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來源: 發(fā)布時(shí)間:2022-05-08

下面為大家介紹一下高溫鐘罩爐的各項(xiàng)系統(tǒng)。一、氣氛系統(tǒng)。1.爐膛氣氛:2路空氣,流量計(jì)量程為7~70L/min,每路流量可調(diào)節(jié);2.排氣系統(tǒng):在爐膛頂部設(shè)置一個(gè)排氣囪,用于廢氣排放。二、傳動(dòng)系統(tǒng)1.傳動(dòng)方式:升降式2.傳動(dòng)類型:電動(dòng)推桿傳動(dòng)3.容積:20L三、冷卻系統(tǒng)1.冷卻結(jié)構(gòu):無2.產(chǎn)品降溫:隨爐降溫四、安全保護(hù)1.升、降、停按鈕:載料臺(tái)的升、降、停控制2.報(bào)警指示:超溫、斷偶、過載、超程、偏差等聲光報(bào)警3.設(shè)備安全升溫速率≤5℃/min五、溫度控制系統(tǒng)1.溫度測量:采用B分度熱偶測量2.控制方式:高性能移相調(diào)壓+SCR晶閘管模塊控制2.1當(dāng)測量溫度超過設(shè)定的安全值時(shí),斷加熱,并報(bào)警2.2當(dāng)測量溫度超過目標(biāo)溫度達(dá)到限制偏差值時(shí),報(bào)警3.控制儀表:采用進(jìn)口智能調(diào)節(jié)儀控制。具有PID參數(shù)自整定、高溫上限報(bào)警、熱電偶失效指示等多項(xiàng)報(bào)警保護(hù)功能合肥真萍告訴您網(wǎng)帶爐的運(yùn)用方式。干燥網(wǎng)帶爐市場價(jià)格

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光刻涂膠工藝中絕大多數(shù)光刻膠是疏水的,而硅片表面的羥基和殘留的水分子是親水的,這造成光刻膠和硅片的黏合性較差,尤其是正膠,顯影時(shí)顯影液會(huì)侵入光刻膠和硅片的連接處,容易造成漂條、浮膠等,導(dǎo)致光刻圖形轉(zhuǎn)移的失敗,同時(shí)濕法腐蝕容易發(fā)生側(cè)向腐蝕。增黏劑HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善這種狀況。將HMDS涂到硅片表面后,經(jīng)烘箱加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷涫杷珊芎玫嘏c光刻膠結(jié)合,起著偶聯(lián)劑的作用。干燥網(wǎng)帶爐市場價(jià)格網(wǎng)帶爐的特點(diǎn)是什么?合肥真萍告訴您。

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恒溫恒濕箱試驗(yàn)箱是航空、汽車、家電、科研等領(lǐng)域必備的檢測設(shè)備,用于測試電子、電工及其它產(chǎn)品及材料進(jìn)行高溫、低溫、交變濕熱度或恒定試驗(yàn)的溫度環(huán)境變化參數(shù)及性能。該系列產(chǎn)品適用于航空航天產(chǎn)品、信息電子儀器儀表、材料、電工、電子產(chǎn)品、各種電子元?dú)饧诟叩蜏鼗驖駸岘h(huán)境下、檢驗(yàn)其各項(xiàng)性能指標(biāo)。下面為大家介紹一下真萍科技的恒溫恒濕試驗(yàn)箱的控制特點(diǎn)。試驗(yàn)箱的控制系統(tǒng)可說是整個(gè)設(shè)備的心臟,掌管著制冷、制熱、控濕、循環(huán)、控制等大權(quán)。在制冷方面,壓縮機(jī)是采用德國進(jìn)口的壓縮機(jī)。制冷系統(tǒng)由高溫部分和低溫部分組成,每一部分是一個(gè)相對單獨(dú)的制冷系統(tǒng)。高溫部分中制冷劑的蒸發(fā)吸收來自低溫部分的制冷劑的熱量而汽化;低溫部分制冷劑的蒸發(fā)則從被冷卻的對象(試驗(yàn)機(jī)內(nèi)的空氣)吸熱以獲取冷量。高溫部分和低溫部分之間是用一個(gè)蒸發(fā)冷凝器聯(lián)系起來,它既是高溫部分的冷凝器,也是低溫部分的冷凝器。加熱系統(tǒng)采用完全單獨(dú)的鎳鉻合金電加熱式,電阻率大、電阻溫度系數(shù)小,在高溫下變形小且不易脆化,自身加熱溫度可達(dá)1000~1500℃,使用壽命長。

本篇介紹專業(yè)全自動(dòng)HMDS真空烤箱,首先簡單介紹一下HMDS預(yù)處理系統(tǒng)的必要性:在半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中,光刻是集成電路圖形轉(zhuǎn)移重要的一個(gè)工藝環(huán)節(jié),涂膠質(zhì)量直接影響到光刻的質(zhì)量,涂膠工藝也顯得尤為重要。光刻涂膠工藝中絕大多數(shù)光刻膠是疏水的,而硅片表面的羥基和殘留的水分子是親水的,這造成光刻膠和硅片的黏合性較差,尤其是正膠,顯影時(shí)顯影液會(huì)侵入光刻膠和硅片的連接處,容易造成漂條、浮膠等,導(dǎo)致光刻圖形轉(zhuǎn)移的失敗,同時(shí)濕法腐蝕容易發(fā)生側(cè)向腐蝕。增黏劑HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善這種狀況。將HMDS涂到硅片表面后,經(jīng)烘箱加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷涫杷珊芎玫嘏c光刻膠結(jié)合,起著偶聯(lián)劑的作用。網(wǎng)帶爐的優(yōu)點(diǎn)體現(xiàn)在哪?

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1.工作室與外箱之間的保溫材質(zhì)是優(yōu)良超細(xì)玻璃纖維保溫棉,保溫厚度:>70mm,隔溫效果好,國內(nèi),高性能的絕緣結(jié)構(gòu)。從內(nèi)到外有內(nèi)腔、外殼、超細(xì)玻璃纖維、鋁制反射鋁箔片、空氣夾層,內(nèi)膽熱量損失少。內(nèi)膽外箱及門膽結(jié)構(gòu)獨(dú)特,極大減少了內(nèi)腔熱量的外傳。2.門與門框之間采用高性能密封材料及獨(dú)特的橡膠密封結(jié)構(gòu),密封、耐高溫性、抗老化性好。3.箱內(nèi)風(fēng)道采用雙循環(huán)系統(tǒng),不銹鋼多翼式離心風(fēng)輪及循環(huán)風(fēng)道組成,置于箱體背部的電加熱器熱量通過側(cè)面風(fēng)道向前排出,經(jīng)過干燥物后再被背部的離心風(fēng)輪吸入,形成合理的風(fēng)道,能使熱氣充分對流,使箱內(nèi)溫度相當(dāng)大限度達(dá)到均勻。提高了空氣流量加熱的能力,大幅改善了干燥箱的溫度均勻性。4.加熱器用不銹鋼電加熱管,升溫快,壽命長。干燥網(wǎng)帶爐市場價(jià)格

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