辰儀金屬電容真空計是完全對標MKS的金屬電容真空計而開發的一款金屬膜片真空計，已實現全系列部件國產化，產品測量精度接近MKS金屬電容真空計。辰儀金屬電容真空計已中芯國際等國內FAB廠上機測試，填補了MKS對國內斷供的影響。辰儀金屬電容真空計是完全對標MKS的金屬電容真空計而開發的一款金屬膜片真空計，已實現全系列部件國產化，產品測量精度接近MKS金屬電容真空計。辰儀金屬電容真空計已中芯國際等國內FAB廠上機測試，填補了MKS對國內斷供的影響。哪些行業會使用到真空計？江蘇真空計原廠家

真空測量是指用特定的儀器和裝置，對某一特定空間內真空高低的測定，這種儀器或裝置稱為真空計（儀器、規管）。真空計的種類很多，通常按測量原理可分為***真空計和相對真空計兩大類：***真空計：通過測定物理參數直接獲得氣體壓強的真空計。例如U型壓力計、壓縮式真空計等，這類真空計所測量的物理參數與氣體成分無關，測量比較準確。但是在氣體壓強很低的情況下，直接進行測量是極其困難的。相對真空計：通過測量與壓強有關的物理量，并與***真空計比較后得到壓強值的真空計。如放電真空計、熱傳導真空計、電離真空計等，它的特點是測量的準確度略差，而且和氣體的種類有關。在實際生產中，除真空校準外，大都使用相對真空計。安徽金屬真空計設備公司真空計如何快速選型？

微壓差真空計（差壓規）測量兩個腔室壓差，量程1~10??Pa，精度±0.1%。應用包括檢漏儀（氦質譜儀參考端壓力監控）和分子泵前級壓力控制。硅諧振式傳感器（如橫河EJA系列）溫度穩定性達±0.1%FS/年。20.真空計的未來發展趨勢①量子傳感器（NV色心測磁矩變化）；②石墨烯膜規（理論極限10?12Pa）；③片上集成（ASIC整合傳感與信號處理）；④自供電無線真空計（能量收集技術）。NIST正在開發基于冷原子干涉的***真空基準，不確定度目標0.01%。

真空測量就是真空度的測量，而真空度是指低于大氣壓力的氣體稀薄程度。以壓力表示真空度是由于歷史上沿用下來的，并不十分合理。壓力高意味著真空度低；反之，壓力低意味著真空度高。用以探測低壓空間稀薄氣體壓力所用的儀器稱為真空計。本書所述壓力的測量是指比大氣壓力小得多的氣體壓力測量。壓力是一個力學量，為單位面積所承受的力。大氣壓力為101325Pa，直接測量這樣大的壓力是容易的，但在真空技術中，測量這樣大的壓力是比較少的。真空技術中遇到的氣體壓力都很低，如有時要測10-10Pa的壓力，這樣極小的壓力用直接測量單位面積所承受的力是不可能的。因此，測量真空度的辦法通常是在氣體中造成一定的物理現象，然后測量這個過程中與氣體壓力有關的某些物理量，再設法間接確定出真實壓力來。例如先將被測氣體壓縮，使其壓力增高，測出增高后的壓力，再根據壓縮比計算出原來的壓力值，這就是所謂的壓縮式真空計。也可以用一根熱絲，測量氣體熱傳導造成的某些結果，如熱絲溫度、電阻變化等，這就構成熱傳導真空計。還可以利用電子碰撞氣體分子使之電離，用測得的離子流反應壓力，這就是電離真空計。皮拉尼真空計是一種測量真空壓力的儀器，它是根據皮拉尼原理制成的。

真空計在半導體工藝中的應用刻蝕機需多規聯合監控：電容規測腔體壓力（1~10?2Pa），電離規監控等離子體區（10?2~10??Pa）。ALD設備要求真空計耐腐蝕（如Al?O?鍍膜用氟化釔涂層電離規）。數據采樣率需>10Hz以匹配工藝控制節奏。14.真空計的壽命與維護熱陰極規壽命約1~2萬小時（燈絲斷裂）；冷陰極規可達10萬小時。維護包括：①定期烘烤除氣（200℃/24h）；②避免油蒸氣污染；③檢查電纜絕緣（高阻抗易受干擾）。故障模式中，燈絲開路占70%，陶瓷絕緣劣化占20%。皮拉尼真空計的測量原理和特點有？南京mems真空計生產企業

電容真空計與熱傳導式真空計在測量原理上有所不同。江蘇真空計原廠家

3. 電離真空計電離真空計通過電離氣體分子來測量壓力，適用于高真空和超高真空范圍。（1）熱陰極電離真空計原理：利用熱陰極發射電子電離氣體分子，通過離子電流測量壓力。測量范圍：10?1? Torr 到 10?3 Torr。優點：精度高、測量范圍廣。缺點：熱陰極易損壞，需要較高維護。應用：高真空和超高真空系統。（2）冷陰極電離真空計原理：利用冷陰極放電電離氣體分子，通過離子電流測量壓力。測量范圍：10?12 Torr 到 10?3 Torr。優點：無需熱陰極，壽命長。缺點：啟動時間較長，穩定性稍差。應用：高真空和超高真空系統。江蘇真空計原廠家