前驅體法優點是:產物尺寸均一,品質好。缺點是:前驅體的處理比較繁瑣,無法進行連續生產。6、模板誘導-水熱法模板誘導-水熱法是將模板法和水熱法結合起來,以硫酸鋁為前驅體加入模板劑制備了薄水鋁石陶瓷,并經1200℃煅燒制得了α-Al2O3陶瓷。模板劑加...
新能源材料 1) 多孔陶瓷因其與液體和氣體的接觸面積大,使電解池的槽電壓比使用一般材料低得多,而成為優良的電解隔膜材料,可**降低電解槽電壓,提高電解效率,節約電能和昂貴的電極材料。目前陶瓷隔膜材料已用在化學電池、燃料電池、光化學電池中,特別是固體氧...
微孔陶瓷吸盤的性能2018-10-1917:01高致密性陶瓷真空吸盤(多孔陶瓷真空吸盤),特殊的多孔陶瓷材料其孔徑為2~3微米,不易阻塞真空力大,部份面積吸附,同時也可作氣浮平臺,廣泛應用半導體、面板、雷射制程及非接觸線性滑軌。多孔陶瓷真空吸盤是密...
高致密性陶瓷真空吸盤(多孔陶瓷真空吸盤),特殊的多孔陶瓷材料其孔徑為2~3微米,不易阻塞真空力大,部份面積吸附,同時也可作氣浮平臺,廣泛應用半導體、面板、雷射制程及非接觸線性滑軌。多孔陶瓷真空吸盤是密封的空氣來維持傳輸,裝置應用***用于平坦,無孔...
一種用于傳送晶圓的真空吸附機械手,其特征在于,包括:手臂;固定在所述手臂上的吸附絕緣凸臺;設置在所述手臂和吸附絕緣凸臺內的真空氣道;所述吸附絕緣凸臺呈環形,所述吸附絕緣凸臺所圍成的空間構成所述真空氣道的其中一段;位于所述吸附絕緣凸臺內的偽絕緣凸臺,所述偽絕緣凸...
在光學儀器制造領域,微孔陶瓷真空吸盤同樣不可或缺。光學元件通常具有高精度、高表面質量的要求,任何微小的損傷都可能影響光學性能。微孔陶瓷真空吸盤的細膩表面和均勻吸附力能夠在搬運和加工光學元件時,很大限度地減少對元件表面的損傷。比如在鏡片的研磨和拋光過程中,需要將...
建模理論柔性機械臂動力學方程的建立主要是利用Lagrange方程和NeWton-Euler方程這兩個相當有代表性的方程。另外比較常用的還有變分原理,虛位移原理以及Kane方程的方法。而柔性體變形的描述是柔性機械臂系統建模與控制的基礎。因此因首先選擇...
微孔陶瓷吸盤的性能2018-10-1917:01高致密性陶瓷真空吸盤(多孔陶瓷真空吸盤),特殊的多孔陶瓷材料其孔徑為2~3微米,不易阻塞真空力大,部份面積吸附,同時也可作氣浮平臺,廣泛應用半導體、面板、雷射制程及非接觸線性滑軌。多孔陶瓷真空吸盤是密...
種微孔真空吸盤工作臺的制作方法 【技術領域】 [0001]本實用新型涉及一種微孔真空吸盤工作臺,屬于機械設備領域。 【背景技術】 [0002]劃片刀用于精密加工,由于它的損耗速度非常快,因此需求量非常大。生產劃片刀需要使用晶圓劃片機...
精密結構陶瓷的性能測試也是非常重要的環節。為了確保材料的性能符合要求,需要對其進行一系列的性能測試,包括力學性能測試、熱性能測試、電學性能測試、化學性能測試等。力學性能測試主要包括強度、硬度、韌性等指標的測試;熱性能測試主要包括熱膨脹系數、熱導率、耐高溫性能等...
晶圓運送機械吸臂是半導體制造過程中不可或缺的重要設備之一。它主要用于將晶圓從一個工序轉移到另一個工序,確保晶圓在整個制造過程中的安全和穩定運輸。 晶圓運送機械吸臂具有高度的自動化和精確性。它采用先進的自動控制系統,能夠準確地定位和抓取晶圓,避免了人為...
割拋光: 單晶棒將按適當的尺寸進行切割,然后進行研磨,將凹凸的切痕磨掉,再用化學機械拋光工藝使其至少一面光滑如鏡,晶圓片制造就完成了。 二,晶圓制造步驟 晶圓鍍膜: 通過物理或其他方式(如高溫等)使晶圓上產生一層二氧化硅。二氧化硅為...
四、醫學生物材料氧化鋯陶瓷材料在生物醫學領域內最常見的應用是作為齒科修復材料和手術***;在日本和美國等國家利用氧化鋯材質制作的烤瓷牙透明度好、生物相容性好,質量優良;而且目前已經有一些研究人員已經成功運用氧化鋯材料制成人造骨頭等用于醫療目的。以上...
一種晶圓傳輸裝置及其真空吸附機械手,該真空吸附機械手包括:手臂;固定在所述手臂上的吸附絕緣凸臺;設置在所述手臂和吸附絕緣凸臺內的真空氣道;所述吸附絕緣凸臺用于吸附待傳送晶圓的背面,所述吸附絕緣凸臺的硬度小于所述待傳送晶圓的背面的硬度。由于吸附絕緣凸臺的硬度小于...
建模理論柔性機械臂動力學方程的建立主要是利用Lagrange方程和NeWton-Euler方程這兩個相當有代表性的方程。另外比較常用的還有變分原理,虛位移原理以及Kane方程的方法。而柔性體變形的描述是柔性機械臂系統建模與控制的基礎。因此因首先選擇...
耐磨膠泥使用方法:主要分以下四個驟:1、表面處理:針對缺點工件需要部位進行粗糙化處理,可選擇用角磨機打磨或噴砂等方式進行表面粗化;然后對打磨后粗化的表面進行清洗處理,可用**或乙酸乙酯等試劑進行清洗;被處理后的部位表面應確保是干燥新鮮的基材表面,并...
吸盤類型:微孔陶瓷。 主要特點:平面度、平行度好,組織致密均勻、強度高、通透性好、吸附力均勻。 我廠位于享譽中國科技前沿重鎮的珠三角,有10多年專業生產加工氧化鋁、氧化鋯、氮化硅、碳化硅陶瓷生產加工經驗。技術力量雄厚、設備精良,加工經驗豐富。現...
一、成型氧化鋯結構陶瓷的成型方法目前用得較多的有三種:熱壓鑄成型、干壓成型和等靜壓成型。1、熱壓鑄成型對于氧化鋯結構陶瓷小型產品或形狀復雜的產品。一般采用熱壓鑄成型方法。該成型方法比較簡單,特別適宜于生產批量大或形狀復雜的中小型產品。但氧化鋯熱壓鑄...
本發明針對現有技術中的不足,提供了一種晶圓搬運機械手,本發明的機械手在傳送過程中晶片中心始終保證直線運動,且角度不會發生改變。從而提高機械手整體剛度和承重能力,同時提高了重復定位精度。本發明結構合理性能穩定,維護方便,多功能集一身,可滿足多種工藝設...
材質 (1)高硅質硅酸鹽材料,它主要以硬質瓷渣、耐酸陶瓷渣及其他耐酸的合成陶瓷顆粒為骨料,具有耐水性、耐酸性,使用溫度達700℃。 (2)鋁硅酸鹽材料,它以耐火粘土熟料、燒礬土、硅線石和合成莫來石顆粒為骨料。具有耐酸性和耐弱堿性,使用溫度達1 ...
精密結構陶瓷是一種具有優異物理、化學和機械性能的無機非金屬材料。精密結構陶瓷的基本特性: 強度高:精密結構陶瓷的強度遠高于傳統金屬材料,可承受極高的壓力和拉伸力。 高硬度:精密結構陶瓷的硬度僅次于金剛石,使其具有出色的耐磨性。 耐腐蝕性:...
半導體晶圓有時在處理室內暴露在高溫中。因此,機械手有時輸送高溫的半導體晶圓。若高溫的半導體晶圓與手部接觸,則手部的溫度上升,并且配置在前臂連桿與手部之間的關節的溫度也上升。由此,安裝于關節的軸承的溫度上升。軸承的溫度上升促進該軸承內的潤滑劑的劣化。因此,與配置...
高致密性陶瓷真空吸盤(多孔陶瓷真空吸盤),特殊的多孔陶瓷材料其孔徑為2~3微米,不易阻塞真空力大,部份面積吸附,同時也可作氣浮平臺,廣泛應用半導體、面板、雷射制程及非接觸線性滑軌。多孔陶瓷真空吸盤是密封的空氣來維持傳輸,裝置應用***用于平坦,無孔...
7、復合增韌復合增韌是指在ZrO2陶瓷實際增韌過程中同時采用幾種增韌機理,從而提高ZrO2陶瓷增韌效果。在實際應用過程中,根據所要制備氧化鋯陶瓷材料的不同性能,來選擇具體的增韌機理。8、納米增韌目前,納米增韌主要有三種學術觀點,即:細化理論,穿晶理...
綜上所述,由于氧化鋯陶瓷自身有著諸多***的特點,所以近些年來,利用氧化鋯陶瓷加工而成的產品也是深受大家的青睞。使用氧化鋯陶瓷加工而成的產品,由于其穩定性非常好,大家完全可以放心使用。關鍵詞用氧化鋯陶瓷呈白色,含雜質時呈黃色或灰色,一般含有HfO2...
背景技術: 晶圓的生產與制作屬極為精密的加工技術,其通常需借助晶圓傳輸裝置來進行運輸傳遞等作業。例如,準備對晶圓進行刻蝕加工時,需要利用晶圓傳輸裝置將晶舟內的待刻蝕晶圓傳輸至刻蝕機臺內。 現有一種晶圓傳輸裝置包括機械手臂,該機械手臂的表面設有卡...
一種晶圓傳輸裝置及其真空吸附機械手,該真空吸附機械手包括:手臂;固定在所述手臂上的吸附絕緣凸臺;設置在所述手臂和吸附絕緣凸臺內的真空氣道;所述吸附絕緣凸臺用于吸附待傳送晶圓的背面,所述吸附絕緣凸臺的硬度小于所述待傳送晶圓的背面的硬度。由于吸附絕緣凸臺的硬度小于...
晶圓運送機械吸臂在半導體制造中具有不可替代的重要性。首先,它是保證半導體生產線高效運行的關鍵環節。在半導體制造過程中,晶圓需要經過多個工序的加工,如光刻、刻蝕、沉積、摻雜等,每個工序都在不同的設備上進行。機械吸臂能夠快速、準確地將晶圓在各個設備之間進行搬運,減...
隨著智能工業的快速發展,我們越來越多的行業都使用了工業機器人代替人工作業,那么我們來說說工業機器人如六軸機器人是怎樣的? 六軸工業機器人是一種用于自然科學相關工程與技術領域的工藝試驗儀器,六軸機器人的六個軸,每個軸都是一個電機配備減速機來傳動,各個軸的運動...
耐磨膠泥的應用具有重要的工程意義。磨損本身非常復雜,存在多種磨損類型,而且隨著工況,諸如載荷、速度、溫度、介質條件(有無潤滑〉,摩擦表面的性質等的變化,都會使磨損類型發生改變,從而影響磨損的特征與機制。本文相關詞條解釋耐磨耐磨材料種類繁多,用途**...