皮拉尼真空計是一種基于熱傳導原理的真空測量儀器,用于低真空到中真空范圍的測量。其工作原理是通過測量氣體分子對熱絲的熱傳導變化來確定壓力。工作原理皮拉尼真空計的部件是一根加熱的金屬絲(通常是鎢或鉑),其工作原理如下:加熱與熱傳導:金屬絲通電加熱,熱量通過氣體分子...
真空測量是指用特定的儀器和裝置,對某一特定空間內真空高低的測定,這種儀器或裝置稱為真空計(儀器、規管)。真空計的種類很多,通常按測量原理可分為***真空計和相對真空計兩大類:***真空計:通過測定物理參數直接獲得氣體壓強的真空計。例如U型壓力計、壓縮式真空計等...
辰儀金屬電容真空計是完全對標MKS的金屬電容真空計而開發的一款金屬膜片真空計,已實現全系列部件國產化,產品測量精度接近MKS金屬電容真空計。辰儀金屬電容真空計已中芯國際等國內FAB廠上機測試,填補了MKS對國內斷供的影響。辰儀金屬電容真空計是完全對標MKS的金...
8. 復合真空計復合真空計結合多種測量技術,適用于從粗真空到超高真空的范圍。原理:通常結合皮拉尼真空計和電離真空計。測量范圍:10?1? Torr 到 1000 Torr。優點:測量范圍廣,適用性強。缺點:成本較高。應用:多功能真空系統。9. 其他真空計(1)...
真空鍍膜技術真空蒸發鍍膜將材料加熱至汽化,在基板上冷凝成膜;濺射鍍膜用離子轟擊靶材噴射原子。應用于眼鏡防反射膜(MgF?)、手機屏幕ITO導電膜。磁控濺射速率可達μm/min,膜層均勻性±1%。真空環境避免氧化,膜厚可控至納米級,太陽能電池也依賴此技術提升光吸...
陶瓷真空計是一種用于測量真空系統中壓力的儀器,廣泛應用于半導體制造、真空鍍膜、科研實驗等領域。其部件由陶瓷材料制成,具有耐高溫、耐腐蝕、絕緣性能好等優點。選型與使用量程選擇:根據測量需求選擇合適的量程。環境適應性:考慮溫度、腐蝕性氣體等因素。安裝與維護:正確安...
真空計相關知識真空計的通信接口現代真空計標配RS485/Modbus協議,**型號支持EtherCAT(延遲<1μs)。數字輸出可減少模擬信號噪聲,如電離規的離子電流低至10?12A。物聯網型真空計集成自診斷功能(如INFICON的SmartGauge)。16...
熱陰極電離真空計(Bayard-Alpert計)通過加熱陰極(銥合金或氧化釔涂層鎢絲)發射電子,電子撞擊氣體分子產生離子,離子電流與壓力成正比。量程10?1~10?? Pa,精度±20%。需避免氧氣環境導致陰極氧化,且高壓(>1 Pa)下可能燒毀燈絲。改進型抑...
真空計的安裝步驟可能因型號和規格的不同而有所差異,但通常包括以下幾個基本步驟:檢查設備:在安裝前,需要檢查真空計及其相關配件是否完整、無損壞,并確保其符合使用要求。選擇安裝位置:由于真空室中存在潛在的壓力梯度,因此應適當選擇真空計的安裝位置,以確保測量結果的準...
7.真空隔熱原理杜瓦瓶(如保溫杯)利用真空層阻斷熱傳導和對流,*剩輻射傳熱。多層鋁箔反射屏可降低輻射熱導,使LNG儲罐日蒸發率<0.1%。國際空間站真空隔熱材料耐受-150~120℃溫差,真空度維持10?3Pa以上。8.陰極射線管與真空CRT電視依賴10??P...
利用帶電粒子效用類真空計通過測量氣體分子在電場或磁場中被荷能粒子碰撞電離后產生的離子流或電子流來推算真空度。典型**有熱陰極電離規和冷陰極電離規。a)熱陰極電離規通過加熱陰極使其發射電子,進而與氣體分子發生碰撞并電離。電離產生的離子流隨壓力變化,通過測量離子流...
真空技術在生活中有著廣泛的應用,它極大地改善了我們的生活質量,提高了生產效率,隨著科技的進步和創新,真空技術的應用領域還將不斷拓展和深化,并在多個領域發揮著不可替代的作用。醫療器械與醫療環境真空包裝醫療器械:注射器、輸液袋等醫療器械需要在無菌條件下使用,通過真...
真空鍍膜技術真空蒸發鍍膜將材料加熱至汽化,在基板上冷凝成膜;濺射鍍膜用離子轟擊靶材噴射原子。應用于眼鏡防反射膜(MgF?)、手機屏幕ITO導電膜。磁控濺射速率可達μm/min,膜層均勻性±1%。真空環境避免氧化,膜厚可控至納米級,太陽能電池也依賴此技術提升光吸...
真空測量的特點測量壓力范圍寬,105~10-14Pa。2大部分真空計是間接測量,只有壓力為105~10Pa時,可直接測單位面積所受的力。3采用電測技術,反應迅速,靈敏度高,可實現自動化。4大部分真空計的讀數與氣體種類和成分有關。所以測量時要特別注意被測量氣體種...
選擇適合的真空計對確保測量精度和系統穩定運行至關重要。以下是選擇真空計時需要考慮的關鍵因素:1. 測量范圍真空度需求:根據應用需求選擇適合的測量范圍,如低真空、中真空、高真空或超高真空。量程匹配:確保真空計的量程覆蓋所需測量范圍。2. 精度與分辨率精度要求:選...
真空測量的特點測量壓力范圍寬,105~10-14Pa。2大部分真空計是間接測量,只有壓力為105~10Pa時,可直接測單位面積所受的力。3采用電測技術,反應迅速,靈敏度高,可實現自動化。4大部分真空計的讀數與氣體種類和成分有關。所以測量時要特別注意被測量氣體種...
2. 熱傳導真空計熱傳導真空計通過氣體熱傳導的變化來測量壓力,適用于低真空和中真空范圍。(1)皮拉尼真空計原理:利用加熱絲的熱量損失與氣體壓力之間的關系測量壓力。測量范圍:10?3 Torr 到 10 Torr。優點:響應快、成本低。缺點:受氣體種類影響較大。...
真空計的拆裝需要謹慎操作,以確保設備不受損壞并保持測量精度。以下是拆裝真空計的一般步驟和注意事項。拆卸步驟斷電與泄壓:關閉電源,確保系統斷電。緩慢泄壓,確保系統內無殘余壓力。斷開連接:斷開電氣連接,標記接線以便重新安裝。使用合適工具斷開真空計與系統的連接。拆卸...
四極質譜儀(殘余氣體分析儀)通過質荷比(m/z)分析氣體成分,結合離子流強度定量分壓。質量范圍1~300amu,檢測限10?12Pa。需配合電離規使用,用于真空系統污染診斷(如檢出H?O峰提示漏氣)。動態模式可實時監控工藝氣體(如半導體刻蝕中的CF?),校準需...
辰儀金屬電容真空計是完全對標MKS的金屬電容真空計而開發的一款金屬膜片真空計,已實現全系列部件國產化,產品測量精度接近MKS金屬電容真空計。辰儀金屬電容真空計已中芯國際等國內FAB廠上機測試,填補了MKS對國內斷供的影響。辰儀金屬電容真空計是完全對標MKS的金...
皮拉尼真空計,又有翻譯為“派藍尼真空計”,屬于熱傳導式真空計的一種。以下是對皮拉尼真空計的詳細介紹:一、歷史背景皮拉尼真空計由馬塞洛·皮拉尼(Marcello Stefano Pirani)于1906年發明。皮拉尼曾在從事真空燈行業的西門子和哈爾斯克公司工作,...
微壓差真空計(差壓規)測量兩個腔室壓差,量程1~10??Pa,精度±0.1%。應用包括檢漏儀(氦質譜儀參考端壓力監控)和分子泵前級壓力控制。硅諧振式傳感器(如橫河EJA系列)溫度穩定性達±0.1%FS/年。20.真空計的未來發展趨勢①量子傳感器(NV色心測磁矩...
真空測量的特點測量壓力范圍寬,105~10-14Pa。2大部分真空計是間接測量,只有壓力為105~10Pa時,可直接測單位面積所受的力。3采用電測技術,反應迅速,靈敏度高,可實現自動化。4大部分真空計的讀數與氣體種類和成分有關。所以測量時要特別注意被測量氣體種...
由于真空技術部門所涉及的工作壓強范圍十分寬泛,任何一種類型的真空泵都不可能完全適用于所有工作環境,只能根據不同的工作壓強范圍和工作要求使用不同的真空泵,或將兩種或兩種以上的真空泵組合起來形成真空泵機組。這種壓強范圍一般用真空度*注釋來表示,根據真空度的不同,又...
皮拉尼真空計主要由感應頭和控制頭兩部分組成。感應頭多為金屬或玻璃外殼,內有感測真空壓力的燈絲或其他感溫元件。控制頭則為感應頭提供必要的電路,并負責信號放大和信號數字化的工作。根據測量方式的不同,皮拉尼真空計可以分為定電流式和定電壓式兩種:定電流式:在這種方式中...
真空計相關知識真空計的通信接口現代真空計標配RS485/Modbus協議,**型號支持EtherCAT(延遲<1μs)。數字輸出可減少模擬信號噪聲,如電離規的離子電流低至10?12A。物聯網型真空計集成自診斷功能(如INFICON的SmartGauge)。16...
(1)真空計直接讀取氣體壓力,其壓力響應(刻度)可通過自身幾何尺寸計算出來或由測力確定。***真空計對所有氣體都是準確的且與氣體種類無關,屬于***真空計的有U型壓力計、壓縮式真空計和熱輻射真空計等。(2)相對真空計一些氣體壓力有函數關系的量來確定壓力,不能通...
真空計是一種用于測量真空度或低于大氣壓的稀薄氣體的氣壓的儀器。以下是真空計的主要特點:1.多種測量原理真空計有多種測量原理,如電容式、電離式、熱傳導式等。不同的測量原理具有不同的特點和適用范圍,用戶可以根據具體需求選擇合適的真空計。2.易維護一些真空計的設計使...
旋片泵的旋片把轉子、泵腔和兩個端蓋所圍成的月牙形空間分隔成A、B、C三部分。當轉子按箭頭方向旋轉時,與吸氣口相通的空間A的容積逐漸增大,正處于吸氣過程;而與排氣口相通的空間C的容積逐漸縮小,正處于排氣過程;居中的空間B的容積也逐漸減小,正處于壓縮過程。由于空間...
真空測量就是真空度的測量,而真空度(詳細注釋見前文:知識分享②|真空如何獲得?)是指低于大氣壓力注釋的氣體稀薄程度的物理量。通常,將用以探測低壓空間稀薄氣體壓力所用的儀器稱為真空計。注釋:大氣壓力:通常指一個標準大氣壓,壓強的單位之一。當溫度為0℃(273.1...