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htpvc板應(yīng)用與特點(diǎn) 上海泰晟供耐熱板
上海泰晟與您分享晶圓生產(chǎn)及研磨制程簡(jiǎn)介
晶圓是制造半導(dǎo)體芯片的基本材料，半導(dǎo)體集成電路主要的原料是硅，因此對(duì)應(yīng)的就是硅晶圓。硅在自然界中以硅酸鹽或二氧化硅的形式廣闊存在于巖石、砂礫中，硅晶圓的制造可以歸納為三個(gè)基本步驟：硅提煉及提純、單晶硅生長(zhǎng)、晶圓成型。
首先是硅提純，將沙石原料放入一個(gè)溫度約為2000 ℃，并且有碳源存在的電弧熔爐中，在高溫下，碳和沙石中的二氧化硅進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)（碳與氧結(jié)合，剩下硅），得到純度約為98%的純硅，又稱作冶金級(jí)硅，這對(duì)微電子器件來說不夠純，因?yàn)榘雽?dǎo)體材料的電學(xué)特性對(duì)雜質(zhì)的濃度非常敏感，因此對(duì)冶金級(jí)硅進(jìn)行進(jìn)一步提純：將粉碎的冶金級(jí)硅與氣態(tài)的氯化氫進(jìn)行氯化反應(yīng)，生成液態(tài)的硅烷，然后通過蒸餾和化學(xué)還原工藝，得到了高純度的多晶硅，其純度高達(dá)99.999999999%，成為電子級(jí)硅。
接下來是單晶硅生長(zhǎng)，常用的方法叫直拉法。高純度的多晶硅放在石英坩堝中，并用外面圍繞著的石墨加熱器不斷加熱，溫度維持在大約1400 ℃，爐中的空氣通常是惰性氣體，使多晶硅熔化，同時(shí)又不會(huì)產(chǎn)生不需要的化學(xué)反應(yīng)。為了形成單晶硅，還需要把控晶體的方向：坩堝帶著多晶硅熔化物在旋轉(zhuǎn)，把一顆籽晶浸入其中，并且由拉制棒帶著籽晶作反方向旋轉(zhuǎn)，同時(shí)慢慢地、垂直地由硅熔化物中向上拉出。熔化的多晶硅會(huì)粘在籽晶的底端，按籽晶晶格排列的方向不斷地生長(zhǎng)上去。因此所生長(zhǎng)的晶體的方向性是由籽晶所決定的，在其被拉出和冷卻后就生長(zhǎng)成了與籽晶內(nèi)部晶格方向相同的單晶硅棒。用直拉法生長(zhǎng)后，單晶棒將按適當(dāng)?shù)某叽邕M(jìn)行切割，然后進(jìn)行研磨，將凹凸的切痕磨掉，再用化學(xué)機(jī)械拋光工藝使其至少一面光滑如鏡，晶圓片制造就完成了。
那晶圓研磨是什么呢？
“晶圓研磨”--在國(guó)內(nèi)有時(shí)叫“背研”，也有的根據(jù)目的叫做“減薄”。顧名思義，主要是將晶圓通過背面打磨使之厚度管控在一定的范圍。為什么要這樣做？因?yàn)橹拦に噷?duì)于設(shè)備的精度要求較高，而且加工成本也不低。在打磨的過程中很容易造成晶圓破裂，尤其是現(xiàn)在的晶圓直徑越來越大（現(xiàn)在12"的晶圓已經(jīng)批量生產(chǎn)），更增加了管控難度。所以有些晶圓代工/加工企業(yè)就留下這一工序，放在后工序來做。因此后工序企業(yè)拿到的經(jīng)驗(yàn)有時(shí)候是沒法直接使用的，有時(shí)是因?yàn)槌叽缫?，比如生產(chǎn)表面貼裝器件，器件本身的厚度就很小；還有的就是一些功率器件，如果經(jīng)驗(yàn)太厚會(huì)造成散熱不良，所以必須將晶圓的厚度管控在能接受的范圍。
一般情況下對(duì)于中等功率分離器件，厚度大約在350~450微米之間。而對(duì)于集成電路，厚度還要小，有些已經(jīng)達(dá)到180微米甚至更薄。（免責(zé)聲明：本文來自于網(wǎng)絡(luò)，轉(zhuǎn)載只為了傳達(dá)一種不同的觀點(diǎn)，不表示我司對(duì)該觀點(diǎn)贊同或支持，內(nèi)容如有侵權(quán)，請(qǐng)聯(lián)系刪除，13391360977）。
上海泰晟所供三菱PVC板除了在晶圓拋光研磨設(shè)備上的應(yīng)用外，其他應(yīng)用場(chǎng)景為：
半導(dǎo)體液晶制造設(shè)備：氣流室、自動(dòng)化潔凈設(shè)備、晶圓處理設(shè)備、石英管潔凈設(shè)備、計(jì)量器面板等；無塵室設(shè)備：各種窺視窗材、門材、無塵室隔墻、無塵洞、隔板、風(fēng)道等；
電鍍?cè)O(shè)備：金屬電解槽、電鍍槽、滾鍍、酸洗凈槽、腐蝕液業(yè)槽、廢液處理槽、槽襯、排氣處理設(shè)備、化骨工風(fēng)機(jī)、泵、中和槽、滌氣機(jī)等；礦業(yè)、化工設(shè)備：反響吸收設(shè)備、稀土萃取槽、電解槽、貯藏槽、廢液處理設(shè)備、機(jī)器外罩等；
腐蝕設(shè)備：無菌灌裝設(shè)備視窗、腐蝕設(shè)備圍欄、腐蝕槽等；
工業(yè)容器：腸衣槽、水槽、化工用立式/臥式儲(chǔ)罐等；
PCB設(shè)備：蝕刻機(jī)、火山灰磨板機(jī)、脫模烘干機(jī)等；
自動(dòng)化設(shè)備：硅片清洗機(jī)、電子玻璃清洗機(jī)；
印刷行業(yè)：廣告絲印、警示牌及其他標(biāo)志背板等；關(guān)于三菱PVC板詳情請(qǐng)咨詢上海泰晟電子科技發(fā)展有限公司，咨詢熱線：021-55668002/13391360977.
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