微流控芯片鍵合工藝的密封性與可靠性優化：鍵合工藝是微流控芯片封裝的關鍵環節，公司針對不同材料組合開發了多元化鍵合技術。對于PDMS軟芯片，采用氧等離子體活化鍵合，鍵合強度可達20kPa，滿足低壓流體（<50kPa）長期穩定傳輸；硬質塑料芯片通過熱壓鍵合（溫度80-150℃，壓力5-10MPa）實現無縫連接，適用于高壓流路（如200kPa以上）；玻璃與硅片的陽極鍵合（電壓500-1000V，溫度300℃）則形成化學共價鍵，鍵合界面缺陷率<0.1%。鍵合前通過激光微加工去除流道邊緣毛刺，配合機器視覺對準系統（精度±2μm），確保多層結構的精細對位。密封性能檢測采用壓力衰減法（分辨率0.1kPa）與熒光滲漏成像，確保芯片在復雜工況下無泄漏。該技術體系保障了微流控芯片從實驗室原型到工業級產品的可靠性跨越，廣泛應用于體外診斷、生物制藥等對密封性要求極高的領域。POCT 微流控芯片通過集成設計，實現無泵閥自動化樣本處理與快速檢測。天津數字微流控芯片

柔性 MEMS 器件的引入，打破了傳統微流控芯片 “剛性、不可變形” 的局限，深圳市勃望初芯半導體科技有限公司將基于 PI 的柔性 MEMS 器件與微流控技術結合，開發出適配生物體內環境的創新產品。PI 材料具備優異的生物兼容性（通過 ISO 10993 生物相容性測試）與柔性（可彎曲半徑小于 5mm），將其作為微流控芯片基底，可制作植入式微流控器件，如用于體內藥物遞送的芯片，能貼合表面，通過微通道精細釋放藥物，同時集成傳感器實時監測體內藥物濃度，實現 “給藥 - 監測” 閉環。在動物實驗中，該柔性微流控芯片植入大鼠體內后，可連續 7 天監測血糖并釋放胰島素，血糖控制精度比傳統注射方式提升 40%。此外，PI 材料還具備良好的太赫茲波透過性，公司開發的柔性微流控芯片可作為太赫茲調制襯底，用于生物組織的太赫茲成像檢測，如皮膚的早期診斷，芯片既能承載組織樣品，又能通過微流控通道輸送造影劑，提升成像對比度，這種協同優勢讓微流控芯片在植入式醫療與檢測領域開辟新場景。個性化微流控芯片按需定制微流控芯片產業的深度分析。

美國圣母大學(University of Notre Dame)的Hsueh-Chia Chang博士與微生物學家和免疫檢測professor合作研究，提高了微流控分析設備檢測細胞和生物分子的速度和靈敏性。同時，Chang對交流電動電學進行了改善，因為他認為交流電（AC）可作為選擇平臺，驅動流體通過用于醫學和研究的微流控分析儀。微流控分析儀的驅動機制是常規的直流電動電學，但是使用時容易產生氣泡并引起物質在電極發生化學反應的缺點限制了直流電的應用，此外，為保證其對流量的精確控制，直流電極必須放置在儲液池中，不能直接連接在電路中。

納米級結構的集成的，讓微流控芯片的性能實現質的飛躍，深圳市勃望初芯半導體科技有限公司憑借 EBL 電子束光刻技術，在微流控芯片上實現納米級功能結構，拓展應用邊界。公司可制作基于納米級微電極陣列的超表面芯片，電極間距小可達 50nm，能精細捕獲生物電信號，如在神經科學研究中，該芯片可記錄單個神經元的電活動，為腦科學研究提供高分辨率工具；也可制作納米級金屬微柱陣列芯片，通過調控微柱尺寸與排布，實現生物分子的特異性捕獲，如在早期檢測中，微柱陣列可高效捕獲血液中的循環腫瘤細胞（CTCs），捕獲效率達 95% 以上。在某生物醫療公司的合作中，勃望初芯為其定制納米微電極陣列微流控芯片，用于心肌細胞電生理檢測，芯片可實時監測心肌細胞的動作電位，為藥物心臟毒性評估提供精細數據，這種 “微流控 + 納米結構” 的融合創新，讓芯片具備了傳統器件無法比擬的性能優勢。微流控芯片的基本實現方式有：MEMS微納米加工技術、光刻、飛秒激光直寫、LIGA、注塑、刻蝕等等；

什么是微流控技術？微流控技術是一門精確控制和操縱流體的科學技術，這些流體在幾何空間上被限制在小規模流道中，通常流道系統的直徑低于100μm。對于科學家和工程師來講，微流體一詞的使用方式存在不同；對許多教授來說，微流控是一個科學領域，主要應用于通過直徑在100微米（μm）到1微米之間的流道研究和操縱微量流體。對微流控工程師來講，微流控芯片（通常稱為：生物MEMS芯片）的制造，主要是為了引導流體在直徑為100μm至1μm的流道系統中流動。利用微流控芯片做抗體檢測。重慶微流控芯片私人定做

MEMS 工藝實現超薄柔性生物電極定制，用于腦機接口電刺激與電信號記錄。天津數字微流控芯片

高聚物材料加工工藝：是以高聚物材料為基片加工微流控芯片的方法主要有:模塑法、熱壓法、LIGA技術、激光刻蝕法和軟光刻等。模塑法是先利用半導體/MEMS光刻和蝕刻的方法制作出通道部分突起的陽模，然后在陽模上澆注液體的高分子材料，將固化后的高分子材料與陽模剝離后就得到了具有微結構的基片，之后與蓋片(多為玻璃)封接后就制得高聚物微流控芯片。這一方法簡單易行，不需要高技術設備，是大量生產廉價芯片的方法。熱壓法也需要事先獲得適當的陽模。天津數字微流控芯片