在MEMS微納加工領域，公司通過“材料創新+工藝突破”雙輪驅動，為醫療健康、生物傳感等場景提供高精度、定制化的微納器件解決方案。公司依托逾700平米的6英寸MEMS產線，可加工玻璃、硅片、PDMS、硬質塑料等多種基材的微納結構，覆蓋從納米級（0.5-5μm）到百微米級（10-100μm）的尺度需求。其**技術包括深硅刻蝕、親疏水改性、多重轉印工藝等，能夠實現復雜三維微流道、高深寬比微孔陣列及柔性電極的精密成型，滿足腦機接口、類***電生理研究、微針給藥等前沿醫療應用的嚴苛要求。MEMS常見的產品-壓力傳感器。江蘇MEMS微納米加工性價比

超聲影像芯片的全集成MEMS設計與性能突破：針對超聲PZT換能器及CMUT/PMUT新型傳感器的收發需求，公司開發了**SoC超聲收發芯片，采用0.18mm高壓SOI工藝實現發射與開關復用，大幅節省芯片面積的同時提升性能。在發射端，通過MEMS高壓驅動電路設計，實現±100V峰值輸出電壓與1A持續輸出電流，較TI同類產品提升30%，滿足深部組織成像的能量需求；接收端集成12位ADC，采樣率可達100Msps，信噪比（SNR）達73.5dB，有效提升弱信號檢測能力。芯片采用多層金屬布線與硅通孔（TSV）技術，實現3D堆疊集成，封裝尺寸較傳統方案縮小40%。在二次諧波抑制方面，通過優化版圖布局與寄生參數補償，將5MHz信號的二次諧波降至-40dBc，優于行業基準-45dBc，***提升圖像分辨率。目前TX芯片已完成流片，與掌上超聲企業合作開發便攜式超聲設備，可實現腹部、心血管等部位的實時成像，探頭尺寸*30mm×20mm，重量＜50g，推動超聲診斷設備向小型化、智能化邁進，助力基層醫療場景普及。江西MEMSMEMS微納米加工MEMS微流控芯片是什么？

主要由傳感器、作動器（執行器）和微能源三大部分組成，但現在其主要都是傳感器比較多。

特點：

1.和半導體電路相同，使用刻蝕，光刻等微納米MEMS制造工藝，不需要組裝，調整；

2.進一步的將機械可動部，電子線路，傳感器等集成到一片硅板上；

3.它很少占用地方，可以在一般的機器人到不了的狹窄場所或條件惡劣的地方使用4.由于工作部件的質量小，高速動作可能；

5.由于它的尺寸很小，熱膨脹等的影響小；

6.它產生的力和積蓄的能量很小，本質上比較安全。

微納結構的臺階儀與SEM測量技術：臺階儀與掃描電子顯微鏡（SEM）是微納加工中關鍵的計量手段，確保結構尺寸與表面形貌符合設計要求。臺階儀采用觸針式或光學式測量，可精確獲取0.1nm-500μm高度范圍內的輪廓信息，分辨率達0.1nm，適用于薄膜厚度、刻蝕深度、臺階高度的測量。例如，在深硅刻蝕工藝中，通過臺階儀監測刻蝕深度（精度±1%），確保流道深度均勻性＜2%。SEM則用于納米級結構觀測，配備二次電子探測器，可實現5nm分辨率的表面形貌成像，用于微流道側壁粗糙度（Ra＜50nm）、微孔孔徑（誤差＜±5nm）的檢測。在PDMS模具復制過程中，SEM檢測模具結構的完整性，避免因缺陷導致的芯片流道堵塞。公司建立了標準化測量流程，針對不同材料與結構選擇合適的測量方法，如柔性PDMS芯片采用光學臺階儀非接觸測量，硬質芯片結合SEM與臺階儀進行三維尺寸分析。通過大數據統計過程控制（SPC），將關鍵尺寸的CPK值提升至1.67以上，確保加工精度滿足需求，為客戶提供可追溯的質量保障。磁傳感器和MEMS磁傳感器有什么區別？

微機電系統是微米大小的機械系統，其中也包括不同形狀的三維平板印刷產生的系統。這些系統的大小一般在微米到毫米之間。在這個大小范圍中日常的物理經驗往往不適用。比如由于微機電系統的面積對體積比比一般日常生活中的機械系統要大得多，其表面現象如靜電、潤濕等比體積現象如慣性或熱容量等要重要。它們一般是由類似于生產半導體的技術如表面微加工、體型微加工等技術制造的。其中包括更改的硅加工方法如光刻、磁控濺射PVD、氣相沉積CVD、電鍍、濕蝕刻、ICP干蝕刻、電火花加工等等。金屬流道 PDMS 芯片與 PET 基板鍵合，實現柔性微流控芯片與剛性電路的高效集成。江西MEMS微納米加工技術規范

SU8 硅片 / 石英片微流控模具加工技術，支持 6 英寸以下基板單套或套刻的高精度結構復制。江蘇MEMS微納米加工性價比

聲學與振動器件對微型化、高頻率響應的需求，推動 MEMS 微納米加工技術的深度應用，深圳市勃望初芯半導體科技有限公司憑借定制化加工能力，為該領域提供創新解決方案。在聲學器件加工中，公司通過 MEMS 技術制作微型聲表面波（SAW）傳感器 —— 在壓電襯底（如 LiNbO3）上，通過光刻與鍍膜工藝制作納米級叉指電極（指寬 50-100nm、間距 50-100nm），電極通過磁控濺射沉積鋁或金金屬層，確保聲學信號的高效傳輸。這種 SAW 傳感器可用于液體成分檢測，如石油化工領域的燃油含水率分析，通過聲波在不同含水率液體中的傳播速度差異，實現精細檢測，檢測誤差小于 0.5%；在振動器件加工中，制作微型振動傳感器的懸臂梁結構（硅基梁厚 2-5μm、長度 50-100μm），通過干法刻蝕實現梁結構的高平整度（粗糙度 Ra≤5nm），確保傳感器對微小振動（小可檢測 0.1g 加速度）的高靈敏度響應。某汽車電子客戶借助勃望初芯的加工服務，開發出微型振動傳感器，用于發動機振動監測，傳感器體積比傳統器件縮小 80%，且成本降低 50%，體現了 MEMS 微納米加工在聲學與振動領域的優勢。江蘇MEMS微納米加工性價比