一、真空計分類真空計主要可分為兩大類，***真空計和相對真空計，這兩者的主要區(qū)別在于其測量真空度的方式不同。1.***真空計***真空計可以直接測量氣體的***壓力。其典型的例子是U形管真空計，通過**或油的液面差來直接反映氣體的壓力。這種真空計的優(yōu)點是測量精度高，但通常結(jié)構(gòu)較為復(fù)雜，且需要對測量環(huán)境進(jìn)行溫度修正。2.相對真空計相對真空計則是通過間接的方法來反映真空度，其顯示的讀數(shù)通常與某種已知氣體的壓力相關(guān)聯(lián)。相對真空計通常更為便捷，適用于現(xiàn)場快速檢測或連續(xù)監(jiān)測。下面將詳細(xì)介紹幾種常見的相對真空計。任何方法都有其一定的測量范圍，這個范圍就是真空計的“量程”。四合一真空計推薦咨詢

真空計與壓強的關(guān)系為，真空度越高，壓強越小；真空度越低，壓強越大。正因為此，真空度的單位用的是壓強單位。一個標(biāo)準(zhǔn)大氣壓用帕斯卡（Pa）表示為1atm=1.013×105Pa這樣我們就得到不同真空單位之間的換算關(guān)系。有了單位，我們就可以對真空度進(jìn)行劃分。國際上沒有統(tǒng)一的劃分標(biāo)準(zhǔn)，常用的劃分是這樣的，粗真空：760Torr~1Torr低真空：1Torr~10-3Torr一般真空：10-3Torr~10-6Torr高真空：10-6Torr~10-9Torr超高真空：10-9Torr~10-12Tor那么有了這個標(biāo)準(zhǔn)，我們上面提到的針管中的真空以及托里拆利實驗中的真空就都屬于粗真空的范疇了。那么實驗室里常用的超高真空狀態(tài)是怎么實現(xiàn)的呢？這就涉及到了我們的**內(nèi)容——真空泵。制造真空計五星服務(wù)與熱陰極電離真空計一樣，利用低壓力下氣體分子的電離電流與壓力有關(guān)的特性，用放電電流做為真空度的測量。

工作原理播報編輯兩種真空計在不同壓強區(qū)間發(fā)揮測量作用：1.熱偶真空計加熱電流恒定狀態(tài)下，熱電偶電勢與氣體熱傳導(dǎo)系數(shù)呈正相關(guān)。當(dāng)壓強低于10Pa時氣體導(dǎo)熱系數(shù)隨壓強降低而減小，通過熱電偶輸出電勢變化反映真空度。有效測量范圍為100-0.1Pa [4]。2.熱陰極電離真空計燈絲加熱至2200K發(fā)射熱電子，經(jīng)150V柵極電壓加速后與氣體分子碰撞產(chǎn)生正離子。收集極在-25V偏壓下捕獲離子形成電流，該電流與氣體壓強成線性關(guān)系 [4]。典型工作范圍為0.1-1×10??Pa。設(shè)備通過動態(tài)切換機制實現(xiàn)量程銜接：當(dāng)熱偶計檢測到壓強低于10?1Pa時，自動開啟電離計 [1] [4]。ZDF-1A/B型具備1-99分鐘可調(diào)延時切換功能，防止頻繁啟停損壞燈絲 [1]

    可以看出雖然我們已經(jīng)抽到了超高真空，但是腔體內(nèi)的分子數(shù)還是很多很多，這就是為什么我們要在超高真空條件下進(jìn)行實驗的原因。講了這么多，不知道你有沒有想過，我們是如何知道腔體內(nèi)的真空度有多高的呢？度量真空的儀器——真空計是的，就像我們有溫度計和濕度計一樣，我們也有測量真空度的儀器——真空計。我們已經(jīng)知道，真空度的高低是用壓強大小來衡量的，因此，真空計也是通過測量壓強的大小來反映真空度的。真空計根據(jù)其工作原理大致可以分為兩類：一類直接測量壓強的大小，稱為***真空計，例如U型真空計、壓縮式真空計；一類是通過測量與壓強有關(guān)的物理量，間接標(biāo)定壓強的數(shù)值，稱為相對真空計，例如熱傳導(dǎo)真空計、電離真空計。在實驗室常用的一般是相對真空計。 熱傳導(dǎo)真空計主要被應(yīng)用于中低真空領(lǐng)域。代表性的熱傳導(dǎo)真空計包括Pirani真空計和熱電偶真空計。

值得注意的是，由于它是一種相對真空計，所以其測量結(jié)果對氣體種類具有一定的依賴性。其校準(zhǔn)曲線通常針對干燥的氮氣或空氣進(jìn)行標(biāo)定。因此，在被測氣體成分發(fā)生較大變化時，需要對測量結(jié)果進(jìn)行相應(yīng)的修正。此外，長時間使用后，熱絲可能會因氧化而發(fā)生零點漂移，這要求我們在使用時避免長時間暴露于大氣或高壓強環(huán)境中，并可能需要通過調(diào)節(jié)電流來校準(zhǔn)零點位置熱偶真空計的規(guī)管構(gòu)造主要包括加熱燈絲C與D（通常采用鉑絲）以及用于測量熱絲溫度的熱電偶A與B（多采用鉑銠或康銅-鎳鉻合金）由于各種真空計在原理上的差異.在相互銜接的區(qū)域，往往要造成較大的誤差。制造真空計五星服務(wù)

真空計用于測量真空度或低于大氣壓的稀薄氣體的氣壓，是一種使用的儀表。四合一真空計推薦咨詢

    冷陰極真空計（ColdCathodeGauge，如潘寧計）原理：基于高壓電場與磁場協(xié)同作用下的氣體放電效應(yīng)。結(jié)構(gòu)包含兩個陰極和一個陽極，外加軸向磁場。高壓電場使陰極發(fā)射電子，電子在磁場中螺旋運動，增加與氣體分子的碰撞概率，導(dǎo)致電離。電離產(chǎn)生的正離子被陰極捕獲，形成離子電流，其大小與氣體分子密度成正比。特點：量程：通常為10?6Torr至10?3Torr，適合中高真空。優(yōu)點：無加熱元件，結(jié)構(gòu)簡單、壽命長。對振動不敏感（適合航天等惡劣環(huán)境）。局限性：低真空下響應(yīng)慢（需足夠殘余氣體維持放電）。測量結(jié)果可能受磁場均勻性影響。本質(zhì)區(qū)別總結(jié)類型**物理效應(yīng)信號來源適用量程對氣體種類敏感性皮拉尼計熱傳導(dǎo)效應(yīng)金屬絲電阻變化低真空至中真空高（需校準(zhǔn)）熱陰極電離計氣體電離效應(yīng)離子電流高真空至超高真空低（可忽略）冷陰極計（潘寧）高壓電場+磁場放電效應(yīng)離子電流中高真空低。 四合一真空計推薦咨詢