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河南精密溫控

來源: 發布時間:2025-12-09

極測(南京)技術有限公司依托母公司南京拓展科技有限公司在實驗室專業領域的沉淀,尤其是暖通及自控方面的專長,同時匯聚了30多名擁有15年以上經驗的行業前列工程師,致力于為芯片半導體、精密光學、科研研發等領域提供定制化的高精密環境解決方案,現已服務多家全球半導體、通信設備、顯示面板企業與國家重點實驗室,應用于眾多科研與生產場景,科學技術成果認定為國際先進水平。目前,高精密環境控制設備已實現蕞高溫控精度±0.002℃,潔凈度十級以上。擁有結合全場景非標定制能力,可滿足用戶不同環境參數及使用需求,持續領跑超高精密環控技術革新。極測(南京)精密環控柜滿足用戶不同溫濕度穩定性、潔凈度,氣壓穩定性、抗微振、防磁、隔音等個性化需求。河南精密溫控

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在實際應用中,極測的溫控設備已經在眾多半導體制造企業中發揮了重要作用。某有名芯片制造企業在引入極測的溫控設備后,光刻工藝的精度得到了明顯提升。由于溫度控制更加精zhun,芯片上的電路圖案更加清晰、準確,有效減少了因溫度問題導致的圖案偏差和缺陷,產品良率大幅提高?,F已服務多家芯片半導體前列企業與國家重點實驗室。 同時極測(南京)具備全場景非標定制能力。可根據不同客戶的需求根據溫濕度穩定性、潔凈度,以及抗微振、防磁、隔音等個性化參數,進行靈活定制。廣東集成電路精密溫控極測(南京)高精密環境控制設備確保實驗結果的準確性和可靠性,滿足光刻機、加速器等設備的恒溫需求。

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納米級溫度控制:系統采用高精密控溫算法,能夠將鍵合設備工作區域的溫度波動控制在±0.002℃范圍內(靜態工況下可達±2mK),溫度均勻性小于16mK/m。這種級別的溫度穩定性,確保了鍵合過程中材料熱變形量被壓縮到納米級別,為高精度鍵合提供了可能。

超高潔凈環境保障:系統可實現蕞高ISO Class 1級的潔凈環境(每立方米≥0.1μm顆粒物≤10個),這一潔凈級別極大降低了因顆粒物導致的鍵合缺陷風險。
濕度與壓力協同控制:除了溫控精度與潔凈度,系統蕞高能將濕度穩定性維持在±0.3%RH,壓力波動控制在±3Pa以內。這種多參數協同控制能力,為鍵合工藝提供了全方wei、全時段的穩定環境保障。

高精密環境控制設備是一款自主研發的精密環境控制產品,主要由設備主柜體、控制系統、氣流循環系統、潔凈過濾器、制冷(熱)系統、照明系統、局部氣浴等組成,為光刻機、激光干涉儀等精密測量、精密制造設備提供招高精度溫濕度、潔凈度的工作環境。該設備內部通過風機引導氣流以一定的方向循環,控制系統對循環氣流的每個環節進行處理,從而使柜內的溫濕度達到超高的控制精度。溫度穩定性蕞高可達±0.002°C,濕度穩定性蕞高可達±0.3%RH,潔凈等級蕞高可實現 ISO class 1級。極測(南京)高精密環境控制設備已實現蕞高溫控精度±0.002℃,潔凈度十級以上。

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極測方案:蕞高±0.002℃精密溫控,鑄就測量 “計量基準”
極測專為干涉儀等高精密儀器研發的精密環境控制設備,其關鍵競爭力在于精密溫控技術的突破性表現:

控溫精度:提供業界前列的 ±0.002℃高精密溫度控制能力,溫度水平均勻性嚴格控制在 <16mK/m 范圍內,確保測量過程的穩定性和 0.1% 的控制輸出精度。

濕度與潔凈協同保障:設備同時實現 ±0.5%@8h 的高濕度穩定性,杜絕因濕度問題導致的零部件腐蝕和鏡片結霧風險。潔凈度控制可達百級以上,關鍵工作區蕞高優于 ISO class3 標準,嚴防塵埃顆粒干擾精密光路。
全方wei環境定制:極測具備強大的全場景非標定制能力,不僅能滿足嚴苛的溫濕度穩定性需求,還能根據用戶具體場景定制抗微振、防磁、隔音等綜合環境參數,為干涉儀量身打造理想的工作空間。 極測(南京)專注于研發、生產和銷售高端定制化精密環控系統,目前已擁有結合全場景非標定制能力。河南精密溫控

半導體生產過程中使用的許多材料對濕度也非常敏感。例如,光刻膠在高濕環境下容易吸濕,影響其固化效果。河南精密溫控

極測的精密溫控箱罩專為滿足三坐標測量儀等精密設備的嚴苛環境需求而設計。其具備的 ±0.002℃高精密溫度控制能力,猶如為三坐標測量儀構建了一個恒溫 “堡壘”。精密溫控箱罩運用自主研發的高精密控溫技術,確保精密溫控箱罩內部溫度穩定性關鍵區域可達 +/-2mK(靜態),溫度水平均勻性小于 16mK/m。保證測量儀在長時間運行過程中始終保持穩定的測量精度,實現0.1% 的控制輸出精度。除了溫度控制,精密溫控箱罩在濕度和潔凈度方面同樣表現。精密溫控箱罩內部濕度穩定性可達 ±0.5%@8h,避免了因濕度問題導致的測量儀零部件生銹、電子元件短路等故障,延長了設備使用壽命。同時,該系統可實現百級以上潔凈度控制,內部潔凈度蕞高可優于 ISO class3(設備工作區),有效防止灰塵等微小顆粒附著在測量儀的光學部件或被測工件表面,避免對測量精度造成干擾。河南精密溫控

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