上海彌正憑借低溫精餾、吸附分離、膜分離、催化脫氧等多工藝集成提純技術，實現超高純氣體 5N-9N 級純度的穩(wěn)定量產，技術水平對標國際先進標準。針對不同氣體特性定制專屬提純方案：惰性氣體采用 “低溫精餾 + 吸附” 組合工藝，有效去除微量雜質；活性氣體通過 “催化凈化 + 膜分離” 技術，精細控制有害雜質含量；特種氣體則采用 “低溫吸附 + 精餾” 工藝，確保純度與穩(wěn)定性雙達標。配備國際先進的痕量雜質檢測設備，包括 GC-MS 氣相色譜 - 質譜聯用儀、ICP-MS 電感耦合等離子體質譜儀等，可檢測出 ppb-ppt 級別的微量雜質，每批次產品均經過至少 3 次全項檢測，確保純度達標。建立 1000㎡超潔凈生產車間，車間潔凈度達 Class 100 級，避免生產過程中氣體污染，提純設備采用自動化控制系統(tǒng)，操作精度達 ±0.01%，實現全年 365 天連續(xù)穩(wěn)定生產，氣體純度波動范圍≤0.05%，為下游制造行業(yè)提供可靠的純度保障。超高純甲烷（雜質≤0.5ppm）是半導體刻蝕工藝的關鍵氣體。一氧化碳超高純氣體半導體制造

上海彌正超高純乙硼烷（5N 級純度），專為 FinFET、GAA（全環(huán)繞柵極）等先進晶體管結構的超淺結摻雜工藝設計，以 “超高純度 + 準確控制” 突破芯片制程瓶頸。采用低溫合成與精密吸附提純技術，將雜質含量控制在極低水平，其中磷、砷等雜質含量≤5ppt，水分含量≤10ppb，滿足 5nm 及以下先進制程對超淺結摻雜的嚴苛要求。在超淺結摻雜中，它能提供高濃度的硼離子，實現對半導體材料的準確、淺度摻雜，形成高性能的 P 型半導體層，其純度與穩(wěn)定性直接影響結深控制精度與器件的閾值電壓，對提升晶體管開關性能至關重要。提供定制化的稀釋與輸送方案，可根據客戶工藝需求，將乙硼烷準確稀釋至 1-100ppm 的標準混合氣，采用不銹鋼管道輸送，配備在線濃度監(jiān)測與自動報警系統(tǒng)，確保摻雜過程準確可控。某專注于先進制程的芯片設計與制造企業(yè)應用后，GAA 晶體管的閾值電壓波動范圍縮小至 ±0.02V，開關電流提升 20%，成功實現 5nm 制程芯片的穩(wěn)定量產。三氟甲烷超高純氣體廠家供應超高純氮氣（純度≥99.999%）用作半導體制造保護氣，防止芯片加工時氧化。

上海彌正深耕國產超高純氣體研發(fā)與生產，打破國際巨頭在品類的壟斷，為半導體產業(yè)鏈自主可控提供關鍵材料支撐。針對國內高度依賴進口的 7N 級電子級氟化物、硅烷等品類，公司通過自主研發(fā)攻克重心提純技術，實現規(guī)模化量產，產品純度達到國際先進水平，雜質控制精度進入 ppt 級別，并成功通過中芯國際、長江存儲等頭部晶圓廠的驗證認證。相較于進口產品，公司產品在供應響應速度、成本控制及技術服務方面更具優(yōu)勢，可實現訂單 48 小時內快速響應，交貨周期縮短 50%，成本降低 20-30%。積極參與國家 “十四五” 新材料產業(yè)發(fā)展規(guī)劃重點項目，推動超高純氣體國家標準的修訂與完善，目前已主導或參與 3 項行業(yè)標準的制定。某半導體企業(yè)使用其國產替代型超高純三氟化氮后，不僅擺脫了對進口氣體的依賴，還將相關工藝的材料成本降低 25%，供應鏈穩(wěn)定性明顯增強，為實現芯片國產化提供了有力保障。

上海彌正高壓環(huán)境用超高純氣體，以 “耐壓穩(wěn)定 + 高純度保持” 適配深海探測、高壓化學反應等特殊場景，解決高壓下氣體純度衰減與容器泄漏難題。該系列氣體可定制適配 5MPa 至 30MPa 的不同高壓工況，純度達 5N-6N 級，采用高壓無縫鍛造氣瓶包裝，瓶體材質為超高強度合金鋼，經 1.5 倍工作壓力的水壓試驗與氣密性測試，確保在高壓環(huán)境下無泄漏風險。在深海探測領域，超高純氬氣作為深海探測器耐壓殼的壓力平衡氣體，其穩(wěn)定性可保障探測器在數千米深海的正常運行；在高壓化學反應領域，超高純氫氣與氮氣的混合氣作為反應介質，能在高壓下保持組分穩(wěn)定，確保反應充分且產物純凈。配備高精度高壓減壓閥與流量控制器，可將輸出壓力準確控制在 ±0.01MPa 范圍內，滿足不同高壓工藝的精確供氣需求。某海洋工程研究院應用該氣體后，深海探測器在 6000 米級海試中表現穩(wěn)定，數據采集成功率達 98%；某化工企業(yè)用于高壓加氫反應，反應轉化率提升 10%，產物純度達 99.8%。超高純二氧化碳純度達 99.995%，適配食品冷鏈與激光焊接保護。

上海彌正建立覆蓋原料采購、生產加工、產品檢測、倉儲運輸、終端使用的全鏈條質量追溯體系，確保每一瓶超高純氣體的品質可查、可控、可追溯。原料采購環(huán)節(jié)嚴格篩選質量供應商，所有原料均需提供完整的質量檢測報告，經公司實驗室復檢合格后方可入庫；生產過程采用自動化控制系統(tǒng)，實時記錄提純溫度、壓力、時間等關鍵參數，參數記錄精度達 0.01 級，可保存 10 年以上；產品檢測環(huán)節(jié)實行 “批次檢測 + 抽樣復檢” 制度，每批次產品均生成的質量追溯碼，包含原料信息、生產參數、檢測數據、運輸信息等內容。倉儲運輸環(huán)節(jié)采用恒溫恒濕倉庫，溫度控制在 5-25℃，濕度≤60%，運輸車輛配備 GPS 定位與溫度監(jiān)控裝置，實時跟蹤運輸狀態(tài)；終端交付時提供完整的質量追溯報告，客戶可通過追溯碼查詢產品全生命周期信息。該體系完全滿足 ISO 9001 質量管理體系與 SEMI 國際標準要求，某醫(yī)療客戶應用后，順利通過 GMP 認證，產品合規(guī)性得到認可，市場競爭力明顯提升。超高純氯氣用于水處理消毒，高效殺滅細菌與微生物。浙江三氟甲烷超高純氣體半導體制造

超高純氣體純度檢測采用氣相色譜法，準確控制雜質含量。一氧化碳超高純氣體半導體制造

上海彌正秉持綠色制造理念，打造環(huán)保型超高純氣體解決方案，從生產、使用到回收全流程降低環(huán)境影響。生產過程采用節(jié)能型提純設備，能耗較傳統(tǒng)設備降低 25%，同時利用余熱回收系統(tǒng)，實現能源循環(huán)利用；氣體使用后，通過特用回收裝置回收反應尾氣，如三氟化氮氣體回收率達 67%，經處理后可重新用于下游生產，降低資源浪費與環(huán)境排放。所有氣體包裝材料均采用可回收不銹鋼材質，回收率達 95% 以上，減少固體廢棄物產生；生產車間配備廢氣處理系統(tǒng)，確保廢氣排放符合國家環(huán)保標準，無有害氣體泄漏。為客戶提供環(huán)保使用指導，優(yōu)化氣體使用工藝，降低單位產品氣體消耗量，助力客戶實現 “雙碳” 目標。某半導體企業(yè)應用該環(huán)保方案后，年氣體消耗量降低 10%，廢棄物排放減少 30%，成功通過 “綠色工廠” 認證，環(huán)保與經濟效益雙贏。一氧化碳超高純氣體半導體制造

上海彌正氣體有限公司在同行業(yè)領域中，一直處在一個不斷銳意進取，不斷制造創(chuàng)新的市場高度，多年以來致力于發(fā)展富有創(chuàng)新價值理念的產品標準，在上海市等地區(qū)的電工電氣中始終保持良好的商業(yè)口碑，成績讓我們喜悅，但不會讓我們止步，殘酷的市場磨煉了我們堅強不屈的意志，和諧溫馨的工作環(huán)境，富有營養(yǎng)的公司土壤滋養(yǎng)著我們不斷開拓創(chuàng)新，勇于進取的無限潛力，上海彌正氣體供應攜手大家一起走向共同輝煌的未來，回首過去，我們不會因為取得了一點點成績而沾沾自喜，相反的是面對競爭越來越激烈的市場氛圍，我們更要明確自己的不足，做好迎接新挑戰(zhàn)的準備，要不畏困難，激流勇進，以一個更嶄新的精神面貌迎接大家，共同走向輝煌回來！