工業機械臂是擬人手臂、手腕和手功能 的機械電子裝置。擬人手臂、手腕和手功能的機械電子裝置；它可把任一物件或工具按空間位姿（位置和姿態）的時變要求進行移動，從而完成某一工業生產的作業要求。如夾持焊鉗或焊***，對汽車或摩托車車體進行了點焊或弧焊；搬運壓鑄或沖壓成型的零件或構件；進行激光切割；噴涂；裝配機械零部件等等。機械臂是“ROBOT”一詞的中文譯名。由于影視宣傳和科幻小說的影響，人們往往把機械臂想像成外貌似人的機械和電子裝置。但事實并不是這樣，特別是工業機械臂，與人的外貌往往毫無相似之處。根據國家標準，工業機械臂定義為“其操作機是自動控制的，可重復編程、多用途，并可以對3個以上軸進行編程。它可以是固定式或者移動式。在工業自動化應用中使用”。操作機又定義為“是一種機器，其機構通常由一系列相互鉸接或相對滑動的構件所組成。注塑行業機械臂常稱為注塑機機械手、塑料機機械手。河源晶圓運送機械吸臂新報價

本發明針對現有技術中的不足，提供了一種晶圓搬運機械手，本發明的機械手在傳送過程中晶片中心始終保證直線運動，且角度不會發生改變。從而提高機械手整體剛度和承重能力，同時提高了重復定位精度。本發明結構合理性能穩定，維護方便，多功能集一身，可滿足多種工藝設備要求，適用于各種半導體設備。

為了解決上述技術問題，本發明通過下述技術方案得以解決：一種晶圓搬運機械手，包括升降軸、旋轉軸和伸展軸，其特征為，所述的伸展軸包括伸展電機、一級伸展臂、二級伸展臂和手指固定座，所述的一級伸展臂與所述伸展電機之間設置有一級關節，所述的一級伸展臂與所述的二級伸展臂之間設置有二級關節，所述的二級伸展臂和所述的手指固定座之間設置有三級關節，所述的伸展電機、所述的一級關節、所述的二級關節和所述的三級關節依次傳動，所述的手指固定座始終保持直線運動。

河源晶圓運送機械吸臂新報價手臂的結構要緊湊小巧，才能做手臂運動輕快、靈活。

機械臂是指高精度，多輸入多輸出、高度非線性、強耦合的復雜系統。因其獨特的操作靈活性, 已在工業裝配, 安全防爆等領域得到廣泛應用。機械臂是一個復雜系統, 存在著參數攝動、外界干擾及未建模動態等不確定性。因而機械臂的建模模型也存在著不確定性，對于不同的任務, 需要規劃機械臂關節空間的運動軌跡，從而級聯構成末端位姿 [1]  。機器人系統是由視覺傳感器、機械臂系統及主控計算機組成，其中機械臂系統又包括模塊化機械臂和靈巧手兩部分。整個系統的構建模型如圖1 所示．

    6)自適應控制。采用組合自適應控制將系統劃分成關節子系統和柔性子系統。利用參數線性化的方法設計自適應控制規則來辨識柔性機械臂的不確定性參數。對具有非線性和參數不確定性的柔性機械臂進行了**控制器的設計。控制器的設計是依據Lyapunov方法的魯棒和自適應控制設計。通過狀態轉換將系統分成兩個子系統。用自適應控制和魯棒控制分別對兩個子系統進行控制。7)PID控制。PID控制器作為很受歡迎和**廣泛應用的控制器,由于其簡單、有效、實用,被普遍地用于剛性機械臂控制,常通過調整控制器增益構成自校正PID控制器或與其它控制方法結合構成復合控制系統以改善PID控制器性能。8)變結構控制。變結構控制系統是一種不連續的反饋控制系統,其中滑模控制是**普遍的變結構控制。其特點;在切換面上,具有所謂的滑動方式,在滑動方式中系統對參數變化和擾動保持不敏感,同時,它的軌跡位于切換面上,滑動現象并不依賴于系統參數,具有穩定的性質。變結構控制器的設計,不需要機械臂精確的動態模型,模型參數的邊界就足以構造一個控制器。 晶圓運送機械吸臂應用于半導體制造、光電子等領域。

    目前，直拉法是生長晶圓**常用的方法了，除了直拉法之外，常用的方法還有區熔法。區熔法，簡稱Fz法。1939年，在貝爾實驗室工作的W·G·Pfann較早萌生了“區域勻平”的念頭，后來在亨利·休勒、丹·多西等人的協助下，生長出了高純度的鍺以及硅單晶，并獲得了**。這種方法是利用熱能在半導體多晶棒料的一端產生一熔區，使其重結晶為單晶。使熔區沿一定方向緩慢地向棒的另一端移動，進而通過整根棒料，使多晶棒料生長成一根單晶棒料，區熔法也需要籽晶，且**終得到的柱狀單晶錠晶向與籽晶的相同。 X移動，Y移動，Z移動組成，通過在執行終端加裝X轉動，Y轉動，Z轉動可以到達空間內的任何坐標點。河源晶圓運送機械吸臂新報價

工業機械臂距離高精度的智能制造還有很長一段路要走。河源晶圓運送機械吸臂新報價

接下來是單晶硅生長，**常用的方法叫直拉法（CZ法）。如下圖所示，高純度的多晶硅放在石英坩堝中，并用外面圍繞著的石墨加熱器不斷加熱，溫度維持在大約1400 ℃，爐中的氣體通常是惰性氣體，使多晶硅熔化，同時又不會產生不需要的化學反應。為了形成單晶硅，還需要控制晶體的方向：坩堝帶著多晶硅熔化物在旋轉，把一顆籽晶浸入其中，并且由拉制棒帶著籽晶作反方向旋轉，同時慢慢地、垂直地由硅熔化物中向上拉出。熔化的多晶硅會粘在籽晶的底端，按籽晶晶格排列的方向不斷地生長上去。因此所生長的晶體的方向性是由籽晶所決定的，在其被拉出和冷卻后就生長成了與籽晶內部晶格方向相同的單晶硅棒。河源晶圓運送機械吸臂新報價

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