廣東華升納米科技股份有限公司2025-11-23

金屬表面處理真空鍍膜中襯底溫度異常偏高或偏低，會(huì)直接影響膜層結(jié)晶度、附著力與內(nèi)應(yīng)力，是常見(jiàn)工藝偏差。偏高易致膜層再蒸發(fā)、晶粒粗大或基片變形，偏低則結(jié)構(gòu)疏松、應(yīng)力高、易脫落。解決這一金屬表面處理難題，應(yīng)先校準(zhǔn)溫控儀與熱電偶，確保讀數(shù)準(zhǔn)確；檢查加熱器功率、冷卻水流量及PID參數(shù)，防止過(guò)沖或滯后。其次驗(yàn)證真空度與氣體流量，避免因壓升導(dǎo)致熱傳導(dǎo)異常；同時(shí)選用熱傳導(dǎo)均勻的載盤或碳化硅夾具，減小溫度梯度。若仍異常，可分段升溫、增設(shè)溫度緩沖板或?qū)崟r(shí)補(bǔ)償模塊，將偏差控制在±3 ℃以內(nèi)，從而穩(wěn)定金屬表面處理質(zhì)量，提高薄膜一致性與良品率

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