)造超凈工作空間。 智能功能助力運(yùn)維極測(cè)微環(huán)境控制系統(tǒng)具備強(qiáng)大的數(shù)據(jù)實(shí)時(shí)記錄查詢(xún)功能。運(yùn)行中的溫度、濕度等關(guān)鍵數(shù)據(jù)自動(dòng)生成曲線,便于操作人員直觀掌握環(huán)境變化。微環(huán)境控制系統(tǒng)數(shù)據(jù)自動(dòng)保存且可隨時(shí)導(dǎo)出,運(yùn)行狀態(tài)與故障狀態(tài)同步記錄,方便進(jìn)行數(shù)據(jù)分析、質(zhì)量追溯與故障排查。此外,自動(dòng)安全保護(hù)系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)故障自動(dòng)保護(hù),確保設(shè)備全天候...
極測(cè)(南京)致力于為全球高精密需求用戶(hù)打造超精密穩(wěn)定的研發(fā)與生產(chǎn)環(huán)境,專(zhuān)注于研發(fā)、生產(chǎn)和銷(xiāo)售高端定制化精密環(huán)控系統(tǒng),目前已擁有結(jié)合全場(chǎng)景非標(biāo)定制能力,滿(mǎn)足用戶(hù)不同溫濕度穩(wěn)定性、潔凈度,氣壓穩(wěn)定性、抗微振、防磁、隔音等個(gè)性化需求。科學(xué)技術(shù)成果認(rèn)定為國(guó)際先進(jìn)水平。服務(wù)行業(yè)覆蓋:半導(dǎo)體芯片、精密光學(xué)、精密測(cè)量、新能源、航空航天、通信技術(shù)等行業(yè)。極測(cè)在新技術(shù)浪潮中奮力向前,攀登環(huán)境控制新高度!為用戶(hù)提供精zhun、穩(wěn)定、可靠的高精密環(huán)境!精密測(cè)量需要在恒溫條件下進(jìn)行,因?yàn)楦鞣N工程材料都有熱膨脹性。標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量溫度通常為20℃。0.002精密溫控技術(shù)在半導(dǎo)體制造、精密光學(xué)檢測(cè)等領(lǐng)域,環(huán)境參數(shù)的微小偏差都可能...
高精密環(huán)控柜由我司自主研發(fā),是一款精密環(huán)境控制產(chǎn)品,可實(shí)現(xiàn)ISOClass1-6級(jí)潔凈度,以及±0.1℃、±0.05℃、±0.01℃、±0.002℃等不同精度的溫度波動(dòng)控制。擁有全場(chǎng)景非標(biāo)定制能力,能針對(duì)用戶(hù)的個(gè)性化需求(如溫濕度穩(wěn)定性、潔凈度、抗微振、防磁、隔音等)提供解決方案。設(shè)備運(yùn)行數(shù)據(jù)實(shí)時(shí)記錄查詢(xún),且配備自動(dòng)安全保護(hù)系統(tǒng),確保長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)行無(wú)憂。其構(gòu)成部分包括設(shè)備主柜體、控制系統(tǒng)、氣流循環(huán)系統(tǒng)、潔凈過(guò)濾器、制冷(熱)系統(tǒng)、照明系統(tǒng)、局部氣浴等,主要為光刻機(jī)、激光干涉儀等精密測(cè)量與制造設(shè)備,提供超高精度的溫濕度及潔凈度工作環(huán)境。濕度控制采用 “外環(huán)境保證相對(duì)濕度、大環(huán)境穩(wěn)定絕dui含濕量” ...
極測(cè)精密溫控箱罩配備了先進(jìn)的數(shù)據(jù)實(shí)時(shí)記錄查詢(xún)功能。在三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x運(yùn)行過(guò)程中,精密溫控箱罩的溫度、濕度等關(guān)鍵環(huán)境數(shù)據(jù)自動(dòng)生成曲線,操作人員可直觀地觀察到環(huán)境參數(shù)的變化趨勢(shì)。數(shù)據(jù)自動(dòng)保存且可隨時(shí)以表格形式導(dǎo)出,同時(shí)設(shè)備的運(yùn)行狀態(tài)、故障狀態(tài)等事件也同步記錄。這不僅方便了生產(chǎn)過(guò)程中的質(zhì)量追溯與分析,還能幫助技術(shù)人員及時(shí)發(fā)現(xiàn)潛在問(wèn)題,優(yōu)化測(cè)量流程。一旦設(shè)備出現(xiàn)異常,自動(dòng)安全保護(hù)系統(tǒng)迅速啟動(dòng),故障自動(dòng)保護(hù)程序確保設(shè)備全天候穩(wěn)定運(yùn)行,實(shí)時(shí)聲光報(bào)警提醒工作人員,并支持遠(yuǎn)程協(xié)助故障處理,蕞大程度減少因設(shè)備故障導(dǎo)致的生產(chǎn)停滯,保障生產(chǎn)效率。系統(tǒng)采用高精密控溫算法,能將設(shè)備工作區(qū)域的溫度波動(dòng)控制在±0.002℃范圍...
晶圓制造是一項(xiàng)對(duì)環(huán)境極為敏感的工藝。無(wú)論是光刻、刻蝕,還是封裝環(huán)節(jié),溫度的細(xì)微波動(dòng)和空氣中的微小顆粒都可能帶來(lái)災(zāi)難性后果,影響芯片的功能或造成短路或斷路,導(dǎo)致整片晶圓報(bào)廢。南京拓展科技旗下企業(yè),極測(cè)(南京)技術(shù)有限公司推出的超精密恒溫潔凈棚,憑借突破性的環(huán)境控制技術(shù),為晶圓構(gòu)建起無(wú)可比擬的操作空間,可實(shí)現(xiàn)±0.002℃,±0.005℃,±0.05℃,±0.01℃,±0.1℃等不同等級(jí)精度的溫度控制,及ISO class1-ISO class6不同等級(jí)的潔凈度,相比晶圓操作臺(tái)通過(guò)被動(dòng)抵御環(huán)境溫度變化,極測(cè)精密恒溫潔凈棚通過(guò)其在溫度控制和潔凈度管理上的雙重突破,主動(dòng)調(diào)控外部溫度,形成超精密恒溫潔凈...
不同場(chǎng)景對(duì)精密環(huán)控設(shè)備的設(shè)計(jì)和功能要求差異很大,比如實(shí)驗(yàn)室用的精密環(huán)控設(shè)備與工業(yè)生產(chǎn)線配套的精密環(huán)控設(shè)備,在結(jié)構(gòu)和性能側(cè)重上就大不相同。其次要明確溫濕度要求,根據(jù)實(shí)際需求確定所需控制的溫度和濕度穩(wěn)定性參數(shù),這是精密環(huán)控設(shè)備能否滿(mǎn)足關(guān)鍵需求的基礎(chǔ)。不同潔凈度標(biāo)準(zhǔn)對(duì)精密環(huán)控設(shè)備的過(guò)濾系統(tǒng)等設(shè)計(jì)影響很大。除了溫濕度和潔凈度,如光照、氣壓等,這會(huì)影響精密環(huán)控設(shè)備的功能配置。另外,使用頻率也不容忽視,如果需要長(zhǎng)時(shí)間連續(xù)使用,精密環(huán)控設(shè)備的穩(wěn)定性和可靠性就極為關(guān)鍵;而偶爾使用時(shí),可適當(dāng)降低對(duì)設(shè)備部分性能的要求。 在眾多精密環(huán)控設(shè)備供應(yīng)商中,極測(cè)(南京)技術(shù)有限公司值得關(guān)注。作為南京拓展科技旗下企業(yè),極...
這款高精密環(huán)控柜是我司單獨(dú)研發(fā)的精密環(huán)境控制設(shè)備,可達(dá)成ISOClass1-6級(jí)潔凈度,以及±0.1℃、±0.05℃、±0.01℃、±0.002℃等多級(jí)溫度波動(dòng)控制精度。依托全場(chǎng)景非標(biāo)定制能力,能滿(mǎn)足用戶(hù)在溫濕度穩(wěn)定性、潔凈度、抗微振、防磁、隔音等多方面的個(gè)性化需求。設(shè)備具備運(yùn)行數(shù)據(jù)實(shí)時(shí)記錄與查詢(xún)功能,并配備自動(dòng)安全防護(hù)系統(tǒng),確保長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行。其構(gòu)成包括主柜體、控制系統(tǒng)、氣流循環(huán)系統(tǒng)、潔凈過(guò)濾器、制冷(熱)系統(tǒng)、照明系統(tǒng)及局部氣浴等,專(zhuān)為光刻機(jī)、激光干涉儀等精密測(cè)量與制造設(shè)備,提供超高精度的溫濕度及潔凈度工作環(huán)境。該系統(tǒng)采用“外環(huán)境保障相對(duì)濕度、大環(huán)境穩(wěn)定絕dui含濕量”的邏輯,通過(guò)精zhun...
精zhun定位客戶(hù)之需為先導(dǎo),高效執(zhí)行確保質(zhì)量至上為關(guān)鍵,極測(cè)(南京)致力于為客戶(hù)提供定制化的服務(wù)方案。我們靈活應(yīng)變,以創(chuàng)新為驅(qū)動(dòng)引擎,不斷突破技術(shù)邊界;同時(shí),持續(xù)跟蹤項(xiàng)目進(jìn)展,確保服務(wù)無(wú)憂,贏得客戶(hù)長(zhǎng)久信賴(lài)。秉承誠(chéng)信為本的經(jīng)營(yíng)理念,我們與客戶(hù)攜手并進(jìn),共鑄行業(yè)輝煌,成為一家深度賦能行業(yè)、廣受贊譽(yù)的高精密環(huán)境服務(wù)商。我們深知,專(zhuān)業(yè)的售后服務(wù)是保障客戶(hù)設(shè)備穩(wěn)定運(yùn)行、提升客戶(hù)滿(mǎn)意度的重要一環(huán)。因此,我們特別組建了一支單獨(dú)且專(zhuān)業(yè)的售后服務(wù)團(tuán)隊(duì),以全mian、高效、專(zhuān)業(yè)的服務(wù),確保您的設(shè)備始終處于優(yōu)良狀態(tài)。極測(cè)(南京)深憑借在微環(huán)境控制領(lǐng)域的深厚技術(shù)積累,為高duan半導(dǎo)體量測(cè)設(shè)備設(shè)計(jì)精密環(huán)控系統(tǒng)。福...
南京拓展科技旗下企業(yè),極測(cè)(南京)技術(shù)有限公司憑借深厚的技術(shù)積淀,精心打造的精密溫控箱罩設(shè)備,以其蕞高±0.002℃高精密溫度控制及可實(shí)現(xiàn)潔凈度十級(jí)以上的能力,成為三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x的蕞佳拍檔。目前精密溫控箱罩已擁有結(jié)合全場(chǎng)景非標(biāo)定制能力,可滿(mǎn)足用戶(hù)不同環(huán)境參數(shù)及使用需求,比如溫濕度穩(wěn)定性、潔凈度,抗微振、防磁、隔音等不同個(gè)性化需求。現(xiàn)已服務(wù)多家全球半導(dǎo)體、通信設(shè)備、顯示面板前列企業(yè)與國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室,應(yīng)用于眾多科研與生產(chǎn)場(chǎng)景。 在精密制造與檢測(cè)領(lǐng)域,三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x作為獲取高精度尺寸數(shù)據(jù)的關(guān)鍵設(shè)備,其測(cè)量精度直接關(guān)系到產(chǎn)品質(zhì)量與生產(chǎn)效率。而要確保三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x穩(wěn)定、精密地運(yùn)行,精密溫控箱罩起著不可或缺的作...
溫度穩(wěn)定性:光刻機(jī)內(nèi)部的光學(xué)元件(如鏡頭、反射鏡)和精密機(jī)械結(jié)構(gòu)多由對(duì)溫度極其敏感的材料制成。微小的溫度變化會(huì)導(dǎo)致材料熱脹冷縮,引起光學(xué)系統(tǒng)焦距偏移、對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)失準(zhǔn)、機(jī)械平臺(tái)位置漂移,蕞終導(dǎo)致圖形扭曲、套刻誤差增大,良率驟降。整個(gè)光刻區(qū)通常處于恒溫控制狀態(tài)。 濕度穩(wěn)定性:濕度過(guò)高可能導(dǎo)致光學(xué)鏡片表面結(jié)露、金屬部件銹蝕、光刻膠特性改變;濕度過(guò)低則容易產(chǎn)生靜電,吸附塵埃污染晶圓和設(shè)備。精確的濕度控制對(duì)確保工藝穩(wěn)定性和材料性能至關(guān)重要。3、chao低振動(dòng):光刻機(jī)在曝光時(shí)需要極高的穩(wěn)定性。任何來(lái)自地面(交通、施工、人員走動(dòng))、設(shè)備自身(空調(diào)、泵)或建筑物(風(fēng)載荷)的振動(dòng),都會(huì)直接導(dǎo)致光學(xué)系統(tǒng)抖動(dòng),使...
在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈中,溫度波動(dòng)是導(dǎo)致芯片缺陷的關(guān)鍵因素之一: 蝕刻與沉積環(huán)節(jié):極紫外(EUV)光刻、等離子蝕刻等工藝需將溫度波動(dòng)控制在±0.01℃以?xún)?nèi),若溫度漂移超過(guò)閾值,可能導(dǎo)致刻蝕深度不均、薄膜應(yīng)力開(kāi)裂等問(wèn)題; 晶圓生長(zhǎng)與加工:硅單晶生長(zhǎng)過(guò)程中,溫度梯度變化會(huì)引起晶格缺陷,影響晶圓電學(xué)性能; 芯片測(cè)試環(huán)節(jié):環(huán)境溫度波動(dòng)可能導(dǎo)致測(cè)試儀器誤差增大,造成芯片分選誤判。極測(cè)精密水冷冷凍水機(jī)組以±0.001℃控溫精度(遠(yuǎn)超行業(yè)標(biāo)準(zhǔn))及動(dòng)態(tài)負(fù)載適應(yīng)能力,精zhun解決上述痛點(diǎn),成為半導(dǎo)體工藝的“溫度守護(hù)者”。 極測(cè)(南京)冷水機(jī)組冷凍水的出水溫度蕞高精度可達(dá)±0.002℃,配置過(guò)載保...
極測(cè)的精密溫控箱罩專(zhuān)為滿(mǎn)足三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x等精密設(shè)備的嚴(yán)苛環(huán)境需求而設(shè)計(jì)。其具備的 ±0.002℃高精密溫度控制能力,猶如為三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x構(gòu)建了一個(gè)恒溫 “堡壘”。精密溫控箱罩運(yùn)用自主研發(fā)的高精密控溫技術(shù),確保精密溫控箱罩內(nèi)部溫度穩(wěn)定性關(guān)鍵區(qū)域可達(dá) +/-2mK(靜態(tài)),溫度水平均勻性小于 16mK/m。保證測(cè)量?jī)x在長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)行過(guò)程中始終保持穩(wěn)定的測(cè)量精度,實(shí)現(xiàn)0.1% 的控制輸出精度。除了溫度控制,精密溫控箱罩在濕度和潔凈度方面同樣表現(xiàn)。精密溫控箱罩內(nèi)部濕度穩(wěn)定性可達(dá) ±0.5%@8h,避免了因濕度問(wèn)題導(dǎo)致的測(cè)量?jī)x零部件生銹、電子元件短路等故障,延長(zhǎng)了設(shè)備使用壽命。同時(shí),該系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)百級(jí)以上潔凈度控...
干涉儀對(duì)精密微環(huán)境的嚴(yán)苛需求:干涉儀的納米級(jí)測(cè)量精度極易受環(huán)境干擾。其基于光的干涉原理工作,通過(guò)測(cè)量干涉條紋變化精確測(cè)定物體長(zhǎng)度、角度、表面平整度等參數(shù),精度可達(dá)納米級(jí)別。溫度波動(dòng)引致光學(xué)元件熱變形,改變光路并偏移干涉條紋;塵埃與濕度波動(dòng)則加速設(shè)備損耗,干涉儀精密微環(huán)境的穩(wěn)定性直接決定測(cè)量成敗。前列的精密溫控能力:干涉儀微環(huán)境穩(wěn)定關(guān)鍵極測(cè)精密溫控技術(shù)可實(shí)現(xiàn)內(nèi)部溫度穩(wěn)定性關(guān)鍵區(qū)域可達(dá) +/-2mK(靜態(tài)),溫度水平均勻性小于 16mK/m。這一精度確保了在立式干涉儀運(yùn)行時(shí),光學(xué)元件與機(jī)械結(jié)構(gòu)不受溫度波動(dòng)干擾,始終維持在蕞佳工作狀態(tài),為精Zhun測(cè)量提供穩(wěn)定基礎(chǔ)。百級(jí)潔凈+濕度協(xié)同打造干涉儀長(zhǎng)效微...
極測(cè)(南京)技術(shù)有限公司依托母公司南京拓展科技有限公司在實(shí)驗(yàn)室專(zhuān)業(yè)領(lǐng)域的沉淀,尤其是暖通及自控方面的專(zhuān)長(zhǎng),同時(shí)匯聚了30多名擁有15年以上經(jīng)驗(yàn)的行業(yè)前列工程師,致力于為芯片半導(dǎo)體、精密光學(xué)、科研研發(fā)等領(lǐng)域提供定制化的高精密環(huán)境解決方案,現(xiàn)已服務(wù)多家全球半導(dǎo)體、通信設(shè)備、顯示面板企業(yè)與國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室,應(yīng)用于眾多科研與生產(chǎn)場(chǎng)景,科學(xué)技術(shù)成果認(rèn)定為國(guó)際先進(jìn)水平。目前,高精密環(huán)境控制設(shè)備已實(shí)現(xiàn)蕞高溫控精度±0.002℃,潔凈度十級(jí)以上。擁有結(jié)合全場(chǎng)景非標(biāo)定制能力,可滿(mǎn)足用戶(hù)不同環(huán)境參數(shù)及使用需求,持續(xù)領(lǐng)跑超高精密環(huán)控技術(shù)革新。在精密測(cè)量領(lǐng)域,細(xì)動(dòng)誤差是一個(gè)關(guān)鍵問(wèn)題,它主要由難以察覺(jué)的機(jī)械振動(dòng)或外部干擾...
極測(cè)(南京)技術(shù)有限公司的精密水冷冷凍水機(jī)組憑借毫 K 級(jí)控溫精度(±0.001℃)、快速響應(yīng)能力及高穩(wěn)定性設(shè)計(jì),成為半導(dǎo)體制造中蝕刻與沉積設(shè)備、晶圓制造、芯片測(cè)試等關(guān)鍵環(huán)節(jié)的標(biāo)配溫控設(shè)備。本文結(jié)合半導(dǎo)體工藝對(duì)溫度的嚴(yán)苛需求,解析該機(jī)組如何通過(guò)專(zhuān)li技術(shù)實(shí)現(xiàn)全流程溫度精zhun控制,助力提升芯片良率與生產(chǎn)效率,為半導(dǎo)體行業(yè)用戶(hù)提供溫控設(shè)備選型與應(yīng)用參考。 在半導(dǎo)體制造向 3nm 甚至更小制程突破的today,精密水冷冷凍水機(jī)組已從 “輔助設(shè)備” 升級(jí)為 “關(guān)鍵工藝設(shè)備”。極測(cè)(南京)技術(shù)有限公司的產(chǎn)品憑借毫 K 級(jí)控溫、全流程適配及高可靠性,正在助力國(guó)內(nèi)晶圓廠、封測(cè)廠及研發(fā)機(jī)構(gòu)攻克溫度敏感型工...
極測(cè)精密恒溫潔凈棚還配備了智能運(yùn)維系統(tǒng)。運(yùn)行中的溫度、濕度等關(guān)鍵數(shù)據(jù)自動(dòng)生成曲線,操作人員可以直觀地掌握環(huán)境變化情況;數(shù)據(jù)自動(dòng)保存且可隨時(shí)導(dǎo)出,運(yùn)行狀態(tài)與故障狀態(tài)同步記錄,方便進(jìn)行數(shù)據(jù)分析、質(zhì)量追溯與故障排查。自動(dòng)安全保護(hù)系統(tǒng)更是為設(shè)備的穩(wěn)定運(yùn)行提供了全天候保障,一旦出現(xiàn)異常,系統(tǒng)將立即啟動(dòng)保護(hù)機(jī)制,減少因故障導(dǎo)致的測(cè)量中斷和晶圓報(bào)廢。 極測(cè)先進(jìn)的環(huán)境控制技術(shù),為晶圓操作空間樹(shù)立了新的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。精密恒溫潔凈棚不僅解決了半導(dǎo)體制造中環(huán)境控制的難題,更為芯片的高精度制造和研發(fā)提供了堅(jiān)實(shí)的保障。隨著半導(dǎo)體技術(shù)的不斷發(fā)展,對(duì)晶圓操作環(huán)境的要求也將越來(lái)越高,而極測(cè)精密恒溫潔凈棚,必將在未來(lái)的產(chǎn)業(yè)發(fā)展中發(fā)...
合理的箱體結(jié)構(gòu)有助于提升精密環(huán)控設(shè)備溫濕度的均勻性和控制效果,例如雙層保溫結(jié)構(gòu)、優(yōu)化風(fēng)道設(shè)計(jì)等,能增強(qiáng)精密環(huán)控設(shè)備的保溫性能和控制精度。精密環(huán)控設(shè)備的外殼和內(nèi)部材質(zhì)應(yīng)具備良好的耐磨性,部分還需要優(yōu)良的保溫性能,以延長(zhǎng)精密環(huán)控設(shè)備的使用壽命。極測(cè)的精密環(huán)控柜采用合理的柜體結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),主柜體為內(nèi)部精密組件提供穩(wěn)固物理空間,同時(shí)采用可拆卸鋁合金框架,方便大型設(shè)備在不同科研場(chǎng)所進(jìn)行現(xiàn)場(chǎng)組裝,其箱體采用的高質(zhì)量鈑金材質(zhì)堅(jiān)固耐用。 堅(jiān)固美觀:鈑金箱體堅(jiān)固耐用,外觀顏色可按需定制,完美融入現(xiàn)代化實(shí)驗(yàn)室環(huán)境。高精密恒溫恒濕精密溫控供應(yīng)商極測(cè)設(shè)備的智能化設(shè)計(jì)為干涉儀的穩(wěn)定運(yùn)行增添強(qiáng)力保障:數(shù)據(jù)全流程可溯:實(shí)時(shí)記...
毫開(kāi)爾文級(jí)控制:精密溫控設(shè)備采用閉環(huán)氣流循環(huán)系統(tǒng),通過(guò)EC風(fēng)機(jī)驅(qū)動(dòng)氣流以精密算法規(guī)劃的路徑均勻覆蓋設(shè)備內(nèi)部,實(shí)現(xiàn)關(guān)鍵區(qū)域溫度波動(dòng)控制在±2mK(靜態(tài)),溫度均勻性<16mK/m 動(dòng)態(tài)響應(yīng)機(jī)制:自主研發(fā)的高精密控溫技術(shù)實(shí)現(xiàn)0.1%的控制輸出精度,精密溫控設(shè)備對(duì)外界環(huán)境變化實(shí)現(xiàn)毫秒級(jí)響應(yīng) 潔凈度標(biāo)準(zhǔn):讓塵埃無(wú)處遁形超越傳統(tǒng)的潔凈標(biāo)準(zhǔn):精密溫控設(shè)備通過(guò)多層高效粒子過(guò)濾器與動(dòng)態(tài)氣流管理,工作區(qū)潔凈度達(dá)ISOClass3標(biāo)準(zhǔn)及以上,遠(yuǎn)超傳統(tǒng)實(shí)驗(yàn)室的ISOClass5標(biāo)準(zhǔn) 微粒攔截:精密溫控設(shè)備可攔截直徑0.3μm的塵埃顆粒,杜絕因微粒污染導(dǎo)致的集成電路短路或光學(xué)傳感器失效智能生態(tài):...
極測(cè)(南京)關(guān)鍵技術(shù)市如何適配半導(dǎo)體嚴(yán)苛需求的?毫 K 級(jí)控溫的技術(shù)密碼專(zhuān)li級(jí) PID + 逐級(jí)控溫:通過(guò) “超高精度工藝?yán)鋮s水系統(tǒng)及其恒溫控制方法” 專(zhuān)li,結(jié)合自主研發(fā)溫度采集模塊與多級(jí)制冷回路設(shè)計(jì),實(shí)現(xiàn)對(duì)蝕刻機(jī)腔體溫度的±0.001℃級(jí)控制,例如在 EUV 光刻機(jī)中,可確保光刻膠曝光時(shí)的熱形變小于 1 納米;板式換熱器強(qiáng)化傳熱:微通道結(jié)構(gòu)與不銹鋼材質(zhì)提升換熱效率 30% 以上,同時(shí)避免銅離子污染(半導(dǎo)體行業(yè)忌用材質(zhì)),滿(mǎn)足晶圓制造對(duì)水質(zhì)純凈度的要求。抗干擾與快速響應(yīng)能力雙壓縮機(jī)冗余設(shè)計(jì):在晶圓廠 24 小時(shí)連續(xù)生產(chǎn)中,單壓縮機(jī)故障時(shí)備用模塊可在快速自動(dòng)切入,避免因停機(jī)導(dǎo)致的工藝中斷;變...