國瑞熱控金屬加熱盤突破海外技術壁壘，實現復雜結構產品量產能力！采用不銹鋼精密加工一體化成型，通過五軸聯動機床制造螺紋斜孔等復雜結構，加熱面粗糙度Ra小于0.1μm！內置螺旋狀不銹鋼加熱元件，經真空焊接工藝與基體緊密結合，熱效率達90%，升溫速率25℃/分鐘，工作溫度范圍室溫至500℃！設備具備1000小時無故障運行能力，通過國內主流客戶認證，可直接替換進口同類產品，在勻氣盤集成等場景中表現優異，助力半導體設備精密零部件國產化！電熱轉換效率高，降低運營成本，實現綠色生產。無錫半導體加熱盤非標定制

國瑞熱控刻蝕工藝加熱盤，專為半導體刻蝕環節的精細溫控設計，有效解決刻蝕速率不均與圖形失真問題。產品采用藍寶石覆層與鋁合金基體復合結構，表面經拋光處理至鏡面效果，減少刻蝕副產物粘附，且耐受等離子體轟擊無損傷。加熱盤與靜電卡盤協同適配，通過底部導熱紋路優化，使熱量快速傳導至晶圓背面，溫度響應時間縮短至 10 秒以內。支持溫度階梯式調節功能，可根據刻蝕深度需求設定多段溫度曲線，適配硅刻蝕、金屬刻蝕等不同工藝場景。設備整體符合半導體潔凈車間 Class 1 標準，拆卸維護無需特殊工具，大幅降低生產線停機時間。奉賢區探針測試加熱盤廠家便于自動化集成，標準接口通訊支持，助力智能制造。

針對半導體退火工藝中對溫度穩定性的高要求，國瑞熱控退火**加熱盤采用紅外加熱與電阻加熱協同技術，實現均勻且快速的溫度傳遞！加熱盤主體選用低熱慣性的氮化硅陶瓷材質，熱導率達30W/mK，可在30秒內將晶圓溫度提升至900℃，且降溫過程平穩可控，避免因溫度驟變導致的晶圓晶格損傷！表面噴涂耐高溫抗氧化涂層，在長期高溫退火環境下無物質揮發，符合半導體潔凈生產標準！配備多組溫度監測點，實時反饋晶圓不同區域溫度數據，通過PID閉環控制系統動態調整加熱功率，確保溫度波動小于±1℃！適配離子注入后的退火、金屬硅化物形成等工藝環節，與應用材料、東京電子等主流退火設備兼容，為半導體器件性能優化提供關鍵溫控保障！

針對半導體制造中的高真空工藝需求，國瑞熱控開發**真空密封組件，確保加熱盤在真空環境下穩定運行。組件采用氟橡膠與金屬骨架復合結構，耐溫范圍覆蓋 - 50℃至 200℃，可長期在 10??Pa 真空環境下使用無泄漏。密封件與加熱盤接口精細匹配，通過多道密封設計提升真空密封性，避免反應腔體內真空度下降影響工藝質量。組件安裝過程簡單，無需特殊工具，且具備良好的耐磨性與抗老化性能，使用壽命超 5000 次拆裝循環。適配 CVD、PVD 等真空工藝用加熱盤，與國產真空設備廠商的反應腔體兼容，為半導體制造中的高真空環境提供可靠密封保障，助力提升工藝穩定性與產品良率。豐富行業經驗積累，深入了解各行業需求，提供專業解決方案。

借鑒晶圓鍵合工藝的技術需求，國瑞熱控鍵合**加熱盤創新采用真空吸附與彈簧壓塊復合結構，通過彈簧壓力限制加熱平臺受熱膨脹，高溫下表面平整度誤差控制在 0.02mm 以內。加熱盤主體采用因瓦合金與氮化鋁復合基材，兼具低熱膨脹系數與高導熱性，溫度均勻性達 ±1.5℃，適配室溫至 450℃的鍵合溫度需求。底部設計雙層隔熱結構，***層阻隔熱量向下傳導，第二層快速散熱避免設備腔體溫升過高。配備精細壓力控制模塊，可根據鍵合類型調整吸附力，在硅 - 硅直接鍵合、金屬鍵合等工藝中確保界面貼合緊密，提升鍵合良率。熱解決方案伙伴，深入探討共同優化工藝熱管理。甘肅半導體晶圓加熱盤

持續改進服務理念，聽取客戶反饋，不斷提升產品性能。無錫半導體加熱盤非標定制

為解決加熱盤長期使用后的溫度漂移問題，國瑞熱控開發**校準模塊，成為半導體生產線的精度保障利器！模塊采用鉑電阻與熱電偶雙傳感設計，測溫精度達±0.05℃，可覆蓋室溫至800℃全溫度范圍，適配不同材質加熱盤的校準需求！配備便攜式數據采集終端，支持實時顯示溫度分布曲線與偏差分析，數據可通過USB導出形成校準報告！校準過程無需拆卸加熱盤，通過磁吸式貼合加熱面即可完成檢測，單臺設備校準時間縮短至30分鐘以內！適配國瑞全系列半導體加熱盤，同時兼容Kyocera、CoorsTek等國際品牌產品，幫助企業建立完善的溫度校準體系，確保工藝參數的一致性與可追溯性！無錫半導體加熱盤非標定制

無錫市國瑞熱控科技有限公司是一家有著先進的發展理念，先進的管理經驗，在發展過程中不斷完善自己，要求自己，不斷創新，時刻準備著迎接更多挑戰的活力公司，在江蘇省等地區的電工電氣中匯聚了大量的人脈以及**，在業界也收獲了很多良好的評價，這些都源自于自身的努力和大家共同進步的結果，這些評價對我們而言是比較好的前進動力，也促使我們在以后的道路上保持奮發圖強、一往無前的進取創新精神，努力把公司發展戰略推向一個新高度，在全體員工共同努力之下，全力拼搏將共同無錫市國瑞熱控科技供應和您一起攜手走向更好的未來，創造更有價值的產品，我們將以更好的狀態，更認真的態度，更飽滿的精力去創造，去拼搏，去努力，讓我們一起更好更快的成長！