辰儀金屬電容真空計(jì)是完全對標(biāo)MKS的金屬電容真空計(jì)而開發(fā)的一款金屬膜片真空計(jì),已實(shí)現(xiàn)全系列部件國產(chǎn)化,產(chǎn)品測量精度接近MKS金屬電容真空計(jì)。辰儀金屬電容真空計(jì)已中芯國際等國內(nèi)FAB廠上機(jī)測試,填補(bǔ)了MKS對國內(nèi)斷供的影響。辰儀金屬電容真空計(jì)是完全對標(biāo)MKS的金...
真空計(jì)的拆裝需要謹(jǐn)慎操作,以確保設(shè)備不受損壞并保持測量精度。以下是拆裝真空計(jì)的一般步驟和注意事項(xiàng)。拆卸步驟斷電與泄壓:關(guān)閉電源,確保系統(tǒng)斷電。緩慢泄壓,確保系統(tǒng)內(nèi)無殘余壓力。斷開連接:斷開電氣連接,標(biāo)記接線以便重新安裝。使用合適工具斷開真空計(jì)與系統(tǒng)的連接。拆卸...
皮拉尼真空計(jì)利用惠斯通電橋的補(bǔ)償原理,通過測量一個(gè)發(fā)熱體與一個(gè)接收發(fā)熱體之間的熱傳導(dǎo)程度來判斷氣體的壓力。具體來說,當(dāng)加熱燈絲(一般為鉑絲)被恒定電流加熱時(shí),其溫度會(huì)升高。對于給定大小的電流,加熱絲的溫度取決于通過傳導(dǎo)和對流向周圍介質(zhì)(即氣體)散熱的速率。在真...
常見故障診斷抽速下降或極限真空度不足可能原因:密封件老化(O型圈、軸封)、油污染/不足(油封泵)、內(nèi)部磨損(旋片、轉(zhuǎn)子)、進(jìn)氣口堵塞、真空系統(tǒng)泄漏。檢查步驟:用檢漏儀(如氦質(zhì)譜儀)檢測系統(tǒng)泄漏。檢查油位和油質(zhì)(渾濁或乳化需更換)。聽運(yùn)行噪音(磨損可能伴隨異響)...
陶瓷真空計(jì)是一種用于測量真空系統(tǒng)中壓力的儀器,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、真空鍍膜、科研實(shí)驗(yàn)等領(lǐng)域。其部件由陶瓷材料制成,具有耐高溫、耐腐蝕、絕緣性能好等優(yōu)點(diǎn)。選型與使用量程選擇:根據(jù)測量需求選擇合適的量程。環(huán)境適應(yīng)性:考慮溫度、腐蝕性氣體等因素。安裝與維護(hù):正確安...
未來發(fā)展趨勢無油化:干式真空泵(如螺桿泵、爪式泵)成為主流,減少污染。智能化:集成傳感器和遠(yuǎn)程監(jiān)控,實(shí)現(xiàn)預(yù)測性維護(hù)。節(jié)能高效:優(yōu)化設(shè)計(jì),降低能耗(如變頻控制)。微型化:適用于小型化設(shè)備(如便攜式真空系統(tǒng))。總結(jié)油封泵:成本低,但需維護(hù)油路,適用于普通工業(yè)。干式...
真空泵系統(tǒng)真空泵系統(tǒng)是用來產(chǎn)生、維持和測量真空環(huán)境的設(shè)備組合,廣泛應(yīng)用于科研、工業(yè)制造、半導(dǎo)體、醫(yī)療等多個(gè)領(lǐng)域。主要組成部分真空泵:**部件,根據(jù)所需真空度不同可分為:初級(jí)泵(粗真空):旋片泵、活塞泵、液環(huán)泵等次級(jí)泵(高真空):擴(kuò)散泵、渦輪分子泵、低溫泵等超高...
關(guān)鍵維護(hù)建議定期保養(yǎng)油封泵:每500-2000小時(shí)換油(視工況)。干式泵:清潔泵腔,檢查螺桿/爪型轉(zhuǎn)子間隙。更換易損件(如過濾器、密封件)。操作注意事項(xiàng)避免抽入腐蝕性氣體或粉塵(需加裝過濾器)。防止返油:停機(jī)前關(guān)閉進(jìn)氣閥或使用防返油閥。工具與耗材**拉馬(拆卸...
維修前的準(zhǔn)備工作安全措施:確保設(shè)備斷電,系統(tǒng)泄壓,做好防護(hù)措施。對于大型工業(yè)真空泵,可能需要**工具和設(shè)備10。故障診斷:根據(jù)故障現(xiàn)象初步判斷問題所在,準(zhǔn)備相應(yīng)的備件和工具。有條件時(shí)可查閱設(shè)備維修手冊3。工作環(huán)境:清潔的工作區(qū)域?qū)φ婵毡镁S修至關(guān)重要,避免灰塵和...
關(guān)鍵維護(hù)建議定期保養(yǎng)油封泵:每500-2000小時(shí)換油(視工況)。干式泵:清潔泵腔,檢查螺桿/爪型轉(zhuǎn)子間隙。更換易損件(如過濾器、密封件)。操作注意事項(xiàng)避免抽入腐蝕性氣體或粉塵(需加裝過濾器)。防止返油:停機(jī)前關(guān)閉進(jìn)氣閥或使用防返油閥。工具與耗材**拉馬(拆卸...
關(guān)鍵維護(hù)建議定期保養(yǎng)油封泵:每500-2000小時(shí)換油(視工況)。干式泵:清潔泵腔,檢查螺桿/爪型轉(zhuǎn)子間隙。更換易損件(如過濾器、密封件)。操作注意事項(xiàng)避免抽入腐蝕性氣體或粉塵(需加裝過濾器)。防止返油:停機(jī)前關(guān)閉進(jìn)氣閥或使用防返油閥。工具與耗材**拉馬(拆卸...
(1)傳輸式真空泵通過改變泵腔的體積來抽氣,將氣體分子不斷地吸入真空泵中,并排到外界環(huán)境;這種泵又可分為兩種類型,即容積式真空泵和動(dòng)量傳遞真空泵。①容積式真空泵:利用泵腔容積的周期性變化來完成吸氣和排氣過程的一種真空泵,氣體在排出前被壓縮。常見的容積式真空泵包...
目前使用真空泵獲得真空的技術(shù)方法有兩種:(1)傳輸式真空泵通過改變泵腔的體積來抽氣,將氣體分子不斷地吸入真空泵中,并排到外界環(huán)境;這種泵又可分為兩種類型,即容積式真空泵和動(dòng)量傳遞真空泵。①容積式真空泵:利用泵腔容積的周期性變化來完成吸氣和排氣過程的一種真空泵,...
食品與包裝應(yīng)用場景:真空包裝機(jī):延長食品保質(zhì)期7。飲料脫氣:去除液體中的溶解氧3。7.航空航天與深海探測應(yīng)用場景:太空模擬艙:分子泵提供超高真空環(huán)境測試航天器6。深海設(shè)備密封:鮑斯真空泵用于水下機(jī)器人動(dòng)力系統(tǒng)10。8.科研與光學(xué)應(yīng)用場景:電子顯微鏡:渦輪分子泵...
真空泵是用于產(chǎn)生、改善和維持真空環(huán)境的設(shè)備,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、醫(yī)療、化工、食品包裝等領(lǐng)域。根據(jù)工作原理和結(jié)構(gòu),真空泵可分為機(jī)械泵和非機(jī)械泵兩大類,每類下又有多種類型。以下是主要真空泵的類型及其工作原理:液環(huán)真空泵(LiquidRingPump)原理:葉輪偏心旋...
醫(yī)療與生物技術(shù)應(yīng)用場景:血液透析機(jī):無油真空泵避免油污染血液7。醫(yī)療設(shè)備制造:如3D打印人工關(guān)節(jié)、手術(shù)器械的真空封裝9。實(shí)驗(yàn)室真空系統(tǒng):凍干機(jī)、離心濃縮儀等6。4. 工業(yè)制造與自動(dòng)化應(yīng)用場景:木工加工:真空吸附固定板材,減少跑板(鋒云變頻泵優(yōu)化節(jié)能30%)1。...
持清潔,杜絕污染:真空系統(tǒng)對清潔度要求極高。哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)灰塵、纖維或指紋,都可能影響**終的真空度。工作臺(tái)、工具和雙手必須保持干凈。拆卸下的零件應(yīng)放置在干凈的器皿或綢布上。使用無絨布和高純度清洗劑(如**、異丙醇)清洗零件,并確保其完全干燥后再安裝。規(guī)范拆卸與...
清潔與組裝清潔方法:用無紡布和**溶劑(如**)***泵腔油污、積碳。干式泵需徹底***粉塵(避免使用水洗,防止銹蝕)。組裝要點(diǎn):涂抹少量真空脂在密封面(如端蓋法蘭)。按拆卸逆序組裝,確保旋片、轉(zhuǎn)子方向正確。對稱擰緊螺栓(避免受力不均導(dǎo)致泄漏)。6.測試與調(diào)試...
非機(jī)械真空泵(非機(jī)械運(yùn)動(dòng)抽氣)1.擴(kuò)散泵(DiffusionPump)原理:加熱泵油產(chǎn)生高速油蒸氣射流,氣體分子被“拖拽”至出口,由前級(jí)泵抽走。特點(diǎn):極限真空:10??~10??Pa(超高真空)。無運(yùn)動(dòng)部件,但需前級(jí)泵配合。油可能返流污染系統(tǒng)。2.渦輪分子泵(...
(2)常見的真空泵機(jī)組真空泵機(jī)組通常由主泵、前級(jí)泵、控制系統(tǒng)以及其他必要的附件組成。以下是幾種常見的真空泵機(jī)組:①雙級(jí)水環(huán)泵+大氣噴射泵機(jī)組圖為有擋油阱的低真空機(jī)組。雙擊水環(huán)泵和大氣噴射泵串聯(lián)組成的機(jī)組極限壓力1300Pa。工作時(shí),先開動(dòng)水環(huán)泵,以獲得大氣噴射...
真空泵的應(yīng)用領(lǐng)域非常***,幾乎涵蓋所有需要真空環(huán)境的工業(yè)、科研和日常生活場景。以下是真空泵的主要應(yīng)用領(lǐng)域及典型場景:1.半導(dǎo)體與電子制造應(yīng)用場景:薄膜沉積(CVD/PVD):維持高真空環(huán)境(10?2~10??Pa),確保材料純度4。光刻機(jī)與刻蝕設(shè)備:超高真空...
關(guān)鍵維護(hù)建議定期保養(yǎng)油封泵:每500-2000小時(shí)換油(視工況)。干式泵:清潔泵腔,檢查螺桿/爪型轉(zhuǎn)子間隙。更換易損件(如過濾器、密封件)。操作注意事項(xiàng)避免抽入腐蝕性氣體或粉塵(需加裝過濾器)。防止返油:停機(jī)前關(guān)閉進(jìn)氣閥或使用防返油閥。工具與耗材**拉馬(拆卸...
真空泵是用于產(chǎn)生、改善和維持真空環(huán)境的設(shè)備,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、醫(yī)療、化工、食品包裝等領(lǐng)域。根據(jù)工作原理和結(jié)構(gòu),真空泵可分為機(jī)械泵和非機(jī)械泵兩大類,每類下又有多種類型。以下是主要真空泵的類型及其工作原理:低溫泵(Cryopump)原理:利用**溫(接近***零度...
真空泵的日常維護(hù)是確保其長期穩(wěn)定運(yùn)行、延長使用壽命的關(guān)鍵。以下是詳細(xì)的維護(hù)步驟和注意事項(xiàng),適用于常見的旋片式、螺桿式、渦旋式等真空泵:每月/季度維護(hù)檢查皮帶張力(皮帶傳動(dòng)型)手指按壓皮帶中部,下垂幅度約10~15mm為正常,過松打滑,過緊損傷軸承。清理冷卻系統(tǒng)...
每日維護(hù)檢查油位/油質(zhì)(油封泵)油位應(yīng)在視窗的1/2~2/3處,過低會(huì)導(dǎo)致潤滑不足,過高可能引起噴油。觀察油色,若發(fā)黑、乳化或渾濁(可能混入水分或雜質(zhì)),需立即更換。無油泵跳過此項(xiàng)。***運(yùn)行聲音異常噪音(如金屬摩擦、撞擊聲)可能提示軸承磨損、轉(zhuǎn)子卡滯或異物進(jìn)...
常見故障診斷抽速下降或極限真空度不足可能原因:密封件老化(O型圈、軸封)、油污染/不足(油封泵)、內(nèi)部磨損(旋片、轉(zhuǎn)子)、進(jìn)氣口堵塞、真空系統(tǒng)泄漏。檢查步驟:用檢漏儀(如氦質(zhì)譜儀)檢測系統(tǒng)泄漏。檢查油位和油質(zhì)(渾濁或乳化需更換)。聽運(yùn)行噪音(磨損可能伴隨異響)...
確認(rèn)泵體已冷卻:真空泵在運(yùn)行時(shí)溫度很高,尤其是油封式機(jī)械泵。等待泵體冷卻至室溫后再進(jìn)行操作,避免燙傷。收集信息與制定計(jì)劃:閱讀說明書: 仔細(xì)閱讀該型號(hào)真空泵的維修手冊,了解其特殊結(jié)構(gòu)、拆卸順序和扭矩要求。分析故障現(xiàn)象: 根據(jù)之前的運(yùn)行記錄(如噪音、振動(dòng)、真空度...
真空獲得的基本方法1. 機(jī)械排氣法容積式真空泵:通過周期性改變泵腔容積實(shí)現(xiàn)氣體壓縮和排出旋片泵、活塞泵、螺桿泵、渦旋泵等動(dòng)量傳輸式泵:通過高速旋轉(zhuǎn)部件將動(dòng)量傳遞給氣體分子羅茨泵、渦輪分子泵等2. 氣體捕集法吸附泵:利用吸附材料(如分子篩、活性炭)在低溫下吸附氣...
真空泵選型關(guān)鍵因素所需真空度(粗/中/高/超高真空)。抽氣速率(單位時(shí)間抽氣量,如m3/h)。介質(zhì)兼容性(腐蝕性、可凝性氣體)。是否允許油污染(干式vs.油封)。維護(hù)成本(換油、易損件更換頻率)。四、典型應(yīng)用場景真空泵類型主要應(yīng)用領(lǐng)域旋片泵實(shí)驗(yàn)室、醫(yī)療、小型真...
真空泵維修全指南:常見故障診斷與解決方案真空泵作為工業(yè)生產(chǎn)和科研實(shí)驗(yàn)中的重要設(shè)備,其正常運(yùn)行對許多工藝流程至關(guān)重要。然而,長期使用過程中難免會(huì)出現(xiàn)各種故障。本文將系統(tǒng)介紹真空泵的常見故障類型、診斷方法、維修步驟以及預(yù)防性維護(hù)措施,幫助您快速解決真空泵運(yùn)行中的各...