渦輪分子泵與干式前級泵的組合泵抽系統，是現代超高真空系統的黃金標準。它能夠實現無油污染的潔凈真空環境，避免了油擴散泵可能帶來的烴類污染風險。干式泵的使用也減少了對維護的需求和對環境的影響，符合現代實驗室的環保與自動化要求。系統的可定制選項遠不止于此。根據用戶的研究方向，我們可以提供不同材質的腔室內襯、針對特定腐蝕性材料優化的沉積源、更高溫度的加熱器、集成式低溫恒溫器以及用于連接其他超高真空分析設備的對接法蘭等，真正實現“量體裁衣”，滿足用戶的獨特研究構想。分子泵過載報警需檢查前級真空度與軸承狀態。納米團簇沉積系統解決方案

在電源要求方面，設備需接入穩定的三相交流電（具體電壓和頻率需根據設備規格確定），并配備單獨的接地系統（接地電阻應≤4Ω），以避免電壓波動和電磁干擾對設備運行的影響，確保沉積過程的準確控制。在氣體供應方面，需配備高純度的工作氣體（如氬氣、氮氣等，純度一般要求≥99.999%），并安裝相應的氣體凈化裝置和壓力調節裝置，確保氣體供應的穩定性和潔凈度，避免氣體中的雜質影響沉積質量。此外，安裝場地需遠離振動源（如大型水泵、空壓機等）和強磁場環境，防止振動導致設備部件松動或磁場干擾設備的電子控制系統，影響設備的運行精度。設備安裝需由科睿設備專業的技術人員按照規范流程進行，包括設備定位、管路連接、電路接線、真空系統調試等環節，確保設備安裝的準確性和安全性。粉體鍍膜沉積系統供應商推薦NL-FLEX 系統兼容卷對卷、非平面及粉末基材，適配多元沉積場景需求。

NL-FLEX系統展現了優異的基底兼容性，它能夠處理包括剛性基片、柔性卷對卷材料、復雜三維結構的非平面基底乃至粉末顆粒在內的各種樣品。這種靈活性極大地拓展了其應用邊界，使得從傳統硅片上的器件研發到粉末材料的表面改性，再到柔性電子器件的制備，都能在同一平臺上完成。該系統集成了納米顆粒沉積與多種薄膜沉積技術，為用戶提供了“一站式”的材料合成與加工解決方案。

該系列設備專為共享研究或教學實驗室環境進行了深度優化。其模塊化設計和智能化的過程控制，使得不同課題組的學生和研究人員能夠并行開展多樣化的納米技術項目，而無需擔憂交叉污染的風險。系統內置的先進配方驅動軟件，允許用戶預設并存儲復雜的工藝參數，不同用戶調用各自配方即可完成實驗，極大地提升了設備的使用效率與管理便捷性，尤其適合高校院所內多用戶、跨學科的研究平臺。

納米顆粒和薄膜 UHV 沉積系統的工作原理可概括為：以超高真空環境為基礎，通過多類型沉積源激發原料產生納米顆粒或原子蒸汽，經 QMS 質量篩選和傳輸，使粒子在預處理準確后的基材表面通過物理 / 化學作用形成穩定沉積層，整個過程由自動化系統實時控制，實現高純度、高均勻性、結構可控的納米顆粒涂層或薄膜制備。其主要優勢在于 “真空環境消除雜質、多源集成適配多元需求、精細篩選確保均一性、實時監測保障可控性”，這也是其能滿足科研與工業高科技需求的關鍵。設備專為共享實驗室設計，支持多用戶并行開展納米技術項目且無交叉污染。

燃料電池高性能催化劑制備（日本東北大學）：該大學環境學院團隊采用電弧等離子體類型的UHV沉積系統（APD）制備Pt基高熵合金催化劑。系統借助超高真空環境避免雜質污染，以原子級精度構建出4層單晶Pt層與10層Cantor合金的“偽核殼”結構，還通過準確控制實現Cr-Mn-Fe-Co-Ni等多元合金的組分比例。后續在Pt/Cantor合金的（111）晶面上引入三聚氰胺分子后，催化劑的氧還原反應活性提升約2倍，且在0.6-1.0V的潛在循環負載下保持超高穩定性，大幅延長了燃料電池使用壽命，為燃料電池催化劑的高性能化研發提供了技術支撐。原位等離子體清洗功能能有效增強涂層與基底的結合力。納米團簇沉積系統解決方案

粉體鍍膜系統可實現粉末顆粒表面的均勻無機薄膜包裹。納米團簇沉積系統解決方案

傳感器領域應用：納米涂層技術提升傳感器靈敏度與選擇性。

傳感器作為信息采集的重要器件，廣泛應用于工業檢測、環境監測、生物醫藥等多個領域，其靈敏度、選擇性和穩定性是衡量傳感器性能的關鍵指標。科睿設備的納米顆粒沉積系統通過在傳感器敏感元件表面沉積特定功能的納米涂層，能夠明顯提升傳感器的性能。在氣體傳感器領域，通過沉積對特定氣體具有高吸附性的納米顆粒（如金屬氧化物納米顆粒、貴金屬納米顆粒），可增強傳感器對目標氣體的響應靈敏度，降低檢測下限，同時通過調控納米顆粒的尺寸和組成，可提高傳感器對目標氣體的選擇性，減少干擾氣體的影響。在生物傳感器領域，通過沉積生物相容性良好的納米涂層（如SiO?納米顆粒、聚合物納米顆粒），可改善傳感器表面的生物相容性，提高生物分子的固定效率和活性，從而提升傳感器的檢測靈敏度和特異性；通過沉積納米級導電涂層，可加快生物反應過程中的電子轉移速率，縮短檢測時間。在壓力傳感器、溫度傳感器等物理傳感器領域，通過沉積納米薄膜或納米顆粒陣列，可優化傳感器的力學性能或熱學性能，提升傳感器的響應速度和測量精度。 納米團簇沉積系統解決方案

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