廣東華芯半導(dǎo)體技術(shù)有限公司2025-10-25

排查按 “密封 - 閥門 - 泵” 順序：先檢查爐門密封圈，若老化或變形需更換氟橡膠密封圈（耐溫 200+℃）；再查看真空閥門，若有膠水殘留堵塞，用異丙醇清潔閥芯；檢查真空泵，若油位低于刻度線 1/2，補充新油，若泵體磨損需維修。排查后重啟設(shè)備，抽真空時間應(yīng)≤5min 達(dá)設(shè)定值（如 50Pa）。廣東華芯半導(dǎo)體技術(shù)有限公司可提供遠(yuǎn)程故障診斷，快速定位問題。

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