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多功能微流控芯片的MEMS加工

來源: 發布時間:2025-05-06

微流控芯片與傳感器集成的模塊化加工方案:為滿足“芯片即實驗室”的集成化需求,公司提供微流控芯片與傳感器的模塊化加工服務,實現流體控制與信號檢測的一體化設計。在生物傳感芯片中,微流道下游集成電化學傳感器(如碳電極陣列)或光學傳感器(如熒光檢測窗口),通過微閥控制實現樣品進樣、清洗及信號讀取的自動化。例如,POCT血糖儀芯片將血樣引入微流道后,通過酶電極實時檢測葡萄糖氧化反應電流,整個過程在30秒內完成,檢測精度與傳統血糖儀一致,但體積縮小80%。加工過程中,公司解決了傳感器與流道的密封兼容性問題,采用激光焊接與導電膠鍵合技術,確保信號傳輸穩定性與流體零泄漏。該模塊化方案支持定制化功能組合,適用于食品安全快速篩查等便攜式設備,為現場即時檢測(POCT)提供了高效集成平臺。微流控芯片技術用于毛細管電泳分離。多功能微流控芯片的MEMS加工

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微流控芯片在石英和玻璃的加工中,常常利用不同化學方法對其表面改性,然后可以使用光刻和蝕刻技術將微通道等微結構加工在上面。玻璃材料的加工步驟與硅材料加工稍有差異,主要步驟有:1)在玻璃基片表面鍍一層 Cr,再用甩膠機均勻的覆蓋一層光刻膠;2)利用光刻掩模遮擋,用紫外光照射,光刻膠發生化學反應;3)用顯影法去掉已曝光的光膠,用化學腐蝕的方法在鉻層上腐蝕出與掩模上平面二維圖形一致的圖案;4)用適當的刻蝕劑在基片上刻蝕通道;5)刻蝕結束后,除去光刻膠,打孔后和玻璃蓋片鍵合。標準光刻和濕法刻蝕需要昂貴的儀器和超凈的工作環境,無法實現快速批量生產。湖北微流控芯片市場規模干濕結合刻蝕技術制備納米級微針,可用于組織液提取與電化學檢測器件。

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高聚物材料加工工藝:是以高聚物材料為基片加工微流控芯片的方法主要有:模塑法、熱壓法、LIGA技術、激光刻蝕法和軟光刻等。模塑法是先利用半導體/MEMS光刻和蝕刻的方法制作出通道部分突起的陽模,然后在陽模上澆注液體的高分子材料,將固化后的高分子材料與陽模剝離后就得到了具有微結構的基片,之后與蓋片(多為玻璃)封接后就制得高聚物微流控芯片。這一方法簡單易行,不需要高技術設備,是大量生產廉價芯片的方法。熱壓法也需要事先獲得適當的陽模。

美國Caliper Life Sciences公司Andrea Chow博士認為,微流控技術的成功取決于技術上的跨界聯合、技術和應用,這三個因素是相關的。他說:“為形成聯合,我們嘗試了所有可能達到一定復雜性水平的應用。從長遠且嚴密的角度來對其進行改進,我們發現了很多無需經過復雜的集成卻有較高使用價值的應用,如機械閥和微電動機械系統(MEMS)。改進的微流控技術,一般用于蛋白或基因電泳,常常可取代聚丙烯酰胺凝膠電泳。進一步開發的微流控芯片可用于酶和細胞的檢測,在開發新prescription面很有用。微孔陣列技術實現液滴陣列化,用于數字 PCR、高通量藥物篩選等場景。

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微針電極與組織液提取芯片的創新加工技術:微針電極作為生物檢測與給藥的前沿器件,需兼顧機械強度與生物相容性。公司采用干濕結合刻蝕工藝,在硅或硬質塑料基板上制備直徑10-100μm、高度500-1000μm的微針陣列,針尖曲率半徑控制在5μm以內,確保穿刺過程的低創傷性。針對類***電生理記錄需求,開發了“觸凸”電極結構,在微針頂端集成納米級金屬電極(如金/鉑薄膜),實現對單個細胞電信號的高靈敏度捕獲。同時,微針陣列可用于組織液提取,通過中空結構設計與毛細作用,在30秒內完成微升量級體液采集,避免傳統**的痛苦與***風險。該技術結合表面親疏水修飾,解決了微針堵塞與生物污染問題,已應用于連續血糖監測芯片與藥物透皮遞送系統,為可穿戴醫療設備提供**組件支持。微流控分為被動式微流控和主動式微流控。重慶紙基微流控芯片

微流控芯片的組成材料是什么?多功能微流控芯片的MEMS加工

利用微流控芯片做infection疾病抗原和抗體檢測:由病原體引起的infection疾病是一個嚴重的全球公共衛生問題,部分infection疾病具有高傳染性,因此理想的檢測應該具有即時性,使得患者在檢測現場得以確診并接受cure,防止傳染病大規模傳播和暴發。目前一些微流控芯片已經被成功地用于識別病原體分子標志物和infection診斷。Pham等利用金屬納米粒子的信號放大作用,開發一款高敏感性快速檢測瘧疾抗原的微流控芯片,其敏感性接近臨床常規檢測方式。利用微流控芯片高通量性質等,設計的微流控芯片可對多種病毒同時檢測,節省傳染性疾病初始篩查時間并降低成本,此芯片還通過檢測每種病毒的多種抗原來提高檢測敏感性和特異性。多功能微流控芯片的MEMS加工

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