針對半導體載板制造中的溫控需求,國瑞熱控**加熱盤以高穩定性適配載板鉆孔、電鍍等工藝。采用不銹鋼基材經硬化處理,表面硬度達 HRC50 以上,耐受載板加工過程中的機械沖擊無變形。加熱元件采用蛇形分布設計,加熱面溫度均勻性達 ±1℃,溫度調節范圍 40℃-180℃,適配載板預加熱、樹脂固化等環節。配備真空吸附系統,可牢固固定不同尺寸載板(50mm×50mm 至 300mm×300mm),避免加工過程中位移導致的精度偏差。與深南電路、興森快捷等載板廠商合作,支持 BT 樹脂、玻璃纖維等不同材質載板加工,為 Chiplet 封裝、扇出型封裝提供高質量載板保障。深厚熱控經驗積累,提供針對性選型建議,解決應用難題。南通加熱盤定制

國瑞熱控金屬加熱盤突破海外技術壁壘,實現復雜結構產品量產能力!采用不銹鋼精密加工一體化成型,通過五軸聯動機床制造螺紋斜孔等復雜結構,加熱面粗糙度Ra小于0.1μm!內置螺旋狀不銹鋼加熱元件,經真空焊接工藝與基體緊密結合,熱效率達90%,升溫速率25℃/分鐘,工作溫度范圍室溫至500℃!設備具備1000小時無故障運行能力,通過國內主流客戶認證,可直接替換進口同類產品,在勻氣盤集成等場景中表現優異,助力半導體設備精密零部件國產化!長寧區晶圓加熱盤生產廠家嚴格老化測試性能檢驗,確保產品零缺陷,品質有保障。

針對原子層沉積工藝對溫度的嚴苛要求,國瑞熱控 ALD **加熱盤采用多分區溫控設計,通過仿真優化加熱絲布局,確保表面溫度分布均勻性符合精密制程標準。設備溫度調節范圍覆蓋室溫至 600℃,升溫速率可達 25℃/ 分鐘,搭配鉑電阻傳感器實現 ±0.1℃的控溫精度,滿足 ALD 工藝中前驅體吸附與反應的溫度窗口需求。采用氮化鋁陶瓷基底與密封結構,在真空環境下無揮發性物質釋放,且能抵御反應腔體內腐蝕性氣體侵蝕。適配 8 英寸至 12 英寸晶圓規格,通過標準化接口與拓荊、中微等廠商的 ALD 設備無縫兼容,為原子層沉積的高保形性薄膜制備提供保障。
為解決加熱盤長期使用后的溫度漂移問題,國瑞熱控開發**校準模塊,成為半導體生產線的精度保障利器!模塊采用鉑電阻與熱電偶雙傳感設計,測溫精度達±0.05℃,可覆蓋室溫至800℃全溫度范圍,適配不同材質加熱盤的校準需求!配備便攜式數據采集終端,支持實時顯示溫度分布曲線與偏差分析,數據可通過USB導出形成校準報告!校準過程無需拆卸加熱盤,通過磁吸式貼合加熱面即可完成檢測,單臺設備校準時間縮短至30分鐘以內!適配國瑞全系列半導體加熱盤,同時兼容Kyocera、CoorsTek等國際品牌產品,幫助企業建立完善的溫度校準體系,確保工藝參數的一致性與可追溯性!加熱盤及配套一站式,省時省心,長期可信賴供應商。

國瑞熱控清洗槽**加熱盤以全密封結構設計適配高潔凈需求,采用 316L 不銹鋼經電解拋光處理,表面粗糙度 Ra 小于 0.05μm,無顆粒脫落風險。加熱元件采用氟塑料密封封裝,與清洗液完全隔離,耐受酸堿濃度達 90% 的腐蝕環境,電氣強度達 2000V/1min。通過底部波浪形加熱面設計,使槽內溶液形成自然對流,溫度均勻性達 ±0.8℃,溫度調節范圍 25℃-120℃。配備防干燒與泄漏檢測系統,與盛美上海等清洗設備廠商適配,符合半導體制造 Class 1 潔凈標準,為晶圓清洗后的表面質量提供保障。便于自動化集成,標準接口通訊支持,助力智能制造升級。連云港加熱盤廠家
創新熱傳導技術,熱量集中不散失,有效降低能源消耗成本。南通加熱盤定制
依托強大的研發與制造能力,國瑞熱控提供全流程半導體加熱盤定制服務,滿足特殊工藝與設備的個性化需求!可根據客戶提供的圖紙與參數,定制圓形、方形等特殊形狀加熱盤,尺寸覆蓋4英寸至18英寸晶圓規格!材質可選擇鋁合金、氮化鋁陶瓷、因瓦合金等多種類型,加熱方式支持電阻加熱、紅外加熱及復合加熱模式,溫度范圍與控溫精度按需設定!通過三維建模與溫度場仿真優化設計方案,原型樣品交付周期縮短至15個工作日,批量生產前提供2臺樣品進行工藝驗證!已為長鑫存儲、華虹半導體等企業定制**加熱盤,適配其自主研發設備,助力國產半導體設備產業鏈完善!南通加熱盤定制
無錫市國瑞熱控科技有限公司在同行業領域中,一直處在一個不斷銳意進取,不斷制造創新的市場高度,多年以來致力于發展富有創新價值理念的產品標準,在江蘇省等地區的電工電氣中始終保持良好的商業口碑,成績讓我們喜悅,但不會讓我們止步,殘酷的市場磨煉了我們堅強不屈的意志,和諧溫馨的工作環境,富有營養的公司土壤滋養著我們不斷開拓創新,勇于進取的無限潛力,無錫市國瑞熱控科技供應攜手大家一起走向共同輝煌的未來,回首過去,我們不會因為取得了一點點成績而沾沾自喜,相反的是面對競爭越來越激烈的市場氛圍,我們更要明確自己的不足,做好迎接新挑戰的準備,要不畏困難,激流勇進,以一個更嶄新的精神面貌迎接大家,共同走向輝煌回來!