在真空鍍膜機(jī)腔體內(nèi)，真空計(jì)測(cè)量是一項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù)，它涉及使用專為這一目的設(shè)計(jì)的儀器和裝置，即真空計(jì)，來測(cè)定特定空間內(nèi)的真空度。真空測(cè)量分為***真空計(jì)和相對(duì)真空計(jì)。***真空計(jì)直接測(cè)量物理參數(shù)以確定氣體壓強(qiáng)，如U型壓力計(jì)和壓縮式真空計(jì)，它們不受氣體成分影響，測(cè)量準(zhǔn)確度高，但在極低氣體壓強(qiáng)下直接測(cè)量變得困難。相對(duì)真空計(jì)則通過測(cè)量與壓強(qiáng)相關(guān)的物理量，再與***真空計(jì)對(duì)比得出壓強(qiáng)值，如放電真空計(jì)、熱傳導(dǎo)真空計(jì)和電離真空計(jì)等。這類真空計(jì)的測(cè)量準(zhǔn)確度稍遜于***真空計(jì)，且結(jié)果可能受氣體種類影響。在實(shí)際應(yīng)用中，特別是在非校準(zhǔn)場(chǎng)合，相對(duì)真空計(jì)更為常見。與熱陰極電離真空計(jì)一樣，利用低壓力下氣體分子的電離電流與壓力有關(guān)的特性，用放電電流做為真空度的測(cè)量。MSA真空計(jì)加盟

NC610A真空計(jì)廣泛應(yīng)用于光伏、太陽能等行業(yè)的真空爐上。冷陰極型（如潘寧計(jì)）：利用高壓電場(chǎng)和磁場(chǎng)使殘余氣體電離，無需加熱陰極。離子電流同樣與氣體分子密度相關(guān)。特點(diǎn)：量程：通常為10?9Torr至10?3Torr，適合高真空至超高真空。優(yōu)點(diǎn)：高真空下精度高（信號(hào)與氣體分子密度直接相關(guān)）。對(duì)氣體種類不敏感（電離截面差異可忽略）。局限性：熱陰極型需加熱陰極，可能污染系統(tǒng)（蒸發(fā)材料）。冷陰極型在低真空下可能無法啟動(dòng)（需足夠殘余氣體維持真空計(jì)電離）。愛德克斯真空計(jì)用途部分高精度薄膜真空計(jì)是間接測(cè)量，只有壓力為105～lOPa時(shí)，可直接測(cè)單位面積所受的力。

提到真空計(jì)，你較早想到什么？給朋友寄鵝腿要用真空包裝？不不，換個(gè)思路，你還能想到什么？是小學(xué)二年級(jí)就學(xué)過的“聲音不能在真空中傳播”，還是初中二年級(jí)學(xué)過的“托里拆利實(shí)驗(yàn)”，亦或是傳說中的“馬德堡半球?qū)嶒?yàn)”？不管你想到的是什么，真空對(duì)于我們來說并不陌生。如果你了解一下真空的定義，你就會(huì)驚奇的發(fā)現(xiàn)，真空一點(diǎn)也不神秘，你也經(jīng)常跟它打交道。真空的定義“真空(vacuum)”一詞來自希臘語，意為“空的”，但是真空并不是空無所有的狀態(tài)，即便是在銀河系邊緣也有大量物質(zhì)分子存在?？茖W(xué)界對(duì)真空的普遍定義為：真空是指“壓強(qiáng)低于一個(gè)大氣壓的氣體狀態(tài)”

    這些真空泵按工作原理大致可以分為兩類。一類是真空計(jì)將氣體不斷吸入并排出體外的泵，例如機(jī)械泵、渦輪分子泵；一類是將氣體分子吸附在內(nèi)壁上的泵，例如鈦升華泵、低溫吸附泵、吸氫氣泵。不管工作原理如何，這些泵的**終目的都是減少腔體內(nèi)的氣體分子數(shù)。由于不同泵的構(gòu)造不同，每種泵都有自己的工作區(qū)間，只有在一定的壓強(qiáng)范圍內(nèi)才可以正常工作，否則就會(huì)損壞。不同泵的工作壓強(qiáng)區(qū)間如下圖所示。從上圖我們可以看出，要達(dá)到超高真空，只用一種泵是無法實(shí)現(xiàn)的，需要不同種類的泵接力，像極了我們做科研的過程，不是嗎？團(tuán)隊(duì)合作。在實(shí)驗(yàn)室，我們先用機(jī)械泵抽到粗真空，再打開分子泵抽到高真空，**后用離子泵或者鈦升華泵抽到實(shí)驗(yàn)所需的真空狀態(tài)。 如果大家仔細(xì)觀察很多現(xiàn)代真空技術(shù)生產(chǎn)線設(shè)備，會(huì)發(fā)現(xiàn)這種Tamagawa真空計(jì)小部件，應(yīng)用繁多。

工作原理播報(bào)編輯兩種真空計(jì)在不同壓強(qiáng)區(qū)間發(fā)揮測(cè)量作用：1.熱偶真空計(jì)加熱電流恒定狀態(tài)下，熱電偶電勢(shì)與氣體熱傳導(dǎo)系數(shù)呈正相關(guān)。當(dāng)壓強(qiáng)低于10Pa時(shí)氣體導(dǎo)熱系數(shù)隨壓強(qiáng)降低而減小，通過熱電偶輸出電勢(shì)變化反映真空度。有效測(cè)量范圍為100-0.1Pa [4]。2.熱陰極電離真空計(jì)燈絲加熱至2200K發(fā)射熱電子，經(jīng)150V柵極電壓加速后與氣體分子碰撞產(chǎn)生正離子。收集極在-25V偏壓下捕獲離子形成電流，該電流與氣體壓強(qiáng)成線性關(guān)系 [4]。典型工作范圍為0.1-1×10??Pa。設(shè)備通過動(dòng)態(tài)切換機(jī)制實(shí)現(xiàn)量程銜接：當(dāng)熱偶計(jì)檢測(cè)到壓強(qiáng)低于10?1Pa時(shí)，自動(dòng)開啟電離計(jì) [1] [4]。ZDF-1A/B型具備1-99分鐘可調(diào)延時(shí)切換功能，防止頻繁啟停損壞燈絲 [1]真空計(jì)測(cè)量精度較高，主要用作基準(zhǔn)量具。四合一真空計(jì)批發(fā)

被測(cè)氣體是否會(huì)損傷高精度薄膜真空計(jì)；高精度薄膜真空計(jì)可否會(huì)給被測(cè)氣體狀態(tài)帶來影響。MSA真空計(jì)加盟

一、真空計(jì)分類真空計(jì)主要可分為兩大類，***真空計(jì)和相對(duì)真空計(jì)，這兩者的主要區(qū)別在于其測(cè)量真空度的方式不同。1.***真空計(jì)***真空計(jì)可以直接測(cè)量氣體的***壓力。其典型的例子是U形管真空計(jì)，通過**或油的液面差來直接反映氣體的壓力。這種真空計(jì)的優(yōu)點(diǎn)是測(cè)量精度高，但通常結(jié)構(gòu)較為復(fù)雜，且需要對(duì)測(cè)量環(huán)境進(jìn)行溫度修正。2.相對(duì)真空計(jì)相對(duì)真空計(jì)則是通過間接的方法來反映真空度，其顯示的讀數(shù)通常與某種已知?dú)怏w的壓力相關(guān)聯(lián)。相對(duì)真空計(jì)通常更為便捷，適用于現(xiàn)場(chǎng)快速檢測(cè)或連續(xù)監(jiān)測(cè)。下面將詳細(xì)介紹幾種常見的相對(duì)真空計(jì)。MSA真空計(jì)加盟