針對碳化硅襯底生長的高溫需求，國瑞熱控**加熱盤采用多加熱器分區布局技術，**溫度梯度可控性差的行業難題！加熱盤主體選用耐高溫石墨基材，表面噴涂碳化硅涂層，在2200℃高溫下仍保持結構穩定，熱導率達180W/mK，適配PVT法、TSSG法等主流生長工藝！內部劃分12個**溫控區域，每個區域控溫精度達±2℃，通過精細調節溫度梯度控制晶體生長速率，助力8英寸碳化硅襯底量產！設備配備石墨隔熱屏與真空密封結構，在10??Pa真空環境下無雜質釋放，與晶升股份等設備廠商聯合調試適配，使襯底生產成本較進口方案降低30%以上，為新能源汽車、5G通信等領域提供**材料支撐！嚴格老化測試檢驗，確保產品零缺陷，品質保證。閔行區涂膠顯影加熱盤非標定制

國瑞熱控依托10余年半導體加熱盤研發經驗，提供全流程定制化研發服務，滿足客戶特殊工藝需求！服務流程涵蓋需求分析、方案設計、原型制作、性能測試、批量生產五大環節，可根據客戶提供的工藝參數（溫度范圍、控溫精度、尺寸規格、環境要求等），定制特殊材質（如高純石墨、氮化硅陶瓷）、特殊結構（如多腔體集成、異形加熱面）的加熱盤！配備專業研發團隊（含材料學、熱力學、機械設計工程師），采用ANSYS溫度場仿真軟件優化設計方案，原型樣品交付周期**短10個工作日，且提供3次**方案迭代！已為國內多家半導體設備廠商定制**加熱盤，如為某企業開發的真空腔體集成加熱盤，實現加熱與勻氣功能一體化，滿足其特殊制程的空間限制需求！長寧區晶圓加熱盤生產廠家精密實驗理想熱源，控溫精度高熱分布均勻，確保實驗結果準確可靠。

為解決加熱盤長期使用后的溫度漂移問題，國瑞熱控開發**校準模塊，成為半導體生產線的精度保障利器。模塊采用鉑電阻與熱電偶雙傳感設計，測溫精度達 ±0.05℃，可覆蓋室溫至 800℃全溫度范圍，適配不同材質加熱盤的校準需求。配備便攜式數據采集終端，支持實時顯示溫度分布曲線與偏差分析，數據可通過 USB 導出形成校準報告。校準過程無需拆卸加熱盤，通過磁吸式貼合加熱面即可完成檢測，單臺設備校準時間縮短至 30 分鐘以內。適配國瑞全系列半導體加熱盤，同時兼容 Kyocera、CoorsTek 等國際品牌產品，幫助企業建立完善的溫度校準體系，確保工藝參數的一致性與可追溯性。

國瑞熱控依托 10 余年半導體加熱盤研發經驗，提供全流程定制化研發服務，滿足客戶特殊工藝需求。服務流程涵蓋需求分析、方案設計、原型制作、性能測試、批量生產五大環節，可根據客戶提供的工藝參數（溫度范圍、控溫精度、尺寸規格、環境要求等），定制特殊材質（如高純石墨、氮化硅陶瓷）、特殊結構（如多腔體集成、異形加熱面）的加熱盤。配備專業研發團隊（含材料學、熱力學、機械設計工程師），采用 ANSYS 溫度場仿真軟件優化設計方案，原型樣品交付周期**短 10 個工作日，且提供 3 次**方案迭代。已為國內多家半導體設備廠商定制**加熱盤，如為某企業開發的真空腔體集成加熱盤，實現加熱與勻氣功能一體化，滿足其特殊制程的空間限制需求。熱響應速度快，快速達溫穩定，減少等待時間提升效率。

針對晶圓清洗后的烘干環節，國瑞熱控**加熱盤以潔凈高效的特性適配嚴苛需求！產品采用高純不銹鋼基材，表面經電解拋光與鈍化處理，粗糙度Ra小于0.2μm，減少水分子附著與雜質殘留！加熱面采用蜂窩狀導熱結構，使熱量均勻分布，晶圓表面溫度差控制在±2℃以內，避免因局部過熱導致的晶圓翹曲！溫度調節范圍覆蓋50℃至150℃，支持階梯式升溫程序，適配不同清洗液的烘干需求！設備整體采用無死角結構設計，清潔時*需用高純酒精擦拭即可，符合半導體制造的高潔凈標準，為清洗后晶圓的干燥質量與后續工藝銜接提供保障！遠程監控功能可選，實時掌握設備狀態，智能便捷管理。高精度均溫加熱盤

獨特加熱元件設計，熱效率高節能環保，穩定安全。閔行區涂膠顯影加熱盤非標定制

國瑞熱控高真空半導體加熱盤，專為半導體精密制造的真空環境設計，實現無污染加熱解決方案！產品采用特殊密封結構與高純材質制造，所有部件均經過真空除氣處理，在10??Pa高真空環境下無揮發性物質釋放，避免污染晶圓表面！加熱元件采用嵌入式設計，與基材緊密結合，熱量傳遞損耗降低30%，熱效率***提升！通過內部溫度場模擬優化，加熱面均溫性達±1℃，適配光學器件鍍膜、半導體晶圓加工等潔凈度要求嚴苛的場景！設備可耐受反復升溫降溫循環，在-50℃至500℃溫度區間內結構穩定，為高真空環境下的精密制造提供符合潔凈標準的溫控保障！閔行區涂膠顯影加熱盤非標定制

無錫市國瑞熱控科技有限公司在同行業領域中，一直處在一個不斷銳意進取，不斷制造創新的市場高度，多年以來致力于發展富有創新價值理念的產品標準，在江蘇省等地區的電工電氣中始終保持良好的商業口碑，成績讓我們喜悅，但不會讓我們止步，殘酷的市場磨煉了我們堅強不屈的意志，和諧溫馨的工作環境，富有營養的公司土壤滋養著我們不斷開拓創新，勇于進取的無限潛力，無錫市國瑞熱控科技供應攜手大家一起走向共同輝煌的未來，回首過去，我們不會因為取得了一點點成績而沾沾自喜，相反的是面對競爭越來越激烈的市場氛圍，我們更要明確自己的不足，做好迎接新挑戰的準備，要不畏困難，激流勇進，以一個更嶄新的精神面貌迎接大家，共同走向輝煌回來！