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武漢智能傳感芯片MEMS工藝檢測技術能力

來源: 發布時間:2025-09-15

啟樸芯微始終保持對光學傳感技術的熱情和專注,不斷追求技術的突破和升級,提升產品質量和服務水平,以質量的產品和服務贏得客戶的信任和支持。同時以更加開放的姿態和更加務實的行動,加強與高校、科研院所和企業的合作與交流,攜手合作伙伴共同推動光學傳感技術的研發和應用,為推動國內光學傳感產業的自主可控和持續發展貢獻力量。在產品方面,啟樸芯微專注于自主研發像元級光譜和偏振超維光學濾波芯片及光學系統,通過定制開發、項目互補與公司直營相結合的方式,打造小型化、集成化的高分辨率特種光學相機模組和光學檢測解決方案,切實滿足客戶對于高性能、高精度產品服務的需求,在工業視覺檢測、影像醫學器械、汽車超維視覺、環境與食品安全檢測等領域具有廣泛應用前景。啟樸芯微,擁有先進的8英寸MEMS研發與微納加工服務中試線,設備齊全!武漢智能傳感芯片MEMS工藝檢測技術能力

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寧波啟樸芯微自主可控國內首條8英寸MEMS規模化加工服務ODM產線,實驗區內設置有激光隱切機、光刻機、深硅刻蝕機、電子束蒸鍍儀、鍵合機、濕法腐蝕系統、磁控濺射儀、原子層沉積設備、化學機械拋光機、自動涂膠顯影系統等整套技術設備,加工區域1000余平方米,具備**研發室、光學實驗室,配套百級/萬級室內MEMS加工無菌車間、微納加工實驗室,可以支持8英寸(兼容4/6英寸)晶圓級MEMS技術研發和加工制造,自建立以來已服務200余家高校、科研院所和科創企業,并先后成功獲批浙江省MEMS傳感芯片定制加工服務型示范平臺、寧波市重點實驗室、浙江省重點實驗室等。遼寧智能制造MEMS工藝檢測研發型企業立足于我國制造、材料、醫療等方向關鍵需求,啟樸芯微將持續開展特種光學產品應用與推廣。

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寧波啟樸芯微系統技術有限公司(以下簡稱“啟樸芯微”)是一家專注于微機電系統(MEMS)技術研發與產業化的****,成立于西北工業大學寧波研究院的孵化體系中,并在短時間內憑借技術創新與產業化能力快速崛起。公司聚焦MEMS器件設計、工藝開發及代工服務,擁有自主可控的8英寸MEMS工藝產線,兼容6/4英寸晶圓級加工,覆蓋光刻、深硅刻蝕、薄膜沉積、晶圓鍵合、激光切割等**工藝能力,為行業提供從結構設計到封裝測試的全鏈條服務36。其技術團隊在MEMS領域經驗豐富,尤其在光學類與SOI(絕緣體上硅)特色工藝方面具備***優勢,例如通過原子層沉積(ALD)技術實現高精度薄膜制備,提升器件性能與可靠性。

寧波啟樸芯微自主可控國內首條8英寸MEMS規模化加工服務ODM產線,實驗區內設置有激光隱切機、光刻機、深硅刻蝕機、電子束蒸鍍儀、鍵合機、濕法腐蝕系統、磁控濺射儀、原子層沉積設備、化學機械拋光機、自動涂膠顯影系統等整套技術設備,加工區域1000余平方米,具備**研發室、光學實驗室,配套百級/萬級室內MEMS加工無菌車間、微納加工實驗室,可以***支持8英寸(兼容4/6英寸)晶圓級MEMS技術研發和加工制造,自建立以來已服務200余家高校、科研院所和科創企業,并先后成功獲批浙江省MEMS傳感芯片定制加工服務型示范平臺、寧波市重點實驗室、浙江省重點實驗室等。遵循市場與生產對接流程,啟樸芯微的服務流程高效順暢!

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8英寸的MEMS研發中試ODM產線,配套激光隱切機、光刻機、深硅刻蝕機等一整套前沿技術設備,由此,啟樸芯微具備為客戶提供質量產品服務的能力,百級/萬級室內MEMS加工無菌車間和微納加工實驗室,賦予啟樸芯微強大的加工與測試能力,兼容8/6/4英寸晶圓級微納加工,更充分支持實現國內MEMS技術企業、科研院所和高校的結構設計、工藝開發、流片代工和測試應用需求。寧波啟樸芯微系統技術有限公司專注于像元級光譜和偏振超維光學芯片及光學系統解決方案,擁有自主可控的寧波i首條8英寸MEMS研發中試ODM產線,兼容8/6/4英寸晶圓級微納加工。公司擁有辦公與生產區域共1000余平方米,百級/萬級MEMS加工無菌車間和微納加工實驗室,同步配備倉儲空間,生產過程嚴格遵循相關國家標準,為國內傳感智能技術企業、科研院所、高校提供高質量的MEMS結構設計、工藝開發、流片代工、測試應用服務。啟樸芯微專業MEMS實驗加工產線,兼容8/6/4英寸晶圓級微納加工,服務范圍廣。福州晶圓級MEMS工藝檢測專業技術團隊

以B2B模式攜手合作伙伴,啟樸芯微支持高校、科研院所、相關行業企業的技術開發加速和自主產品生產!武漢智能傳感芯片MEMS工藝檢測技術能力

在市場拓展方面,啟樸芯微積極與高校、科研院所和相關行業企業開展合作與交流,共同推動光學傳感技術的研發和應用,為客戶量身打造小型化、集成化的高分辨率特種光學相機模組和光學檢測解決方案,切實滿足了客戶對于高性能、高精度產品服務的需求,為構建千萬級本土產業規模做出了積極貢獻。啟樸芯微不斷吸納、凝聚MEMS領域專業人才,構建了一支具有凝聚力、自驅力的智能傳感領域科創工程師隊伍,為公司的持續創新和發展提供了堅實的人才保障。面向未來,啟樸芯微將繼續深耕光學傳感領域,以智能制造加工為導向,同步開展技術開發、團隊平臺建設和合作互信,不斷提升自身的技術實力,更好地為客戶提供質量MEMS微納加工服務。武漢智能傳感芯片MEMS工藝檢測技術能力

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