目前,基于SOI(絕緣體上硅)材料的波導調制器成為當前的研究熱點,也取得了許多的進展,但在硅光芯片調制器的產業化進程中,面臨著一系列的問題,波導芯片與光纖的有效耦合就是難題之一。從懸臂型耦合結構出發,模擬設計了懸臂型倒錐耦合結構,通過開發相應的有效地耦合工藝來實現耦合實驗,驗證了該結構良好的耦合效率。在這個基礎之上,對硅光芯片調制器進行耦合封裝,并對封裝后的調制器進行性能測試分析。主要研究基于硅光芯片調制技術的硅基調制器芯片的耦合封裝及測試技術其實就是硅光芯片耦合測試系統。硅光芯片耦合測試系統硅光芯片的好處：處理的應用領域廣。河北多模硅光芯片耦合測試系統價格

經過多年發展,硅光芯片耦合測試系統如今已經成為受到普遍關注的熱點研究領域。利用硅的高折射率差和成熟的制造工藝,硅光子學被認為是實現高集成度光子芯片的較佳選擇。但是,硅光子學也有其固有的缺點,比如缺乏高效的硅基有源器件,極低的光纖-波導耦合效率以及硅基波導明顯的偏振相關性等都制約著硅光子學的進一步發展。針對這些問題,試圖通過新的嘗試給出一些全新的解決方案。首先我們回顧了一些光波導的數值算法,并在此基礎上開發了一個基于柱坐標系的有限差分模式分析器,它非常適合于分析彎曲波導的本征模場。對于復雜光子器件結構的分析,我們主要利用時域有限差分以及波束傳播法等數值工具。接著我們回顧了硅基光子器件各項主要的制造工藝和測試技術。重點介紹了幾種基于超凈室設備的關鍵工藝,如等離子增強化學氣相沉積,電子束光刻以及等離子體干法刻蝕。為了同時獲得較高的耦合效率以及較大的對準容差,本論文主要利用垂直耦合系統作為光子器件的主要測試方法。黑龍江多模硅光芯片耦合測試系統價格硅光芯片耦合測試系統硅光芯片的好處：可以并行執行多個操作。

伴隨著光纖通信技術的快速發展,小到芯片間,大到數據中心間的大規模數據交換處理,都迫切需求高速,可靠,低成本,低功耗的互聯。目前,主流的光互聯技術分為兩類。一類是基于III-V族半導體材料,另一類是基于硅等與現有的成熟的微電子CMOS工藝兼容的材料。基于III-V族半導體材料的光互聯技術,在光學性能方面較好,但是其成本高,工藝復雜,加工困難,集成度不高的缺點限制了未來大規模光電子集成的發展。硅光芯片器件可將光子功能和智能電子結合在一起以提供潛力巨大的高速光互聯的解決方案。

硅光芯片耦合測試系統系統的服務器為完成設備控制及自動測試應包含有自動化硅光芯片耦合測試系統服務端程序，可以使用于根據測試站請求信息分配測試設備，并自動切換光矩陣進行自動測試。服務器連接N個測試站、測試設備、光矩陣。其中N個測試站連接由于非占用式特性采用網口連接方式；測試設備包括可調激光器、偏振控制器和多通道光功率計，物理連接采用GPIB接口、串口或者USB接口；光矩陣連接采取串口。自動化硅光芯片耦合測試系統服務端程序包含三個功能模塊：多工位搶占式通信、設備自動測試、測試指標運算；設備自動測試過程又包含如下三類：偏振態校準、存光及指標測試。將硅光芯片的發射端通過硅光線連接到硅光譜儀，就可以測試硅光芯片的硅光譜等。

實驗中我們經常使用硅光芯片耦合測試系統獲得了超過50%的耦合效率測試以及低于-20dB的偏振串擾。我們還對一個基于硅條形波導的超小型偏振旋轉器進行了理論分析,該器件能夠實現100%的偏轉轉化效率,并擁有較大的制造容差。在這里,我們還對利用側向外延生長硅光芯片耦合測試系統技術實現Ⅲ-Ⅴ材料與硅材料混集成的可行性進行了初步分析,并優化了諸如氫化物氣相外延,化學物理拋光等關鍵工藝。在該方案中,二氧化硅掩膜被用來阻止InP種子層中的線位錯在外延生長中的傳播。初步實驗結果和理論分析證明該集成平臺對于實現InP和硅材料的混合集成具有比較大的吸引力。硅光芯片耦合測試系統硅光芯片的好處：支持流水線操作，使取指、譯碼和執行等操作可以重疊執行。黑龍江多模硅光芯片耦合測試系統價格

硅光芯片耦合測試系統優點：易于大規模測試。河北多模硅光芯片耦合測試系統價格

針對不同的硅光芯片結構,我們提出并且實驗驗證了兩款新型耦合器以提高硅光芯片的耦合效率。一款基于非均勻光柵的垂直耦合器,在實驗中,我們得到了超過60%的光纖-波導耦合效率。此外,我們還開發了一款用以實現硅條形波導和狹縫波導之間高效耦合的新型耦合器應用的系統主要是硅光芯片耦合測試系統,理論設計和實驗結果都證明該耦合器可以實現兩種波導之間的無損光耦合。為了消除硅基無源器件明顯的偏振相關性,我們首先利用一種特殊的三明治結構波導,通過優化多層結構,成功消除了一個超小型微環諧振器中心波長的偏振相關性。河北多模硅光芯片耦合測試系統價格