真空計的特點7.多種信號輸出模擬信號:如4-20mA、0-10V,便于與控制系統連接。數字信號:如RS485、Modbus,支持數字化管理和遠程監控。8.可靠性與穩定性長期穩定:高質量真空計具有長期穩定性,減少校準頻率。抗干擾:在復雜環境中,真空計能抵抗電磁干...
常見真空泵類型機械泵:通過機械運動產生真空旋片式真空泵螺桿真空泵羅茨泵(增壓泵)擴散泵:利用高速油蒸氣噴射產生真空渦輪分子泵:通過高速旋轉葉片將氣體分子排出低溫泵:利用低溫表面冷凝氣體分子應用領域半導體制造(晶圓加工、鍍膜)科研實驗(粒子加速器、表面分析)...
陶瓷真空計是一種用于測量真空系統中壓力的儀器,廣泛應用于半導體制造、真空鍍膜、科研實驗等領域。其部件由陶瓷材料制成,具有耐高溫、耐腐蝕、絕緣性能好等優點。選型與使用量程選擇:根據測量需求選擇合適的量程。環境適應性:考慮溫度、腐蝕性氣體等因素。安裝與維護:正確安...
真空技術在生活中有著廣泛的應用,它極大地改善了我們的生活質量,提高了生產效率,隨著科技的進步和創新,真空技術的應用領域還將不斷拓展和深化,并在多個領域發揮著不可替代的作用。醫療器械與醫療環境真空包裝醫療器械:注射器、輸液袋等醫療器械需要在無菌條件下使用,通過真...
渦輪分子泵的工作原理是在電機的帶動下,動葉輪高速旋轉(動葉輪外緣的線速度高達氣體分子熱運動的速度,一般為150~400米/秒)。在分子流區域內,氣體分子與高速轉動的葉片表面碰撞,動量傳遞給氣體分子,使部分氣體分子在剛體表面運動方向上產生定向流動而被排出泵外,從...
干式螺桿真空泵優點:無油設計,避免污染,適用于潔凈環境(如半導體、制藥)。耐腐蝕,可抽除可凝性氣體和粉塵。維護周期長,運行穩定。缺點:初始成本較高。對加工精度要求高,維修復雜。(3)羅茨真空泵(Roots Pump)優點:抽速大,適合大流量抽氣。干式運行,無油...
真空計相關知識真空計的通信接口現代真空計標配RS485/Modbus協議,**型號支持EtherCAT(延遲<1μs)。數字輸出可減少模擬信號噪聲,如電離規的離子電流低至10?12A。物聯網型真空計集成自診斷功能(如INFICON的SmartGauge)。16...
維修真空泵需要系統化的步驟,以確保安全、高效地排除故障并恢復性能。以下是詳細的維修流程,適用于常見的油封旋片泵、干式泵等類型,具體操作需結合設備手冊進行。真空泵維修步驟1. 安全準備斷電/泄壓:關閉電源,釋放泵內真空(如有泄壓閥,緩慢打開)。排油:油封泵需排空...
維修前的準備工作安全措施:確保設備斷電,系統泄壓,做好防護措施。對于大型工業真空泵,可能需要**工具和設備10。故障診斷:根據故障現象初步判斷問題所在,準備相應的備件和工具。有條件時可查閱設備維修手冊3。工作環境:清潔的工作區域對真空泵維修至關重要,避免灰...
真空泵的分類②由于真空技術部門所涉及的工作壓強范圍十分寬泛,任何一種類型的真空泵都不可能完全適用于所有工作環境,只能根據不同的工作壓強范圍和工作要求使用不同的真空泵,或將兩種或兩種以上的真空泵組合起來形成真空泵機組。這種壓強范圍一般用真空度*注釋來表示,根據真...
以下是關于真空泵的***知識總結,涵蓋原理、分類、應用及選型要點: 常見問題與解決油污染:改用干泵或加裝油氣分離器。抽速不足:檢查管路泄漏或并聯多臺泵。高溫報警:確保冷卻系統暢通或減少連續運行時間。七、維護要點定期換油(油泵):每2000小時或按廠家...
四極質譜儀(殘余氣體分析儀)通過質荷比(m/z)分析氣體成分,結合離子流強度定量分壓。質量范圍1~300amu,檢測限10?12Pa。需配合電離規使用,用于真空系統污染診斷(如檢出H?O峰提示漏氣)。動態模式可實時監控工藝氣體(如半導體刻蝕中的CF?),校準需...
概述陶瓷薄膜真空計是一種用于測量真空環境中壓力的傳感器,應用于半導體制造、真空鍍膜、科研實驗等領域。其部件是陶瓷薄膜,通過測量薄膜在壓力作用下的形變來推算真空度。工作原理薄膜形變:陶瓷薄膜在壓力差作用下發生形變。信號轉換:形變通過壓阻或電容效應轉換為電信號。信...
以下是關于真空泵的***知識總結,涵蓋原理、分類、應用及選型要點: 常見問題與解決油污染:改用干泵或加裝油氣分離器。抽速不足:檢查管路泄漏或并聯多臺泵。高溫報警:確保冷卻系統暢通或減少連續運行時間。七、維護要點定期換油(油泵):每2000小時或按廠家...
清潔與組裝清潔方法:用無紡布和**溶劑(如**)***泵腔油污、積碳。干式泵需徹底***粉塵(避免使用水洗,防止銹蝕)。組裝要點:涂抹少量真空脂在密封面(如端蓋法蘭)。按拆卸逆序組裝,確保旋片、轉子方向正確。對稱擰緊螺栓(避免受力不均導致泄漏)。6.測試與調試...
真空測量是指用特定的儀器和裝置,對某一特定空間內真空高低的測定,這種儀器或裝置稱為真空計(儀器、規管)。真空計的種類很多,通常按測量原理可分為***真空計和相對真空計兩大類:***真空計:通過測定物理參數直接獲得氣體壓強的真空計。例如U型壓力計、壓縮式真空計等...
真空獲得的基本方法1. 機械排氣法容積式真空泵:通過周期性改變泵腔容積實現氣體壓縮和排出旋片泵、活塞泵、螺桿泵、渦旋泵等動量傳輸式泵:通過高速旋轉部件將動量傳遞給氣體分子羅茨泵、渦輪分子泵等2. 氣體捕集法吸附泵:利用吸附材料(如分子篩、活性炭)在低溫下吸附氣...
(2)常見的真空泵機組真空泵機組通常由主泵、前級泵、控制系統以及其他必要的附件組成。以下是幾種常見的真空泵機組:①雙級水環泵+大氣噴射泵機組圖為有擋油阱的低真空機組。雙擊水環泵和大氣噴射泵串聯組成的機組極限壓力1300Pa。工作時,先開動水環泵,以獲得大氣...
(1)利用氣體熱學特征類真空計通過測量氣體分子在真空中的運動狀態或動力學效應來推算真空度,典型**有皮拉尼(Pirani)電阻規和熱電偶規。a)皮拉尼電阻規利用熱絲在真空中的熱傳導效應來測量真空度。當真空度發生變化時,熱絲的熱傳導性能會受到影響,進而導致電阻發...
維護建議日常保養:定期換油(油封泵每500-2000小時,高溫環境縮短周期)。清潔進氣過濾器(防止粉塵進入泵腔)。長期停用:排空舊油,注入防銹油。封閉進氣口和排氣口。注意事項安全警示:勿在易燃環境中操作(真空泵可能排放可燃油霧)。處理腐蝕性介質后,需徹底清潔泵...
真空泵的分類②由于真空技術部門所涉及的工作壓強范圍十分寬泛,任何一種類型的真空泵都不可能完全適用于所有工作環境,只能根據不同的工作壓強范圍和工作要求使用不同的真空泵,或將兩種或兩種以上的真空泵組合起來形成真空泵機組。這種壓強范圍一般用真空度*注釋來表示,根據真...
概述陶瓷薄膜真空計是一種用于測量真空環境中壓力的傳感器,應用于半導體制造、真空鍍膜、科研實驗等領域。其部件是陶瓷薄膜,通過測量薄膜在壓力作用下的形變來推算真空度。工作原理薄膜形變:陶瓷薄膜在壓力差作用下發生形變。信號轉換:形變通過壓阻或電容效應轉換為電信號。信...
真空計的安裝誤差安裝位置不當導致誤差:①管路流導限制(需短而粗的連接管);②溫度梯度(避免熱源附近);③振動(機械泵需隔振);④方向性(某些薄膜規需水平安裝)。規范要求測量點盡量靠近真空腔體,必要時使用差分測量消除管路效應。電離規安裝角度應避免顆粒落入燈絲區域...
真空泵日常預防性維護策略 真空泵日常維護要點有哪些? 油位與油質監控:定期檢查油位是否在標線范圍內,觀察油品顏色和狀態。油量不足應加到油標中心線,油質變差需更換新油13。冷卻系統檢查:確保冷卻水流量正常,防止泵運轉中溫升過高。高溫會加速油品老化...
渦輪分子泵的工作原理是在電機的帶動下,動葉輪高速旋轉(動葉輪外緣的線速度高達氣體分子熱運動的速度,一般為150~400米/秒)。在分子流區域內,氣體分子與高速轉動的葉片表面碰撞,動量傳遞給氣體分子,使部分氣體分子在剛體表面運動方向上產生定向流動而被排出泵外,從...
真空計是一種用于測量真空度或低于大氣壓的稀薄氣體的氣壓的儀器。以下是真空計的主要特點:1.多種測量原理真空計有多種測量原理,如電容式、電離式、熱傳導式等。不同的測量原理具有不同的特點和適用范圍,用戶可以根據具體需求選擇合適的真空計。2.易維護一些真空計的設計使...
常見真空泵類型機械泵:通過機械運動產生真空旋片式真空泵螺桿真空泵羅茨泵(增壓泵)擴散泵:利用高速油蒸氣噴射產生真空渦輪分子泵:通過高速旋轉葉片將氣體分子排出低溫泵:利用低溫表面冷凝氣體分子 應用領域半導體制造(晶圓加工、鍍膜)科研實驗(粒子加速器、表...
常見真空泵類型機械泵:通過機械運動產生真空旋片式真空泵螺桿真空泵羅茨泵(增壓泵)擴散泵:利用高速油蒸氣噴射產生真空渦輪分子泵:通過高速旋轉葉片將氣體分子排出低溫泵:利用低溫表面冷凝氣體分子 應用領域半導體制造(晶圓加工、鍍膜)科研實驗(粒子加速器、表...
常見真空泵類型機械泵:通過機械運動產生真空旋片式真空泵螺桿真空泵羅茨泵(增壓泵)擴散泵:利用高速油蒸氣噴射產生真空渦輪分子泵:通過高速旋轉葉片將氣體分子排出低溫泵:利用低溫表面冷凝氣體分子 應用領域半導體制造(晶圓加工、鍍膜)科研實驗(粒子加速器、表...
皮拉尼真空計主要由感應頭和控制頭兩部分組成。感應頭多為金屬或玻璃外殼,內有感測真空壓力的燈絲或其他感溫元件。控制頭則為感應頭提供必要的電路,并負責信號放大和信號數字化的工作。根據測量方式的不同,皮拉尼真空計可以分為定電流式和定電壓式兩種:定電流式:在這種方式中...