國瑞熱控高真空半導體加熱盤，專為半導體精密制造的真空環境設計，實現無污染加熱解決方案。產品采用特殊密封結構與高純材質制造，所有部件均經過真空除氣處理，在 10??Pa 高真空環境下無揮發性物質釋放，避免污染晶圓表面。加熱元件采用嵌入式設計，與基材緊密結合，熱量傳遞損耗降低 30%，熱效率***提升。通過內部溫度場模擬優化，加熱面均溫性達 ±1℃，適配光學器件鍍膜、半導體晶圓加工等潔凈度要求嚴苛的場景。設備可耐受反復升溫降溫循環，在 - 50℃至 500℃溫度區間內結構穩定，為高真空環境下的精密制造提供符合潔凈標準的溫控保障。高精度溫控可達±1℃，滿足半導體等嚴苛工藝需求。山西刻蝕晶圓加熱盤非標定制

國瑞熱控 12 英寸半導體加熱盤專為先進制程量產需求設計，采用氮化鋁陶瓷與高純銅復合基材，通過多道精密研磨工藝，使加熱面平面度誤差控制在 0.015mm 以內，完美貼合大尺寸晶圓的均勻受熱需求。內部采用分區式加熱元件布局，劃分 8 個**溫控區域，配合高精度鉑電阻傳感器，實現 ±0.8℃的控溫精度，滿足 7nm 至 14nm 制程對溫度均勻性的嚴苛要求。設備支持真空吸附與靜電卡盤雙重固定方式，適配不同類型的反應腔結構，升溫速率達 20℃/ 分鐘，工作溫度范圍覆蓋室溫至 600℃，可兼容 PVD、CVD、刻蝕等多道關鍵工藝。通過與中芯國際、長江存儲等企業的深度合作，已實現與國產 12 英寸晶圓生產線的無縫對接，為先進制程規模化生產提供穩定溫控支撐。黃浦區加熱盤升溫迅速表面溫差小，過熱保護安全耐用，為設備護航。

針對半導體濕法工藝中溶液溫度控制需求，國瑞熱控濕法**加熱盤采用耐腐蝕不銹鋼材質，經電解拋光與鈍化處理，可耐受酸堿溶液長期浸泡無腐蝕。加熱盤內置密封式加熱元件，與溶液完全隔離，避免漏電風險，同時具備 1500V/1min 的電氣強度，使用安全可靠。通過底部加熱與側面保溫設計，使溶液溫度均勻性控制在 ±1℃以內，溫度調節范圍覆蓋 25℃至 100℃，滿足濕法刻蝕、清洗等工藝的溫度要求。配備高精度溫度傳感器，實時監測溶液溫度，當溫度超出設定范圍時自動啟動加熱或冷卻調節，確保化學反應平穩進行。設備適配不同規格的濕法工藝槽體，可根據槽體尺寸定制加熱盤形狀與功率，為半導體濕法工藝的穩定性與重復性提供保障。

國瑞熱控半導體測試用加熱盤，專為芯片性能測試環節的溫度環境模擬設計，可精細復現芯片工作時的溫度條件！設備溫度調節范圍覆蓋-40℃至150℃，支持快速升溫和降溫，速率分別達25℃/分鐘和20℃/分鐘，能模擬不同工況下的溫度變化！加熱盤表面采用柔性導熱墊層，適配不同厚度的測試芯片，確保熱量均勻傳遞至芯片表面，溫度控制精度達±0.5℃！配備可編程溫度控制系統，可預設多段溫度曲線，滿足長時間穩定性測試需求！設備運行時無電磁場干擾，避免對測試數據產生影響，同時具備過溫、過流雙重保護功能，為半導體芯片的性能驗證與質量檢測提供專業溫度環境！表面特殊處理，耐腐蝕易清潔，適用化學食品領域。

針對半導體載板制造中的溫控需求，國瑞熱控**加熱盤以高穩定性適配載板鉆孔、電鍍等工藝。采用不銹鋼基材經硬化處理，表面硬度達 HRC50 以上，耐受載板加工過程中的機械沖擊無變形。加熱元件采用蛇形分布設計，加熱面溫度均勻性達 ±1℃，溫度調節范圍 40℃-180℃，適配載板預加熱、樹脂固化等環節。配備真空吸附系統，可牢固固定不同尺寸載板（50mm×50mm 至 300mm×300mm），避免加工過程中位移導致的精度偏差。與深南電路、興森快捷等載板廠商合作，支持 BT 樹脂、玻璃纖維等不同材質載板加工，為 Chiplet 封裝、扇出型封裝提供高質量載板保障。多種安裝方式可選，靈活適配不同設備，安裝簡便快捷。閔行區陶瓷加熱盤供應商

模塊化設計理念，維護更換簡單快捷，大幅降低運維成本。山西刻蝕晶圓加熱盤非標定制

為解決加熱盤長期使用后的溫度漂移問題，國瑞熱控開發**校準模塊，成為半導體生產線的精度保障利器！模塊采用鉑電阻與熱電偶雙傳感設計，測溫精度達±0.05℃，可覆蓋室溫至800℃全溫度范圍，適配不同材質加熱盤的校準需求！配備便攜式數據采集終端，支持實時顯示溫度分布曲線與偏差分析，數據可通過USB導出形成校準報告！校準過程無需拆卸加熱盤，通過磁吸式貼合加熱面即可完成檢測，單臺設備校準時間縮短至30分鐘以內！適配國瑞全系列半導體加熱盤，同時兼容Kyocera、CoorsTek等國際品牌產品，幫助企業建立完善的溫度校準體系，確保工藝參數的一致性與可追溯性！山西刻蝕晶圓加熱盤非標定制

無錫市國瑞熱控科技有限公司是一家有著雄厚實力背景、信譽可靠、勵精圖治、展望未來、有夢想有目標，有組織有體系的公司，堅持于帶領員工在未來的道路上大放光明，攜手共畫藍圖，在江蘇省等地區的電工電氣行業中積累了大批忠誠的客戶粉絲源，也收獲了良好的用戶口碑，為公司的發展奠定的良好的行業基礎，也希望未來公司能成為*****，努力為行業領域的發展奉獻出自己的一份力量，我們相信精益求精的工作態度和不斷的完善創新理念以及自強不息，斗志昂揚的的企業精神將**無錫市國瑞熱控科技供應和您一起攜手步入輝煌，共創佳績，一直以來，公司貫徹執行科學管理、創新發展、誠實守信的方針，員工精誠努力，協同奮取，以品質、服務來贏得市場，我們一直在路上！