中清航科創新性推出“激光預劃+機械精切”復合方案：先以激光在晶圓表面形成引導槽，再用超薄刀片完成切割。此工藝結合激光精度與刀切效率，解決化合物半導體（如GaAs、SiC）的脆性開裂問題，加工成本較純激光方案降低35%。大尺寸晶圓切割面臨翹曲變形、應力集中等痛點。中清航科全自動切割機配備多軸聯動補償系統，通過實時監測晶圓形變動態調整切割參數。搭配吸附托盤，將12英寸晶圓平整度誤差控制在±2μm內，支持3D NAND多層堆疊結構加工。晶圓切割大數據平臺中清航科開發，實時分析10萬+工藝參數。寧波sic晶圓切割代工廠

晶圓切割的工藝參數設置需要豐富的經驗積累，中清航科開發的智能工藝推薦系統，基于千萬級切割數據訓練而成。只需輸入晶圓材料、厚度、切割道寬等基本參數，系統就能自動生成比較好的切割方案，包括激光功率、切割速度、聚焦位置等關鍵參數，新手操作人員也能快速達到工程師的工藝水平，大幅降低技術門檻。半導體產業對設備的占地面積有著嚴格要求，中清航科采用緊湊型設計理念，將晶圓切割設備的占地面積控制在 2 平方米以內，較傳統設備減少 40%。在有限空間內，通過巧妙的結構布局實現全部功能集成，同時預留擴展接口，方便后續根據產能需求增加模塊，滿足不同規模生產車間的布局需求。泰州半導體晶圓切割中清航科推出晶圓切割應力模擬軟件，提前預判崩邊風險。

晶圓切割作為半導體制造流程中的關鍵環節，直接影響芯片的良率與性能。中清航科憑借多年行業積淀，研發出高精度激光切割設備，可實現小切割道寬達 20μm，滿足 5G 芯片、車規級半導體等領域的加工需求。其搭載的智能視覺定位系統，能實時校準晶圓位置偏差，將切割精度控制在 ±1μm 以內，為客戶提升 30% 以上的生產效率。在半導體產業快速迭代的當下，晶圓材料呈現多元化趨勢，從傳統硅基到碳化硅、氮化鎵等寬禁帶半導體，切割工藝面臨更大挑戰。中清航科針對性開發多材料適配切割方案，通過可調諧激光波長與動態功率控制技術，完美解決硬脆材料切割時的崩邊問題，崩邊尺寸可控制在 5μm 以下，助力第三代半導體器件的規模化生產。

針對晶圓切割產生的廢料處理難題，中清航科創新設計了閉環回收系統。切割過程中產生的硅渣、切割液等廢料，通過管道收集后進行分離處理，硅材料回收率達到 95% 以上，切割液可循環使用，不僅降低了危廢處理成本，還減少了對環境的污染，符合半導體產業的綠色發展理念。在晶圓切割的精度校準方面，中清航科引入了先進的激光干涉測量技術。設備出廠前，會通過高精度激光干涉儀對所有運動軸進行全行程校準，生成誤差補償表，確保設備在全工作范圍內的定位精度一致。同時提供定期校準服務，配備便攜式校準工具，客戶可自行完成日常精度核查，保證設備長期穩定運行。切割冷卻液在線凈化裝置中清航科研發，雜質濃度自動控制＜1ppm。

面對全球半導體產業鏈的區域化布局趨勢，中清航科建立了覆蓋亞洲、歐洲、北美地區的本地化服務網絡。其 7×24 小時在線技術支持團隊，可通過遠程診斷系統快速定位設備故障，配合就近備件倉庫，將平均故障修復時間（MTTR）控制在 4 小時以內，確保客戶生產線的連續穩定運行。綠色制造已成為半導體行業的發展共識，中清航科在晶圓切割設備的設計中融入多項節能技術。其研發的變頻激光電源，能源轉換效率達到 92%，較傳統設備降低 30% 的能耗；同時采用水循環冷卻系統，水資源回收率達 95% 以上，幫助客戶實現環保指標與生產成本的雙重優化。中清航科推出晶圓切割應力補償算法，翹曲晶圓良率提升至98.5%。杭州芯片晶圓切割劃片

選擇中清航科切割代工服務，復雜圖形晶圓損耗降低27%。寧波sic晶圓切割代工廠

半導體制造對潔凈度要求嚴苛，晶圓切割環節的微塵污染可能導致芯片失效。中清航科的切割設備采用全封閉防塵結構與高效 HEPA 過濾系統，工作區域潔凈度達到 Class 1 標準，同時配備激光誘導等離子體除塵裝置，實時清理切割產生的微米級顆粒，使產品不良率降低至 0.1% 以下。在成本控制成為半導體企業核心競爭力的現在，中清航科通過技術創新實現切割耗材的大幅節約。其自主研發的金剛石切割刀片，使用壽命較行業平均水平延長 50%，且通過刀片磨損實時監測與自動補償技術，減少頻繁更換帶來的停機損失，幫助客戶降低 20% 的耗材成本，在激烈的市場競爭中構筑成本優勢。寧波sic晶圓切割代工廠