激光干涉測(cè)量?jī)x是一種基于激光干涉原理的高精度計(jì)量?jī)x器，廣泛應(yīng)用于工程與技術(shù)科學(xué)領(lǐng)域 [1-2]。該儀器通過(guò)測(cè)量激光波長(zhǎng)變化實(shí)現(xiàn)幾何量的檢測(cè)，具備抗干擾能力強(qiáng)、精度高等特點(diǎn)。主要應(yīng)用場(chǎng)景包括數(shù)控機(jī)床校準(zhǔn)、三坐標(biāo)機(jī)校準(zhǔn)、光學(xué)平臺(tái)校準(zhǔn)等，通過(guò)與不同光學(xué)組件結(jié)合，可檢測(cè)線性位移、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等參數(shù) [2]截至2020年11月，激光干涉測(cè)量?jī)x的技術(shù)參數(shù)包括 [1]：標(biāo)準(zhǔn)量程：0-40米測(cè)量精度：±0.5 ppm分辨率：1納米比較大速率：240米/分鐘角度測(cè)量精度：0.2%其原因在于它是一種直流測(cè)量系統(tǒng)，必然具有直流光平和電平零漂的弊端。虎丘區(qū)耐用雙頻激光干涉儀五星服務(wù)

（5）數(shù)控機(jī)床動(dòng)態(tài)性能檢測(cè) 利用RENISHAW動(dòng)態(tài)特性測(cè)量與評(píng)估軟件，可用激光干涉儀進(jìn)行機(jī)床振動(dòng)測(cè)試與分析（FFT），滾珠絲杠的動(dòng)態(tài)特性分析，伺服驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析，導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性（低速爬行）分析等。5D/6D標(biāo)準(zhǔn)型：1. 線性：0.5ppm .2. 測(cè)量范圍：40米（1D可選80米）3. 線性分辨力：0.001um.4. 偏擺角和俯仰角的精度：（1.0+0.1/m）角秒或1%顯示較大值5. 比較大范圍：800角秒6. 滾動(dòng)角精度：1.0角秒7. 直線度精度：（1.0+0.2/m）um或1%顯示較大值8. 直線度比較大范圍：500um9. 垂直度精度：1角秒10. 溫度精度：0.2攝氏度11.濕度精度：5%12.壓力精度：1mmHg張家港新款雙頻激光干涉儀產(chǎn)品介紹利用多普勒效應(yīng)，計(jì)數(shù)器計(jì)頻率差的變化，不受激光強(qiáng)度和磁場(chǎng)變化的影響。

環(huán)境適應(yīng)力強(qiáng)：雙頻激光干涉儀采用交流放大器對(duì)干涉信號(hào)進(jìn)行放大，即使光強(qiáng)衰減90%，仍然可以得到有效的干涉信號(hào)。因此，它既可在恒溫、恒濕、防震的計(jì)量室內(nèi)使用，也可在普通車(chē)間內(nèi)為大型機(jī)床的刻度進(jìn)行標(biāo)定。實(shí)時(shí)動(dòng)態(tài)測(cè)速高：現(xiàn)代的雙頻激光干涉儀測(cè)速普遍達(dá)到1m/s，有的甚至達(dá)到十幾m/s，適于高速動(dòng)態(tài)測(cè)量。三、應(yīng)用領(lǐng)域幾何量精密測(cè)量：用于長(zhǎng)度、角度、直線度、平行度、平面度、垂直度等幾何量的高精度測(cè)量。同時(shí)，既支持幾十米大量程的檢測(cè)（如大型機(jī)械），也可對(duì)手表零件等微米級(jí)運(yùn)動(dòng)進(jìn)行測(cè)量。

激光干涉儀是一種高精度的測(cè)量工具，以下是對(duì)其的詳細(xì)介紹：一、定義與原理激光干涉儀是以激光波長(zhǎng)為已知長(zhǎng)度，利用邁克爾遜干涉系統(tǒng)測(cè)量位移的通用長(zhǎng)度測(cè)量工具。其工作原理基于干涉原理，即當(dāng)兩束波重疊并結(jié)合時(shí)，會(huì)產(chǎn)生新的波形模式。在激光干涉儀中，激光束被分為兩路，一路經(jīng)固定反射鏡反射，另一路經(jīng)可動(dòng)反射鏡反射，兩束光重新匯合時(shí)產(chǎn)生干涉條紋。當(dāng)可動(dòng)反射鏡移動(dòng)時(shí)，干涉條紋的光強(qiáng)變化被轉(zhuǎn)換為電信號(hào)，進(jìn)而計(jì)算出位移量。而雙頻激光干涉儀正好克服了這一弱點(diǎn)，它是在單頻激光干涉儀的基礎(chǔ)上發(fā)展的一種外差式干涉儀。

激光干涉儀，以激光波長(zhǎng)為已知長(zhǎng)度，利用邁克耳遜干涉系統(tǒng)測(cè)量位移的通用長(zhǎng)度測(cè)量。激光具有**度、高度方向性、空間同調(diào)性、窄帶寬和高度單色性等優(yōu)點(diǎn)。目前常用來(lái)測(cè)量長(zhǎng)度的干涉儀，主要是以邁克爾遜干涉儀為主，并以穩(wěn)頻氦氖激光為光源，構(gòu)成一個(gè)具有干涉作用的測(cè)量系統(tǒng)。激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來(lái)作線性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等測(cè)量工作，并可作為精密工具機(jī)或測(cè)量?jī)x器的校正工作。英文名稱：laser interferometer（激光干涉儀）雙頻激光干涉儀是一種高精度、高靈敏度的測(cè)量工具，適用于各種科學(xué)研究和工業(yè)應(yīng)用。工業(yè)園區(qū)購(gòu)買(mǎi)雙頻激光干涉儀量大從優(yōu)

高精度：雙頻激光干涉儀能夠?qū)崿F(xiàn)亞納米級(jí)別的測(cè)量精度，適用于微小位移的檢測(cè)。虎丘區(qū)耐用雙頻激光干涉儀五星服務(wù)

雙頻激光干涉儀激光干涉儀在氦氖激光器上，加上一個(gè)約0.03特斯拉的軸向磁場(chǎng)。由于塞曼分裂效應(yīng)和頻率牽引效應(yīng), 激光器產(chǎn)生1和2兩個(gè)不同頻率的左旋和右旋圓偏振光。經(jīng)1/4波片后成為兩個(gè)互相垂直的線偏振光,再經(jīng)分光鏡分為兩路。一路經(jīng)偏振片1后成為含有頻率為f1-f2的參考光束。另一路經(jīng)偏振分光鏡后又分為兩路：一路成為*含有f1的光束,另一路成為*含有f2的光束。當(dāng)可動(dòng)反射鏡移動(dòng)時(shí),含有f2的光束經(jīng)可動(dòng)反射鏡反射后成為含有f2 ±Δf的光束，Δf是可動(dòng)反射鏡移動(dòng)時(shí)因多普勒效應(yīng)產(chǎn)生的附加頻率,正負(fù)號(hào)表示移動(dòng)方向(多普勒效應(yīng)是奧地利人C.J.多普勒提出的，即波的頻率在波源或接受器運(yùn)動(dòng)時(shí)會(huì)產(chǎn)生變化)。虎丘區(qū)耐用雙頻激光干涉儀五星服務(wù)

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