晶圓是半導體行業的關鍵元件,隨著半導體行業的迅速發展,晶圓的搬運技術逐漸成為制約行業發展的關鍵因素。晶圓搬運機械手是IC裝備的**之一,其性能的優劣直接影響晶圓的生產效率和制造質量,體現著整個加工系統的自動化程度和可靠性。在晶圓加工系統中包含兩類晶圓搬運機械...
一、成型氧化鋯結構陶瓷的成型方法目前用得較多的有三種:熱壓鑄成型、干壓成型和等靜壓成型。1、熱壓鑄成型對于氧化鋯結構陶瓷小型產品或形狀復雜的產品。一般采用熱壓鑄成型方法。該成型方法比較簡單,特別適宜于生產批量大或形狀復雜的中小型產品。但氧化鋯熱壓鑄...
一、陶瓷的增韌方法目前,陶瓷的增韌方法主要有:相變增韌、顆粒增韌、纖維增韌、自增韌、彌散韌化、協同增韌、納米增韌等。1、相變增韌相變增韌是指亞穩定四方相t—ZrO2在裂紋前列應力場的作用下發生一相變,形成單斜相,產生體積膨脹,從而對裂紋形成壓應力,...
耐磨陶瓷片作為設備耐磨處理工作中的重要零部件,具有工作能力強、破碎率高,成本低附加值高等特點,廣泛應用于礦山、冶金,北京煤粉濃淡分離器耐磨陶瓷襯片訂購、化工、能源、水泥,北京煤粉濃淡分離器耐磨陶瓷襯片訂購,北京煤粉濃淡分離器耐磨陶瓷襯片訂購、煤炭等行業。伴隨著...
2、工業高溫窯爐 氧化鋁陶瓷具有優異的耐高溫、熱穩定性好、熱導率低、熱容小、耐機械振動等性能,導熱系數和容重分別只有傳統耐火材料的1/10和1/15,綜合性能好,是理想的節能增效耐火材料,用于工作溫度高于1400 ℃的鋼鐵工業各種熱處理爐,陶瓷燒成窯...
它通常有幾個自由度,用以抓取或移動物體(工具或工件)。”所以對工業機械臂可能理解為:擬人手臂、手腕和手功能 的機械電子裝置;它可把任一物件或工具按空間位姿(位置和姿態)的時變要求進行移動,從而完成某一工業生產的作業要求。如夾持焊鉗或焊***,對汽車或摩托車車體...
精密結構陶瓷的制作流程通常包括以下步驟:1.原料選擇:根據所需陶瓷的性能和用途,選擇適當的天然或合成原料。2.配料:將原料和添加劑按一定比例混合,形成配方。3.球磨:通過球磨機將配方中的原料混合物研磨成細粉。4.噴霧干燥:將球磨后的漿料進行噴霧干燥,以形成顆粒...
一種晶圓傳輸裝置及其真空吸附機械手,該真空吸附機械手包括:手臂;固定在所述手臂上的吸附絕緣凸臺;設置在所述手臂和吸附絕緣凸臺內的真空氣道;所述吸附絕緣凸臺用于吸附待傳送晶圓的背面,所述吸附絕緣凸臺的硬度小于所述待傳送晶圓的背面的硬度。由于吸附絕緣凸臺的硬度小于...
2、顆粒增韌顆粒增韌是指用顆粒做增韌劑,添加入ZrO2陶瓷粉體中,盡管效果不及晶須與纖維,但若顆粒種類、粒徑、含量和基體材料選擇得當,仍有一定的強韌效果。其優點是簡便易行,增韌的同時會帶來高溫強度和高溫蠕變性能的改善。顆粒增韌的韌化機理主要有細化基...
四、醫學生物材料氧化鋯陶瓷材料在生物醫學領域內最常見的應用是作為齒科修復材料和手術***;在日本和美國等國家利用氧化鋯材質制作的烤瓷牙透明度好、生物相容性好,質量優良;而且目前已經有一些研究人員已經成功運用氧化鋯材料制成人造骨頭等用于醫療目的。以上...
高致密性陶瓷真空吸盤(多孔陶瓷真空吸盤),特殊的多孔陶瓷材料其孔徑為2~3微米,不易阻塞真空力大,部份面積吸附,同時也可作氣浮平臺,廣泛應用半導體、面板、雷射制程及非接觸線性滑軌。多孔陶瓷真空吸盤是密封的空氣來維持傳輸,裝置應用***用于平坦,無孔...
接下來是單晶硅生長,**常用的方法叫直拉法(CZ法)。如下圖所示,高純度的多晶硅放在石英坩堝中,并用外面圍繞著的石墨加熱器不斷加熱,溫度維持在大約1400 ℃,爐中的氣體通常是惰性氣體,使多晶硅熔化,同時又不會產生不需要的化學反應。為了形成單晶硅,還需要控制晶體...
耐磨膠泥使用方法:主要分以下四個驟:1、表面處理:針對缺點工件需要部位進行粗糙化處理,可選擇用角磨機打磨或噴砂等方式進行表面粗化;然后對打磨后粗化的表面進行清洗處理,可用**或乙酸乙酯等試劑進行清洗;被處理后的部位表面應確保是干燥新鮮的基材表面,并...
深圳市德澳美精密制造有限公司是生產耐磨陶瓷涂料、防磨膠泥、耐磨膠泥、陶瓷耐磨澆注料、氧化鋁陶瓷片、耐磨陶瓷涂層等產品專業生產加工的公司,擁有完整、科學的質量管理體系。多年來以誠信、實力和產品質量獲得業界的認可。我公司一直致力于打造品牌形象,建立自身完整的**競...
本發明涉及一種半導體制造技術,尤其是一種用于晶圓搬運的機械手。 背景技術: 在半導體加工設備中,經常需要將晶圓在各個工位之間進行傳送,在傳送的過程中,傳送精度越高,設備工藝一致性就越好,速度越快,單臺設備的產能就越大。隨...
進行光刻: 將設計好的電路掩模,置于光刻機的紫外射線下,然后再在它的下面放置Wafer,這一刻,Wafer上被光刻部分的光刻膠被融化掉,刻上了電路圖。然后將光刻膠去除,光刻膠上的圖案要與掩模上的圖案一致,然后進行再次光刻。一般來說一個晶圓的電路要經過...
精密結構陶瓷的應用領域: 航空航天:精密結構陶瓷可用于制造航空發動機的葉片、燃燒室部件等,因其輕量化和耐高溫的特性可提高發動機的燃油效率。 生物醫學:精密結構陶瓷可用于制造人工關節、牙科植入物等醫療器械,因其生物相容性和耐腐蝕性能提高患者的生活...
耐磨陶瓷片具有耐磨損失小,強度高、形狀可控制、整體性強、施工簡單、施工性能好,對于有耐磨要求的施工部位起到了很好的保護作用。隨著水泥工業新型干法生產,設備大型化的發展,對耐磨陶瓷片提出了新的要求。設備大型化引進的新設備需要內在質量好、使用可靠,外觀質量優良的耐...
為了解決使用機器語言編寫應用程序所帶來的一系列問題,人們首先想到了使用助記符號來代替不容易記憶的機器指令。這種助記符號來表示計算機指令的語言稱為符號語言,也稱匯編語言。在匯編語言中,每一條用符號來表示的匯編指令與計算機機器指令一一對應;記憶難度**減少了,不僅...
(7)堇青石、鈦酸鋁材料,其特點是熱膨脹系數小,因而***用于熱沖擊環境。添加劑(1)助熔劑陶瓷助熔劑的主要作用是降低燒成溫度,增加液相,擴大燒成范圍,提高坯體的力學強度和化學穩定性。常用的助熔劑有長石、珍珠巖、滑石、蛇紋石、硅灰石、石灰石、白云石...
耐磨陶瓷涂料屬于無機非金屬材料,主要成分為硅酸鹽和氧化鋁,和地球巖石層成分相近,不會造成土質惡化和重金屬離子污染,不會影響環境。 檢測項目 檢測數據 檢測項目 檢測數據 體積密度(g/cm3) 2.99 導熱系數(W/m.k) 1.5 耐壓強度(110...
微孔陶瓷簡介 性能 (1)氣孔率高。多孔陶瓷的重要特征是具有中較多的均勻可控的氣孔。氣孔有開口氣孔和閉口氣孔之分,開口氣孔具有過濾、吸收、吸附、消除回聲等作用,而閉口氣孔則有利于阻隔熱量、聲音以及液體與固體微粒傳遞。 (2)...
多孔陶瓷同時稱之為納米微孔真空吸盤,是指經過特殊的納米粉體制造工藝先生產出均勻的實心或者真空球體,通過高溫燒結在材料內部生成大量彼此連體或閉合的陶瓷材料,憑借特殊的結構從而具有耐高溫、耐磨損、耐化學腐蝕、機械強度高、易于再生和優良的抗熱震性等優點,可用于高...
與剛性機械臂相比較,柔性機械臂具有結構輕、載重/自重比高等特性,因而具有較低的能耗、較大的操作空間和很高的效率,其響應快速而準確,有著很多潛在的優點,在工業、**等應用領域中占有十分重要的地位。隨著宇航業及機器人業的飛速發展,越來越多地采用由若干個柔性構件...
晶圓運送機械吸臂是半導體制造過程中不可或缺的重要設備之一。它主要用于將晶圓從一個工序轉移到另一個工序,確保晶圓在整個制造過程中的安全和穩定運輸。 晶圓運送機械吸臂具有高度的自動化和精確性。它采用先進的自動控制系統,能夠準確地定位和抓取晶圓,避免了人為...
精密結構陶瓷是一種具有優異物理、化學和機械性能的無機非金屬材料。精密結構陶瓷的基本特性: 強度高:精密結構陶瓷的強度遠高于傳統金屬材料,可承受極高的壓力和拉伸力。 高硬度:精密結構陶瓷的硬度僅次于金剛石,使其具有出色的耐磨性。 耐腐蝕性:...
種微孔真空吸盤工作臺的制作方法 【技術領域】 [0001]本實用新型涉及一種微孔真空吸盤工作臺,屬于機械設備領域。 【背景技術】 [0002]劃片刀用于精密加工,由于它的損耗速度非常快,因此需求量非常大。生產劃片刀需要使用晶圓劃片機...
精密結構陶瓷是一種具有優異物理、化學和機械性能的無機非金屬材料。精密結構陶瓷的基本特性: 強度高:精密結構陶瓷的強度遠高于傳統金屬材料,可承受極高的壓力和拉伸力。 高硬度:精密結構陶瓷的硬度僅次于金剛石,使其具有出色的耐磨性。 耐腐蝕性:...
精密陶瓷結構件結構陶瓷是以強度、剛度、韌 抄性、耐磨性、硬度、疲勞強度等力學性能為特征的材料。納米陶瓷的超塑性在電子、磁性、光學以及 生物陶瓷方面有潛在應用。納米陶瓷可能具有的低溫超塑性、延展性和很高的斷裂韌性,將使其成為兼具陶瓷和金屬的優良特性(如高硬度...
高致密性陶瓷真空吸盤(多孔陶瓷真空吸盤),特殊的多孔陶瓷材料其孔徑為2~3微米,不易阻塞真空力大,部份面積吸附,同時也可作氣浮平臺,廣泛應用半導體、面板、雷射制程及非接觸線性滑軌。多孔陶瓷真空吸盤是密封的空氣來維持傳輸,裝置應用***用于平坦,無孔...