杭州芯紀源半導體設備有限公司2025-11-01
全自動超聲掃描顯微鏡的檢測效率主要受掃描速度、信號處理能力與樣品固定方式影響。高速掃描模式下,設備通過線性電機驅(qū)動換能器實現(xiàn)500mm/s的移動速度,配合并行信號采集技術(shù),可在40秒內(nèi)完成10mm×10mm區(qū)域的檢測。然而,若樣品固定不穩(wěn)導致振動,或材料內(nèi)部存在多層結(jié)構(gòu)需多次聚焦,會***延長檢測時間。例如,檢測堆疊式芯片時,需分階段調(diào)整焦距以覆蓋不同深度層,單件檢測時間可能超過2分鐘。
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