激光干涉測量儀是一種基于激光干涉原理的高精度計(jì)量儀器，廣泛應(yīng)用于工程與技術(shù)科學(xué)領(lǐng)域 [1-2]。該儀器通過測量激光波長變化實(shí)現(xiàn)幾何量的檢測，具備抗干擾能力強(qiáng)、精度高等特點(diǎn)。主要應(yīng)用場景包括數(shù)控機(jī)床校準(zhǔn)、三坐標(biāo)機(jī)校準(zhǔn)、光學(xué)平臺校準(zhǔn)等，通過與不同光學(xué)組件結(jié)合，可檢測線性位移、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等參數(shù) [2]截至2020年11月，激光干涉測量儀的技術(shù)參數(shù)包括 [1]：標(biāo)準(zhǔn)量程：0-40米測量精度：±0.5 ppm分辨率：1納米比較大速率：240米/分鐘角度測量精度：0.2%激光發(fā)射：激光器發(fā)出單色光束。太倉附近雙頻激光干涉儀產(chǎn)品介紹

激光干涉儀具有廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域，包括但不限于：科學(xué)研究：用于檢測引力波、測量微小位移和振動等。工業(yè)制造：用于精密機(jī)械加工、質(zhì)量控制和機(jī)床校準(zhǔn)等。在機(jī)床校準(zhǔn)中，激光干涉儀能夠測量機(jī)床的線性定位誤差、直線度誤差、偏擺角、俯仰角和滾動角等，以及速度、加速度、振動等參數(shù)，并評估機(jī)床的動態(tài)特性。計(jì)量學(xué)：用于長度標(biāo)準(zhǔn)的校準(zhǔn)。通信：用于光纖傳感和信號處理。四、主要特點(diǎn)高精度：激光干涉儀能夠?qū)崿F(xiàn)亞納米級的測量精度，非常適合各種高精度測量應(yīng)用。張家港銷售雙頻激光干涉儀設(shè)備廠家雙頻激光干涉儀以波長作為標(biāo)準(zhǔn)對被測長度進(jìn)行度量的儀器。

機(jī)床與加工設(shè)備：應(yīng)用于數(shù)控機(jī)床、磨床、鏜床、加工中心等設(shè)備的定位系統(tǒng)校準(zhǔn)及誤差修正，以提升加工精度。集成電路制造：支持半導(dǎo)體光刻技術(shù)的工件臺的精密定位。物理實(shí)驗(yàn)：測量位移、速度、加速度等動力學(xué)參數(shù)。在線監(jiān)測控制：在大規(guī)模集成電路加工設(shè)備、精密機(jī)床中實(shí)現(xiàn)誤差的在線測量，以提升生產(chǎn)穩(wěn)定性。檢測儀器校準(zhǔn)：用于線性位移傳感器、角度傳感器、直線度檢測儀等幾何檢測儀器的標(biāo)定。雙頻激光干涉儀憑借其高精度、強(qiáng)環(huán)境適應(yīng)力、高實(shí)時動態(tài)測速以及廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域，在精密制造、科研創(chuàng)新以及標(biāo)準(zhǔn)化檢測等方面發(fā)揮著關(guān)鍵作用。

干涉儀是很***的一類實(shí)驗(yàn)技術(shù)的總稱， 其思想在于利用波的疊加性來獲取波的相位信息， 從而獲得實(shí)驗(yàn)所關(guān)心的物理量。干涉儀并不僅*局限于光干涉儀。 干涉儀在天文學(xué) (Thompson et al, 2001) [1]， 光學(xué)， 工程測量， 海洋學(xué)， 地震學(xué)， 波譜分析， 量子物理實(shí)驗(yàn)， 遙感， 雷達(dá)等等精密測量領(lǐng)域都有廣泛應(yīng)用（Hariharan， 2007） [2]。具有固定相位差的兩列準(zhǔn)單色波的疊加將導(dǎo)致振幅發(fā)生變化， 從而可以通過測量較容易測量的振幅來獲取波的相位信息。兩列具有同頻率波之振動在一點(diǎn)處可以用如下公式描述那么這兩列波疊加以后的波的振動為光纖干涉儀：利用光纖中的光波干涉現(xiàn)象，廣泛應(yīng)用于傳感器、通信等領(lǐng)域。

激光干涉儀，以激光波長為已知長度，利用邁克耳遜干涉系統(tǒng)測量位移的通用長度測量。激光具有**度、高度方向性、空間同調(diào)性、窄帶寬和高度單色性等優(yōu)點(diǎn)。目前常用來測量長度的干涉儀，主要是以邁克爾遜干涉儀為主，并以穩(wěn)頻氦氖激光為光源，構(gòu)成一個具有干涉作用的測量系統(tǒng)。激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來作線性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等測量工作，并可作為精密工具機(jī)或測量儀器的校正工作。英文名稱：laser interferometer（激光干涉儀）干涉是指兩束或多束波在空間中相遇時相互疊加，形成新的波形的現(xiàn)象。高新區(qū)本地雙頻激光干涉儀單價

即使光強(qiáng)衰減90%，仍然可以得到有效的干涉信號。太倉附近雙頻激光干涉儀產(chǎn)品介紹

激光干涉儀有單頻的和雙頻的兩種。單頻激光干涉儀從激光器發(fā)出的光束，經(jīng)擴(kuò)束準(zhǔn)直后由分光鏡分為兩路，并分別從固定反射鏡和可動反射鏡反射回來會合在分光鏡上而產(chǎn)生干涉條紋。當(dāng)可動反射鏡移動時，干涉條紋的光強(qiáng)變化由接受器中的光電轉(zhuǎn)換元件和電子線路等轉(zhuǎn)換為電脈沖信號，經(jīng)整形、放大后輸入可逆計(jì)數(shù)器計(jì)算出總脈沖數(shù)，再由電子計(jì)算機(jī)按計(jì)算式[356-11]式中λ為 激光波長(N 為電脈沖總數(shù))，算出可動反射鏡的位移量L。使用單頻激光干涉儀時，要求周圍大氣處于穩(wěn)定狀態(tài)，各種空氣湍流都會引起直流電平變化而影響測量結(jié)果。太倉附近雙頻激光干涉儀產(chǎn)品介紹

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