激光干涉測量儀是一種基于激光干涉原理的高精度計量儀器，廣泛應用于工程與技術科學領域 [1-2]。該儀器通過測量激光波長變化實現幾何量的檢測，具備抗干擾能力強、精度高等特點。主要應用場景包括數控機床校準、三坐標機校準、光學平臺校準等，通過與不同光學組件結合，可檢測線性位移、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等參數 [2]截至2020年11月，激光干涉測量儀的技術參數包括 [1]：標準量程：0-40米測量精度：±0.5 ppm分辨率：1納米比較大速率：240米/分鐘角度測量精度：0.2%光束合并：兩束光在分束器后重新合并，形成干涉圖樣。高新區銷售雙頻激光干涉儀選擇

(1)接受信號為交流信號，前置放大器為高倍數的交流放大器，不用直流放大，故沒有零點漂移等問題。(2)利用多普勒效應，計數器計頻率差的變化，不受激光強度和磁場變化的影響。在光強度衰減90%時仍可得到滿意的信號，這對于遠距離測量是十分重要的，同時在近距離測量時又能簡化調整工作。(3)測量精度不受空氣湍流的影響，無需預熱時間。用激光干涉儀作為機床的測量系統可以提高機床的精度和效率。起初*用于高精度的磨床、鏜床和坐標測量機上，以后又用于加工中心的定位系統中。姑蘇區新款雙頻激光干涉儀五星服務即使不做細分也可達到μm量級，細分后更可達到nm量級。

基于菲索干涉儀的等厚干涉原理設計，通過對比被測平面與標準參照鏡的干涉條紋變化，實現光學元件表面形狀誤差和材料均勻性的非接觸式測量 [1] [3-4]。標準參照鏡面形精度通常達到p-v:λ/20 [3-4]。測量口徑：Φ60mm（典型型號） [3-4]對準方式：兩點對準系統 [3-4]結構特性：小型化設計、防塵性能優異 [3-4]精度范圍：根據型號不同覆蓋1/10-1/100波長梯度 [11.光學制造：檢測平面鏡、棱鏡等光學元件表面面型2.質量檢測：評估光學材料均勻性與透鏡波前像差 [1]3.科研實驗：實驗室環境下進行精密光學計量分析

8、激光干涉儀的光源——激光，具有**度、高度方向性、空間同調性、窄帶寬和高度單色性等優點。9、激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來使用。1、儀器應放置在干燥、清潔以及無振動的環境中應用。2、在移動儀器時，為防止導軌變形，應托住底座再進行移動。3、儀器的光學零件在不用時，應在清潔干燥的器皿中進行存放，以防止發霉。4、盡量不要去擦拭儀器的反光鏡、分光鏡等，如必須擦拭則應當小心擦拭，利用科學的方法進行清潔。現代的雙頻激光干涉儀測速普遍達到1m/s，有的甚至達到十幾m/s，適于高速動態測量。

檢驗光學元件泰曼干涉儀被普遍用來檢驗平板、棱鏡和透鏡等光學元件的質量。在泰曼干涉儀的一個光路中放置待檢查的平板或棱鏡，平板或棱鏡的折射率或幾何尺寸的任何不均勻性必將反映到干涉圖樣上。若在光路中放置透鏡，可根據干涉圖樣了解由透鏡造成的波面畸變，從而評估透鏡的波像差。引力波測量干涉儀也可以用于引力波探測(Saulson, 1994) [4]。 激光干涉儀引力波探測器的概念是前蘇聯科學家Gertsenshtein和Pustovoit在1962年提出的（Gertsenshtein和Pustovoit 1962） [5]。 1969年美國科學家Weiss和Forward則分別在1969年即于麻省理工和休斯實驗室建造初步的試驗系統（Weiss 1972） [6]雙頻激光干涉儀是在單頻激光干涉儀的基礎上發展的一種外差式干涉儀。昆山附近雙頻激光干涉儀哪家強

雙頻激光干涉儀是一種高精度、高靈敏度的測量工具，適用于各種科學研究和工業應用。高新區銷售雙頻激光干涉儀選擇

若干涉條紋發生移動，一定是場點對應的光程差發生了變化，引起光程差變化的原因，可能是光線長度L發生變化，或是光路中某段介質的折射率n發生了變化，或是薄膜的厚度e發生了變化。S為點光源，M1（上邊）、M2（右邊）為平面全反射鏡，其中M1是定鏡；M2為動鏡，它和精密螺絲相連，轉動鼓輪可以使其向前后方向移動，最小讀數為10mm，可估計到10mm,。M1和M2后各有3個小螺絲可調節其方位。G1（左）為分光鏡，其右表面鍍有半透半反膜，使入射光分成強度相等的兩束（反射光和透射光）。高新區銷售雙頻激光干涉儀選擇

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