在半導體行業,生產環境(如 Class 1 級潔凈室)和產品(晶圓、芯片、精密部件)對 “零污染、無損傷、超高潔凈度” 的要求堪稱工業領域**嚴苛標準之一。酷爾森icestorm干冰清洗憑借無殘留、化學惰性、低溫無損、適配精密場景等特性,成為解決半導體生產中 “微污染物去除、設備維護、產品良率提升” 的關鍵技術。其**應用場景覆蓋晶圓制造、封裝測試及設備維護全流程,具體如下:一、晶圓制造環節:從光刻到沉積 / 刻蝕的精密清潔晶圓(硅片、化合物半導體晶圓)是半導體的**基材,其表面及生產設備的潔凈度直接決定芯片的良率(每片晶圓含數百個芯片,一個微米級雜質可能導致整片失效)。干冰清洗在以下關鍵工序中發揮不可替代的作用:1. 光刻掩模版(光罩)清潔清潔對象:光刻掩模版(表面鍍鉻層、石英基底)、光罩盒(Pod)。污染問題:光罩是光刻圖案的 “母版”,表面若殘留納米級顆粒(≤0.1μm)、有機污染物(如光刻膠殘渣)、金屬離子,會導致光刻圖案轉移時出現缺陷(如線寬偏差、圖形畸變),直接降低芯片良率。傳統清潔(如兆聲波清洗、化學濕法清洗)可能引入水分殘留或劃傷鍍鉻層(厚度*數十納米)。無人機航空部件用干冰清洗,除飛行積塵,輕量化操作適配無人機精密結構。湖北智能干冰清洗生產商
應用時的關鍵注意事項與挑戰沖擊力控制:噴射壓力、干冰顆粒大小和噴射距離需要根據PCBA的具體情況(元件密度、脆弱程度、污染物類型)進行優化。過高的壓力或過近的距離可能損壞非常精細的元件(如跳線、小電阻/電容)或已受損的焊點。低溫效應:極低溫可能對一些特定元件產生影響:電解電容: 低溫可能導致電解質性能暫時變化(通常可恢復),需謹慎評估或局部防護。塑料連接器/外殼: 某些低溫下變脆的塑料可能因沖擊而破裂。熱敏元件/標簽: 極低溫可能影響其性能或粘性。鋰電池: ***禁止直接清洗帶有鋰電池的PCBA,低溫會嚴重損壞電池。清洗后板卡溫度會迅速回升到室溫,熱沖擊對焊點本身影響通常很小,但需考慮元件內部結構差異。污染物收集:必須配備有效的抽吸系統(集成在干冰清洗設備或外接)來及時吸走剝離的污染物和升華的CO2氣體,防止污染物重新沉降或工作區域CO2濃度過高。靜電風險:高速氣流和顆粒摩擦可能產生靜電。對于高敏感器件(如某些MOSFET),應評估ESD風險并采取適當防護措施(設備接地、離子風)。設備成本與操作:干冰清洗設備(干冰制造機或儲罐、噴射機)的初期投資高于一些傳統方法。操作需要培訓以掌握比較好參數。山東便攜式干冰清洗24小時服務酷爾森是干冰清洗技術的行業,其干冰清洗機利用低溫干冰顆粒和壓縮空氣,無需化學溶劑或水。

工具與治具清潔:晶圓載具: 清潔用于傳輸和存儲晶圓的卡匣、FOUP/FOSB門、內部表面上的微粒、有機物殘留和靜電吸附的灰塵。機器人手臂末端執行器: 清潔用于搬運晶圓的機械手上的微粒和污染物,防止污染晶圓。工藝腔室內的夾具和基座: 去除靜電卡盤、固定裝置等表面的沉積物。封裝與測試環節:模具、封裝設備部件: 清潔封裝設備(如鍵合機、塑封機)模具表面、頂針、傳送帶等部件上的溢料、脫模劑殘留、環氧樹脂等。測試插座、探針卡: 去除探針卡、測試插座接觸點上的氧化物、有機物殘留、助焊劑殘留等,確保良好的電接觸。需要極其精細的控制以避免損壞精密探針。PCB板/基板預處理: 在鍵合或組裝前,清潔PCB或基板表面的氧化物、指紋、油脂等輕微污染物。酷爾森環保科技(上海)有限公司的干冰清洗技術在芯片(半導體)制造行業中的應用是一種高效、精密且環保的清潔方法,尤其適用于對污染極度敏感、不能接觸液體或化學溶劑、且需要避免物理損傷的精密設備和組件。
制動系統部件清洗列車制動系統(如制動盤、制動片、制動管路、閘瓦等)在長期運行中會積累油污、粉塵、金屬碎屑等,影響制動效果。干冰清洗能精細去除這些雜質,且不會劃傷制動盤表面或殘留水分,確保制動系統靈敏可靠,降低安全隱患。4. 車底及走行部部件清潔列車車底、轉向架、輪對、軸箱等走行部部件長期暴露在外,易附著油污、鐵軌粉塵、泥土等污染物,可能影響部件潤滑和檢測精度。酷爾森coulson干冰清洗可在不拆卸的情況下,快速去除表面污垢,便于后續的探傷檢測(如超聲波檢測、磁粉檢測),確保及時發現裂紋、磨損等問題。5. 車身及車窗清潔對于列車車身外表面的油污、 graffiti(涂鴉)、氧化層等,干冰清洗可通過低溫沖擊和動能剝離污漬,且不會損傷車漆或玻璃表面,尤其適用于高鐵、動車等對外觀要求較高的車型。此外,車窗密封條縫隙的灰塵也可通過干冰清洗高效去除。6. 電氣控制系統及線路清潔列車的控制柜、繼電器、接觸器、電纜接頭等電氣部件易積累灰塵和油污,可能導致接觸不良或短路。干冰清洗可安全去除這些污染物,且不影響電氣元件的絕緣性能,減少因清潔不當導致的電氣故障,保障列車控制系統穩定運行。酷爾森干冰清洗技術可在30分鐘內完成傳統方法需4-8h的模頭清洗,控制3-5mm干冰顆粒和0.2-0.5MPa 噴射壓力。

酷爾森的干冰清洗技術在芯片行業應用的**優勢無殘留、無二次污染:干冰顆粒在撞擊瞬間升華(固態→氣態),只留下被去除的污染物需要吸走,不會引入任何新的化學殘留、水跡或介質殘留。這對防止晶圓表面污染和設備內部化學干擾至關重要。非研磨性、非破壞性:干冰顆粒質地柔軟,在合理的工藝參數下(壓力、流量、距離、角度),其清潔作用主要依靠熱沖擊效應(使污染物脆化收縮)和動能沖擊(剝離),而非硬性摩擦。因此,對大多數金屬、陶瓷、硬質塑料等基材表面損傷風險極低,保護昂貴的精密部件。無需拆卸設備(在線清潔):干冰噴射可以通過設備原有的端口或開口進行,實現原位清潔。這**減少了設備停機時間,提高了生產效率,避免了因頻繁拆卸組裝帶來的損壞風險和精度損失。干燥清潔:整個過程完全干燥,不涉及任何液體或濕氣。避免了水洗帶來的干燥時間長、可能引起的腐蝕、短路(對帶電或敏感部件尤其重要)以及水痕殘留問題。環保性:干冰是食品級二氧化碳的固體形態,來源于工業副產品回收利用。清潔過程不產生額外的有害化學廢物(只需處理收集的污染物本身),符合嚴格的環保法規和Fab廠的環境要求。無VOC排放。半導體行業中,ICEsonic 設備能清潔光刻機光學鏡頭的光刻膠殘留,無需大量拆解設備。山東不銹鋼干冰清洗銷售
酷爾森coulson干冰清洗有效去除印刷機齒輪、導軌上難以處理的油墨和清漆,提高印刷質量。湖北智能干冰清洗生產商
油艙清洗:安全與環保的**傳統痛點:化學溶劑清洗產生有毒廢水,高壓水洗需處理含油污水,且艙內油氣環境易引發。干冰應用:干冰升華后*殘留氣態CO?,無化學污染;低溫固化殘留油污,抑制油氣揮發,從源頭杜絕燃爆風險。實測顯示,油艙清洗效率提升40%,且符合IMO嚴格環保法規。操作創新:配合機器人搭載干冰噴頭,實現密閉空間自動化清洗,避免人員進入高危環境。 四、其他關鍵場景應用船體清潔:去除船體附著的藻類、貝類及銹層,恢復船體光滑度,降低燃油消耗5–10%。發動機艙除油污:在不拆解發動機前提下,去除積碳與油漬,減少停機時間。集裝箱與海上平臺:自動化干冰清洗系統實現集裝箱內外壁***清潔;海上平臺配備可調高度/角度的噴頭支架,適應復雜結構。下表概括了酷爾森環保科技(上海)有限公司干冰清洗與傳統方法的差異:評估維度干冰清洗傳統方法(高壓水/化學)清洗介質固態CO?(無添加)水+化學溶劑水消耗零高(單船次可達數十噸)二次污染風險無廢水/化學廢料需處理表面損傷風險極低(非研磨)中高(高壓水/機械摩擦)復雜結構清潔能力優異(深入縫隙)有限**優勢總結:環保性:零廢水、零化學添加,符合IMO 2025海洋污染防治新規。湖北智能干冰清洗生產商