由于真空技術部門所涉及的工作壓強范圍十分寬泛，任何一種類型的真空泵都不可能完全適用于所有工作環境，只能根據不同的工作壓強范圍和工作要求使用不同的真空泵，或將兩種或兩種以上的真空泵組合起來形成真空泵機組。這種壓強范圍一般用真空度*注釋來表示，根據真空度的不同，又可以將真空泵分為以下幾種類型：(1)低真空（粗真空）泵：真空度在1Pa至103Pa之間。常見類型：旋片式真空泵、水環真空泵、往復式真空泵、無油真空泵等。(2)中真空泵：真空度在10-3Pa至1Pa之間。常見類型：螺桿泵、油封機械泵、羅茨真空泵等。(3)高真空泵：真空度在10-3Pa至10-7Pa之間。常見類型：滑閥式真空泵、羅茨真空泵、干式螺桿泵等。(4)超高真空泵：真空度在10-8Pa至10-12Pa之間。常見類型：旋轉活塞真空泵、分子泵、濺射離子泵、鈦升華泵、擴散泵等。*注釋：真空度：真空度是指處于真空狀態下的氣體稀薄程度。若所測設備內的壓強低于大氣壓強，其壓力測量需要真空表。從真空表所讀得的數值稱真空度。計算方法：真空度=大氣壓強-***壓強。單位：帕斯卡（Pa）、千帕（KPa）、兆帕（MPa）、大氣壓（atm）、毫米汞柱（mmHg）、巴（bar）、托（Torr）等皮拉尼真空計如何校準？浙江電容薄膜真空計設備廠家

真空計與氣體脫附效應材料放氣（如橡膠釋出H?O）會導致測量值虛高。解決措施：①選用低放氣材料（Viton替代橡膠）；②烘烤（150℃可加速脫附）；③分離測量（將規管安裝在抽氣口遠端）。超高真空系統放氣率需<10?1?Pa·m3/s·cm2。18.真空計的電磁兼容性電離規的高壓電源（2kV）可能輻射EMI，需屏蔽層≥60dB。MEMS規對RF場敏感，5GHzWi-Fi可能導致±5%讀數偏移。航天級真空計需通過MIL-STD-461G標準測試。測量兩個腔室壓差，量程1~10??Pa，精度±0.1%。應用包括檢漏儀（氦質譜儀參考端壓力監控）和分子泵前級壓力控制。硅諧振式傳感器（如橫河EJA系列）溫度穩定性達±0.1%FS/年。重慶高純度真空計公司電容真空計是一種利用電容變化來測量真空度的儀器。

渦輪分子泵的工作原理是在電機的帶動下，動葉輪高速旋轉（動葉輪外緣的線速度高達氣體分子熱運動的速度，一般為150~400米/秒）。在分子流區域內，氣體分子與高速轉動的葉片表面碰撞，動量傳遞給氣體分子，使部分氣體分子在剛體表面運動方向上產生定向流動而被排出泵外，從而達到抽氣的目的。啟動快：渦輪分子泵能夠在短時間內迅速啟動，并達到穩定的抽氣狀態。抗射線照射：渦輪分子泵能夠抵抗各種射線的照射，適用于高能加速器等輻射環境下的真空抽取。耐大氣沖擊：渦輪分子泵具有較強的耐大氣沖擊能力，能夠在氣壓突變的環境中保持穩定的抽氣性能。無氣體存儲和解吸效應：渦輪分子泵在工作過程中不會存儲氣體，也不會產生解吸效應，因此能夠獲得清潔的超高真空。無油蒸氣污染：渦輪分子泵采用無油潤滑系統，避免了油蒸氣對真空環境的污染。

熱傳導真空計：利用氣體在不同壓強下熱傳導能力隨之變化的原理測量氣體壓強。在這類真空計中，以一定加熱電流通過裝有熱絲的規頭，熱絲的溫度決定于加熱和散熱之間的平衡。散熱能力是氣體壓強的函數，故熱絲的溫度隨壓強而變化。熱傳導真空計主要用于100~10^-1帕范圍，采取特殊措施可擴大測量范圍。不過，熱傳導真空計的指示不但和氣體種類有關，而且易受熱絲表面污染、環境溫度等因素影響，故準確度不高，只作粗略的真空指示用。粘滯真空計：利用在真空中轉動或振動的物體受氣體分子阻尼作用而發生運動衰減的現象來測量氣體壓強。氣體分子的阻尼力與壓強有關。實際使用的粘滯真空計主要有磁懸浮轉子真空計和振膜真空計。磁懸浮轉子真空計利用可控磁場把不銹鋼球懸浮在真空中，用旋轉磁場把鋼球加速到400轉/秒，然后停止加速，任其自然衰減，用電子學方法精確測量其轉速衰減率，從而確定壓強。這種真空計具有很高的測量精度，吸氣、放氣速率小，壓強指示受氣體種類影響小，如鋼球表面鍍金則可在較惡劣的氣氛下工作。然而這種真空計在高真空端的讀數受振動影響較大，測量時間也較長。因此，它可作為1~10^-4帕范圍內的副標準真空計或用作標準傳遞真空計。什么是真空測量？真空如何測量？

真空計的安裝誤差安裝位置不當導致誤差：①管路流導限制（需短而粗的連接管）；②溫度梯度（避免熱源附近）；③振動（機械泵需隔振）；④方向性（某些薄膜規需水平安裝）。規范要求測量點盡量靠近真空腔體，必要時使用差分測量消除管路效應。電離規安裝角度應避免顆粒落入燈絲區域。10.真空計的氣體種類影響不同氣體熱導率/電離效率差異***：皮拉尼計對H?的靈敏度是N?的7倍；電離規對Ar的靈敏度比He高30倍。實際應用中需輸入氣體修正因子（如SEMI標準E12-0305提供常見氣體系數）?；旌蠚怏w需質譜儀輔助分析，否則可能導致>50%的測量偏差。如何定制不同企業使用的真空計類型？南京真空計設備公司

定制真空計可以做到哪些調整？浙江電容薄膜真空計設備廠家

真空計的工作原理基于氣體分子的運動特性。當氣體分子在封閉空間內不斷運動、相互碰撞并與容器壁發生碰撞時，這種碰撞運動將氣體分子的動能轉換成容器壁上的壓力。真空計通過測量這種壓力來間接反映氣體的壓強或真空度。不同類型的真空計采用不同的物理機制進行測量，例如：利用力學性能的真空計：如波爾登真空計和薄膜電容規，它們通過測量氣體對某種力學元件（如薄膜）的作用力來推算真空度。利用氣體動力學效應的真空計：如皮拉尼電阻規和熱電偶規，它們利用氣體在流動過程中產生的熱效應或電效應來測量真空度。利用帶電粒子效應的真空計：如熱陰極電離規和冷陰極電離規，它們通過測量氣體分子在電離過程中產生的電流來推算真空度。這類真空計在高真空領域具有極高的測量精度。浙江電容薄膜真空計設備廠家