在給定的建模樣本中，拿出大部分樣本進行建模型，留小部分樣本用剛建立的模型進行預(yù)報，并求這小部分樣本的預(yù)報誤差，記錄它們的平方加和。這個過程一直進行，直到所有的樣本都被預(yù)報了一次而且*被預(yù)報一次。把每個樣本的預(yù)報誤差平方加和，稱為PRESS(predicted Error Sum of Squares)。交叉驗證的基本思想是把在某種意義下將原始數(shù)據(jù)(dataset)進行分組,一部分做為訓(xùn)練集(train set),另一部分做為驗證集(validation set or test set),首先用訓(xùn)練集對分類器進行訓(xùn)練,再利用驗證集來測試訓(xùn)練得到的模型(model),以此來做為評價分類器的性能指標。使用驗證集評估模型的性能，常用的評估指標包括準確率、召回率、F1分數(shù)、均方誤差（MSE）、均方根誤差。金山區(qū)口碑好驗證模型信息中心

模型檢驗是確定模型的正確性、有效性和可信性的研究與測試過程。一般包括兩個方面：一是驗證所建模型即是建模者構(gòu)想中的模型;二是驗證所建模型能夠反映真實系統(tǒng)的行為特征；有時特指前一種檢驗。可以分為四類情況：（1）模型結(jié)構(gòu)適合性檢驗：量綱一致性、方程式極端條件檢驗、模型界限是否合適。（2）模型行為適合性檢驗：參數(shù)靈敏度、結(jié)構(gòu)靈敏度。（3）模型結(jié)構(gòu)與實際系統(tǒng)一致性檢驗:外觀檢驗、參數(shù)含義及其數(shù)值。（4）模型行為與實際系統(tǒng)一致性檢驗：模型行為是否能重現(xiàn)參考模式、模型的極端行為、極端條件下的模擬、統(tǒng)計學(xué)方法的檢驗。以上各類檢驗需要綜合加以運用。有觀點認為模型與實際系統(tǒng)的一致性是不可能被**終證實的，任何檢驗只能考察模型的有限方面。 [1]上海直銷驗證模型價目選擇模型：在多個候選模型中，驗證可以幫助我們選擇模型，從而提高應(yīng)用的效果。

光刻模型包含光學(xué)模型和光刻膠模型，其中光刻膠模型描述了光刻膠曝光顯影過程中發(fā)生的物理化學(xué)反應(yīng)[1]。光刻膠模型可以為光刻膠的研發(fā)和光刻工藝的優(yōu)化提供指導(dǎo)。然而，由于模型中許多參數(shù)不可直接測量或測量較為困難，通常采用實際曝光結(jié)果來校準模型，即光刻膠模型的校準[2]。鑒于模型校準的必要性，業(yè)界通常需要花費大量精力用于模型校準的實驗與結(jié)果，如圖1所示 [3]。光刻膠模型的校準的具體流程如圖2所示 [2]。光刻膠模型校準主要包含四個部分：實驗條件的對標、光刻膠形貌的測量、模型校準、模型驗證。

用交叉驗證的目的是為了得到可靠穩(wěn)定的模型。在建立PCR 或PLS 模型時，一個很重要的因素是取多少個主成分的問題。用cross validation 校驗每個主成分下的PRESS值，選擇PRESS值小的主成分數(shù)。或PRESS值不再變小時的主成分數(shù)。常用的精度測試方法主要是交叉驗證，例如10折交叉驗證(10-fold cross validation)，將數(shù)據(jù)集分成十份，輪流將其中9份做訓(xùn)練1份做驗證，10次的結(jié)果的均值作為對算法精度的估計，一般還需要進行多次10折交叉驗證求均值，例如：10次10折交叉驗證，以求更精確一點。對有窮狀態(tài)系統(tǒng)，這個問題是可判定的，即可以用計算機程序在有限時間內(nèi)自動確定。

在驗證模型（SC）的應(yīng)用中，從應(yīng)用者的角度來看，對他所分析的數(shù)據(jù)只有一個模型是**合理和比較符合所調(diào)查數(shù)據(jù)的。應(yīng)用結(jié)構(gòu)方程建模去分析數(shù)據(jù)的目的，就是去驗證模型是否擬合樣本數(shù)據(jù)，從而決定是接受還是拒絕這個模型。這一類的分析并不太多，因為無論是接受還是拒絕這個模型，從應(yīng)用者的角度來說，還是希望有更好的選擇。在選擇模型（AM）分析中，結(jié)構(gòu)方程模型應(yīng)用者提出幾個不同的可能模型（也稱為替代模型或競爭模型），然后根據(jù)各個模型對樣本數(shù)據(jù)擬合的優(yōu)劣情況來決定哪個模型是**可取的。這種類型的分析雖然較驗證模型多，但從應(yīng)用的情況來看，即使模型應(yīng)用者得到了一個**可取的模型，但仍然是要對模型做出不少修改的，這樣就成為了產(chǎn)生模型類的分析。通過網(wǎng)格搜索、隨機搜索等方法調(diào)整模型的超參數(shù)，找到在驗證集上表現(xiàn)參數(shù)組合。嘉定區(qū)正規(guī)驗證模型熱線

如果可能，使用外部數(shù)據(jù)集對模型進行驗證，以評估其在真實場景中的表現(xiàn)。金山區(qū)口碑好驗證模型信息中心

模型驗證是機器學(xué)習(xí)和統(tǒng)計建模中的一個重要步驟，旨在評估模型的性能和可靠性。通過模型驗證，可以確保模型在未見數(shù)據(jù)上的泛化能力。以下是一些常見的模型驗證方法和步驟：數(shù)據(jù)劃分：訓(xùn)練集：用于訓(xùn)練模型。驗證集：用于調(diào)整模型參數(shù)和選擇模型。測試集：用于**終評估模型性能，確保模型的泛化能力。交叉驗證：k折交叉驗證：將數(shù)據(jù)集分成k個子集，輪流使用每個子集作為驗證集，其余作為訓(xùn)練集。**終結(jié)果是k次驗證的平均性能。留一交叉驗證：每次只留一個樣本作為驗證集，其余樣本作為訓(xùn)練集，適用于小數(shù)據(jù)集。金山區(qū)口碑好驗證模型信息中心

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