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采用微納米加工的微流控芯片

來源: 發布時間:2025-06-28

大腦微流控芯片:與神經元和細胞間相互作用直接相關的因素在腦組織功能的情況下起著重要作用。大腦及其組織的研究在很大程度上是復雜的,這使得諸如培養皿或培養瓶之類的2D模型無效,因為這些系統無法模擬大腦的實際生理環境。為了克服這一局限性,研究人員目前正在研究開發大腦微流控芯片平臺,可以在先進的小型化工程平臺下研究大腦的生理因素,該平臺可以通過多步光刻技術制備。它通過制造不同尺寸的微通道進一步實現了對腦組織的研究。利用微流控芯片做疾病抗原檢測。采用微納米加工的微流控芯片

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微流控芯片是微流控技術實現的主要平臺。其裝置特征主要是其容納流體的有效結構(通道、反應室和其它某些功能部件)至少在一個緯度上為微米級尺度。由于微米級的結構,流體在其中顯示和產生了與宏觀尺度不同的特殊性能。因此發展出獨特的分析產生的性能。微流控芯片的特點及發展優勢:微流控芯片具有液體流動可控、消耗試樣和試劑極少、分析速度成十倍上百倍地提高等特點,它可以在幾分鐘甚至更短的時間內進行上百個樣品的同時分析,并且可以在線實現樣品的預處理及分析全過程。湖北微流控芯片技術的研究進展梯度涂層設計實現微流控芯片內細胞定向遷移,用于一些研究。

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安捷倫在微流控技術平臺上的三個主要產品是Agilent 2100、 Bioanalyzer/5100、 Automated Lab-on-a-Chip (后有斯坦福大學Stephen Quake研究小組開發的微流體控制因素大規模地綜合應用和瑞士Spinx Technologies開發的激光控制閥門。澳大利亞墨爾本蒙納士大學的研究者正在開發可在微通道內吸取、混合和濃縮分析樣品的等離子體偏振方法。等離子體不接觸工作流體便可產生“推力”,具有維持流體穩定流動,對電解質溶液不敏感也不受其污染的優點。瑞士蘇黎士聯邦工業大學的David Juncker認為,流體的驅動沒有必要采用這類高新技術,利用簡單的毛細管效應就可以驅動流體通過微通道。

微流控芯片鍵合工藝的密封性與可靠性優化:鍵合工藝是微流控芯片封裝的關鍵環節,公司針對不同材料組合開發了多元化鍵合技術。對于PDMS軟芯片,采用氧等離子體活化鍵合,鍵合強度可達20kPa,滿足低壓流體(<50kPa)長期穩定傳輸;硬質塑料芯片通過熱壓鍵合(溫度80-150℃,壓力5-10MPa)實現無縫連接,適用于高壓流路(如200kPa以上);玻璃與硅片的陽極鍵合(電壓500-1000V,溫度300℃)則形成化學共價鍵,鍵合界面缺陷率<0.1%。鍵合前通過激光微加工去除流道邊緣毛刺,配合機器視覺對準系統(精度±2μm),確保多層結構的精細對位。密封性能檢測采用壓力衰減法(分辨率0.1kPa)與熒光滲漏成像,確保芯片在復雜工況下無泄漏。該技術體系保障了微流控芯片從實驗室原型到工業級產品的可靠性跨越,廣泛應用于體外診斷、生物制藥等對密封性要求極高的領域。利用微流控芯片對自身抗體檢測。

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硅片微流道加工在微納器件中的應用拓展:硅片作為MEMS工藝的主流材料,在微流控芯片中兼具機械強度與加工精度優勢。公司利用深硅刻蝕(DRIE)技術實現高深寬比(>20:1)微流道加工,深度可達500μm以上,適用于高壓流體控制、微反應器等場景。硅片表面通過熱氧化或氮化處理形成絕緣層,可集成微電極、壓力傳感器等功能單元,構建“芯片實驗室”(Lab-on-a-Chip)系統。例如,在腦機接口柔性電極芯片中,硅基微流道與鉑銥電極的集成設計,實現了神經信號記錄與藥物微灌注的同步功能,其生物相容性通過表面PEG涂層優化,可長期植入體內穩定工作。公司還開發了硅片與PDMS、玻璃的異質鍵合技術,解決了不同材料熱膨脹系數差異導致的應力問題,推動硅基微流控芯片在生物醫學、環境監測等領域的跨學科應用。可定制加工小批量 PDMS、硬質塑料、玻璃、硅片等材質的微流控芯片。青海微流控芯片貨源充足

微流控芯片材料多樣,PDMS 軟硅膠適用于生物相容性場景,玻璃適合高透檢測。采用微納米加工的微流控芯片

微流控芯片的硅質材料加工工藝:是在硅材料的加工中,光刻(lithography)和濕法刻蝕(wetetching)技術是2種常規工藝。由于硅材料具有良好的光潔度和很成熟的加工工藝,主要用于加工微泵、微閥等液流驅動和控制器件,或者在熱壓法和模塑法中作為高分子聚合物材料加工的陽模。光刻是用光膠、掩模和紫外光進行微制造。光刻和濕法蝕刻技術通常由薄膜沉淀、光刻、刻蝕3個工序組成。在薄膜表面用甩膠機均勻地附上一層光膠。然后將掩模上的圖像轉移到光膠層上,此步驟首先在基片上覆蓋一層薄膜,為光刻。再將光刻上的圖像,轉移到薄膜,并在基片上加工一定深度的微結構,此步驟完成了蝕刻。采用微納米加工的微流控芯片

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