激光干涉儀，以激光波長為已知長度，利用邁克耳遜干涉系統(tǒng)測量位移的通用長度測量。激光具有**度、高度方向性、空間同調(diào)性、窄帶寬和高度單色性等優(yōu)點(diǎn)。目前常用來測量長度的干涉儀，主要是以邁克爾遜干涉儀為主，并以穩(wěn)頻氦氖激光為光源，構(gòu)成一個(gè)具有干涉作用的測量系統(tǒng)。激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來作線性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等測量工作，并可作為精密工具機(jī)或測量儀器的校正工作。英文名稱：laser interferometer（激光干涉儀）常見的類型包括邁克爾遜干涉儀、法布里-佩涉儀和激光位移傳感器等。吳江區(qū)定制雙頻激光干涉儀選擇

激光干涉測量儀通過雙頻激光技術(shù)實(shí)現(xiàn)高精度線性位移測量，適用于車間生產(chǎn)環(huán)境下的數(shù)控機(jī)床校準(zhǔn)、三坐標(biāo)機(jī)校準(zhǔn)及光學(xué)平臺(tái)校準(zhǔn)。其測量鏡組可擴(kuò)展功能，支持直線度、垂直度等幾何量檢測 [2]。該儀器的系統(tǒng)包括 [2]：1.雙頻激光頭及附件2.環(huán)境補(bǔ)償單元3.測量軟件、分析軟件4.各類測量鏡組激光干涉測量儀的優(yōu)勢包括緊湊設(shè)計(jì)、自動(dòng)環(huán)境補(bǔ)償及符合測校國家標(biāo)準(zhǔn)的測量分析軟件。截至2023年8月，典型型號(hào)LH3000的測量速度可達(dá)2米/秒，頻差為7±0.5MHz [2]。相城區(qū)附近雙頻激光干涉儀五星服務(wù)由于其高精度和高靈敏度，激光干涉儀在科學(xué)研究和工業(yè)應(yīng)用中都具有重要的地位。

激光干涉儀是一種利用激光干涉原理進(jìn)行測量的精密儀器。它通過將激光束分成兩部分，分別經(jīng)過不同的路徑后再合并，形成干涉圖樣，從而可以精確測量光程差、位移、厚度等物理量。激光干涉儀的基本原理可以概括為以下幾個(gè)步驟：激光發(fā)射：激光器發(fā)出單色光束。光束分割：通過分束器將激光束分成兩部分，通常稱為參考光束和測量光束。光程傳播：參考光束和測量光束分別經(jīng)過不同的路徑，可能會(huì)經(jīng)過被測物體或介質(zhì)。光束合并：兩束光在分束器后重新合并，形成干涉圖樣。

三角運(yùn)算給出其中疊加后的振幅為可以看到， 疊加后的振幅與兩列波的初始相位差有關(guān)。 由于幅度變化依賴于相位差的余弦函數(shù)， 這種幅度的變化有時(shí)候在空間表現(xiàn)為周期性的條紋。 這種條紋有時(shí)候叫做干涉條紋， 由于相位差變化引起的幅度變化有時(shí)也稱為條紋移動(dòng)。分類干涉儀的分類有不同分法按照結(jié)構(gòu)區(qū)分干涉儀可以分為單路徑干涉儀和多路徑干涉儀兩類， 其差異在于干涉的波是否通過同一路徑傳播。 例如邁克爾遜干涉儀就是常見的多路徑干涉儀， 而Sagnac干涉儀， 等傾干涉和等厚干涉等即為單路徑干涉儀（鐘錫華， 陳熙謀， 2002） [3]。光纖干涉儀：利用光纖中的光波干涉現(xiàn)象，廣泛應(yīng)用于傳感器、通信等領(lǐng)域。

這種無規(guī)則的變化較難通過觸發(fā)電平的自動(dòng)調(diào)整來補(bǔ)償，因而限制了單頻干涉儀的應(yīng)用范圍，只有設(shè)法用交流測量系統(tǒng)代替直流測量系統(tǒng)才能從根本上克服單頻激光干涉儀的這一弱點(diǎn)。而雙頻激光干涉儀正好克服了這一弱點(diǎn)，它是在單頻激光干涉儀的基礎(chǔ)上發(fā)展的一種外差式干涉儀。和單頻激光干涉儀一樣，雙頻激光干涉儀也是一種以波長作為標(biāo)準(zhǔn)對(duì)被測長度進(jìn)行度量的儀器，所不同者，一方面是當(dāng)可動(dòng)棱鏡不動(dòng)時(shí)，前者的干涉信號(hào)是介于**亮和**暗之間的某個(gè)直流光平，而后者的干涉信號(hào)是一個(gè)頻率約為1.5MHz的交流信號(hào)；邁克爾遜干涉儀：由阿爾伯特·邁克爾遜發(fā)明，主要用于測量光的波長、干涉條紋的變化等。吳江區(qū)定制雙頻激光干涉儀選擇

光束分割：通過分束器將激光束分成兩部分，通常稱為參考光束和測量光束。吳江區(qū)定制雙頻激光干涉儀選擇

激光的出現(xiàn)在世界計(jì)量史上具有重大的意義。用穩(wěn)頻的氦氖激光器作為光源，由于它的相干長度很大，干涉儀的測量范圍可以**的擴(kuò)展；而且由于它的光束發(fā)散角小，能量集中，因而它產(chǎn)生的干涉條紋可以用光電接收器接收，變?yōu)殡娪嵦?hào)，并由計(jì)數(shù)器一個(gè)不漏的記錄下來，從而提高了測量速度和測量精度，比如說我國自行設(shè)計(jì)與制造的以氦氖激光器作為光源的光電光波比長儀，可以在20分鐘之內(nèi)把1米線紋尺上1001條刻線依次自動(dòng)鑒定完畢，精度達(dá)到±0.2μm，這就是激光干涉儀的成功例證。吳江區(qū)定制雙頻激光干涉儀選擇

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