安捷倫在微流控技術平臺上的三個主要產品是Agilent 2100、 Bioanalyzer/5100、 Automated Lab-on-a-Chip （后有斯坦福大學Stephen Quake研究小組開發的微流體控制因素大規模地綜合應用和瑞士Spinx Technologies開發的激光控制閥門。澳大利亞墨爾本蒙納士大學的研究者正在開發可在微通道內吸取、混合和濃縮分析樣品的等離子體偏振方法。等離子體不接觸工作流體便可產生“推力”，具有維持流體穩定流動，對電解質溶液不敏感也不受其污染的優點。瑞士蘇黎士聯邦工業大學的David Juncker認為，流體的驅動沒有必要采用這類高新技術，利用簡單的毛細管效應就可以驅動流體通過微通道。深硅刻蝕實現 500μm 以上深度微流道，適用于高壓流體控制與微反應器。廣東微流控芯片 公司

心臟組織微流控芯片（HoC）是一種先進的OoC，它模仿了服用劑型或特定藥物分子后人類心臟的整體生理學。使用該芯片已經觀察到一些不良反應。Mathur等人在2015年證明了動物試驗不足以估計測試藥物分子相對于人體的確切藥代動力學和藥效學。為此，微流控芯片技術在心血管疾病研究，心血管相關藥物開發，心臟毒性分析以及心臟組織再生研究中起著至關重要的作用。Sidorov等人于2016年創建了一個I-wired HoC。他們檢測到心肌收縮，這是通過倒置光學顯微鏡測量的。此外，工程化的3D心臟組織構建體（ECTC）現在能夠在正常和患病條件下復制心臟組織的復雜生理學。圖1C顯示了心臟組織微流控芯片的示意圖，其中上層由心臟上皮細胞組成，下層由心臟內皮細胞組成。兩層都被多孔膜隔開。它還包括有助于抽血的真空室。吉林微流控芯片之聲表面波器件加工深度解析微流控芯片技術。

玻璃基微流控芯片的精密刻蝕與鍵合工藝：玻璃因其高透光性、化學穩定性及表面平整性，成為光學檢測類微流控芯片的理想材料。公司采用濕法刻蝕與干法刻蝕結合工藝，在玻璃基板上實現1-200μm深度的微流道加工，配合雙面光刻對準技術，確保流道結構的三維高精度匹配。刻蝕后的玻璃芯片通過高溫鍵合（300-450℃）或陽極鍵合實現密封，鍵合強度可達5MPa以上，耐受高壓流體傳輸（如100kPa壓力下無泄漏）。典型應用包括熒光顯微成像芯片、拉曼光譜檢測芯片，其光滑的玻璃表面可直接進行生物分子修飾，用于DNA雜交、蛋白質吸附等反應。公司在玻璃芯片加工中攻克了大尺寸基板（如4英寸晶圓）的均勻刻蝕難題，通過優化刻蝕液配比與等離子體參數，將流道深度誤差控制在±2%以內，滿足前端科研與工業檢測對芯片一致性的嚴苛要求。

硅片微流道加工在微納器件中的應用拓展：硅片作為MEMS工藝的主流材料，在微流控芯片中兼具機械強度與加工精度優勢。公司利用深硅刻蝕（DRIE）技術實現高深寬比（>20:1）微流道加工，深度可達500μm以上，適用于高壓流體控制、微反應器等場景。硅片表面通過熱氧化或氮化處理形成絕緣層，可集成微電極、壓力傳感器等功能單元，構建“芯片實驗室”（Lab-on-a-Chip）系統。例如，在腦機接口柔性電極芯片中，硅基微流道與鉑銥電極的集成設計，實現了神經信號記錄與藥物微灌注的同步功能，其生物相容性通過表面PEG涂層優化，可長期植入體內穩定工作。公司還開發了硅片與PDMS、玻璃的異質鍵合技術，解決了不同材料熱膨脹系數差異導致的應力問題，推動硅基微流控芯片在生物醫學、環境監測等領域的跨學科應用。微流控芯片材料多樣，PDMS 軟硅膠適用于生物相容性場景，玻璃適合高透檢測。

微流控芯片的組成：微流控芯片由主體芯片、流體控制模塊、信號采集模塊和外部控制模塊組成。主體芯片是一個微通道網絡，由微流道、微閥門、微泵等構成；流體控制模塊負責流體的輸入、輸出和控制；信號采集模塊用于采集傳感器的信號；外部控制模塊用于控制芯片的操作。微流控芯片的特點：尺寸小：微流控芯片的尺寸通常為毫米級或更小，體積小巧，便于集成和攜帶。快速高效：微流控芯片能夠實現快速混合、傳輸和分離微流體，反應速度快，效率高。靈活可控：微流控芯片可以通過控制微閥門、微泵等實現對微流體的精確控制和調節。低成本：與傳統的實驗室設備相比，微流控芯片具有成本低廉的優勢，節省了實驗室的成本和資源。微流控芯片的用途有什么？單分子免疫微流體生物傳感芯片是微流控技術在超高靈敏度生物檢測領域的一大應用。重慶微流控芯片發展

從設計到硬質塑料芯片成型的快速工藝，大幅縮短研發周期與試產成本。廣東微流控芯片 公司

什么是微流控技術？微流控技術是一門精確控制和操縱流體的科學技術，這些流體在幾何空間上被限制在小規模流道中，通常流道系統的直徑低于100μm。對于科學家和工程師來講，微流體一詞的使用方式存在不同；對許多教授來說，微流控是一個科學領域，主要應用于通過直徑在100微米（μm）到1微米之間的流道研究和操縱微量流體。對微流控工程師來講，微流控芯片（通常稱為：生物MEMS芯片）的制造，主要是為了引導流體在直徑為100μm至1μm的流道系統中流動。廣東微流控芯片 公司