微流控芯片在石英和玻璃的加工中，常常利用不同化學方法對其表面改性，然后可以使用光刻和蝕刻技術將微通道等微結構加工在上面。玻璃材料的加工步驟與硅材料加工稍有差異，主要步驟有:1)在玻璃基片表面鍍一層 Cr，再用甩膠機均勻的覆蓋一層光刻膠；2)利用光刻掩模遮擋，用紫外光照射，光刻膠發生化學反應；3)用顯影法去掉已曝光的光膠，用化學腐蝕的方法在鉻層上腐蝕出與掩模上平面二維圖形一致的圖案；4)用適當的刻蝕劑在基片上刻蝕通道；5)刻蝕結束后，除去光刻膠，打孔后和玻璃蓋片鍵合。標準光刻和濕法刻蝕需要昂貴的儀器和超凈的工作環境，無法實現快速批量生產。微流控芯片的用途有什么？單分子免疫微流體生物傳感芯片是微流控技術在超高靈敏度生物檢測領域的一大應用。高科技微流控芯片市場

在過去的30年中，微流控芯片已經成為cancer therapy領域診斷和cure的重要工具。可以在微流控芯片上進行各種類型的細胞和組織培養，包括2D細胞培養、3D細胞培養和組織類apparatus培養。患者來源的cancer和組織以可見、可控和高通量的方式在微流控芯片上培養，這推進了個性化醫療的過程。此外，由于可定制的性質，微流控芯片的功能正在擴展。此外，已經發現它是較為方便快捷的，因為它能夠處理少量樣品，例如來自患者活組織檢查的細胞，提供高水平的自動化，并允許建立用于cancer研究的復雜模型。在開發用于cure診斷用途的微流控芯片方面做出了各種努力。采用微納米加工的微流控芯片服務熱線微流控技術能夠把樣本檢測整個過程集中在幾厘米的芯片上。

微流體的操控的難題：自動精確地操控液體流動是微流控免疫芯片的主要挑戰之一。目前通常依賴復雜的通道、閥門、泵、混合器等，通過控制閥門的開關實現多步驟反應有序進行。盡管各種閥門的尺寸很小，但使閥門有序工作需要龐大的外部泵、連接器和控制設備，從而阻礙了芯片的集成性、便攜性和自動化。為盡可能減少驅動泵等輔助設備以使系統小型化，Mauk等研究人員結合層壓、柔韌的“袋”和“膜”結構來減少或消除用于流體控制的輔助儀器，通過手指按壓充氣囊或充液囊實現流體驅動。此外研究人員還嘗試通過復雜的多層設計，更利于控制試劑加載、液體流動，如Furutani等人開發了一種6層芯片疊加黏合而成的光盤形微流控設備，每一層都有其特定功能，如加載孔、儲液池、反應腔等，盡可能避免降低敏感性。

心臟組織微流控芯片（HoC）是一種先進的OoC，它模仿了服用劑型或特定藥物分子后人類心臟的整體生理學。使用該芯片已經觀察到一些不良反應。Mathur等人在2015年證明了動物試驗不足以估計測試藥物分子相對于人體的確切藥代動力學和藥效學。為此，微流控芯片技術在心血管疾病研究，心血管相關藥物開發，心臟毒性分析以及心臟組織再生研究中起著至關重要的作用。Sidorov等人于2016年創建了一個I-wired HoC。他們檢測到心肌收縮，這是通過倒置光學顯微鏡測量的。此外，工程化的3D心臟組織構建體（ECTC）現在能夠在正常和患病條件下復制心臟組織的復雜生理學。圖1C顯示了心臟組織微流控芯片的示意圖，其中上層由心臟上皮細胞組成，下層由心臟內皮細胞組成。兩層都被多孔膜隔開。它還包括有助于抽血的真空室。單分子免疫微流控生物芯片是微流控技術在超高靈敏度生物檢測領域的一大應用。

L-Series包括嚴格的機械平臺，集成了顯微鏡技術、微定位和計量學等方法。可應用于芯片電場的微型電位計（Microport）也作為其開發的副產品。L-Series致力于真正的解決微流控設備開發者所遇到的難題：構造芯片系統和提供實用程序，Sartor說：“若是將襯質和芯片粘合在一起，需要經過長期的多次測試，”設計者若想改變流體通道，必須從頭開始。L-Series檢測組使內聯測試和假設分析實驗變得更簡單，測試一個新設計只要交換芯片即可。當前，L-Series設備只能在手動模式下運行，一次一個芯片，但是Cascade 正在考慮開發可平行操作多個芯片的設備。微流控芯片硅質材料的加工工藝。上海pcr微流控芯片

基于MEMS發展而來的微流控芯片技術。高科技微流控芯片市場

模型生物微流控芯片的設計Choudhary等人設計了多通道微流控灌注平臺，用于培養斑馬魚胚胎并捕獲胚胎內各種組織和apparatus的實時圖像。其中包含三個不同的部分。這些包括一個微流控梯度發生器，一排八個魚缸和八個輸出通道。在魚缸中，魚胚胎被單獨放置。流體梯度發生器平臺支持以劑量依賴性方式分析藥物和化學品，具有高重現性和準確性。它提供了一個獨特的灌注系統，確保介質均勻恒定地流向魚缸，并有可能有效去除廢物。除了內部組織和apparatus的實時成像外，魚缸中的胚胎運動受到限制。為了驗證開發微流控芯片的可重復性，以丙戊酸為模型藥物，在有/沒有丙戊酸誘導的情況下測試了魚類的胚胎發育。結果表明，用丙戊酸處理的胚胎發育異常。高科技微流控芯片市場

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