廣東華升納米科技股份有限公司2025-11-23

金屬表面處理真空鍍膜設備運行中報警“氣體流量異常”時，應依次排查以下環節，確保金屬表面處理工藝連續穩定。首先檢查氣源壓力是否達標，鋼瓶減壓閥輸出一般設為0.2-0.3 MPa，壓力過低或過高都會觸發MFC保護；其次確認質量流量計(MFC)插頭無松動、線纜無斷股，重新上電觀察零點漂移，必要時用標準氣體重新校準或返廠標定。隨后分段檢查氣路：關閉閥門后觀察真空度回升速率，可判斷過濾器、針閥或管道是否堵塞，發現污染立即更換濾芯并用無塵布蘸酒精擦拭管路內壁。若使用混合氣體，需核對氣體種類與設定系數是否匹配，流量系數超出0.8-1.2范圍時按專利方法重新測定并修正流量值。檢查工藝設定是否超MFC量程，若設定流量>滿量程105%會觸發超量程報警，應以量程上限為控制值并分路供氣。完成以上步驟后，復位運行并記錄流量曲線，可將金屬表面處理異常報警率降至<1%，保障膜層均勻性與生產節拍。

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