2. 熱傳導真空計熱傳導真空計通過氣體熱傳導的變化來測量壓力，適用于低真空和中真空范圍。（1）皮拉尼真空計原理：利用加熱絲的熱量損失與氣體壓力之間的關系測量壓力。測量范圍：10?3 Torr 到 10 Torr。優點：響應快、成本低。缺點：受氣體種類影響較大。應用：普通真空系統監測。（2）熱電偶真空計原理：通過熱電偶測量加熱絲溫度變化來間接測量壓力。測量范圍：10?3 Torr 到 10 Torr。優點：結構簡單、穩定性好。缺點：精度較低。應用：低真空和中真空測量。 電容真空計在哪些領域有應用？山東mems電容真空計生產廠家

選擇真空計應該注意什么6.安裝與接口安裝方式：根據系統設計選擇合適的安裝方式，如法蘭連接、螺紋連接等。接口兼容性：確保真空計的接口與系統兼容。7.電源與信號輸出電源需求：選擇符合系統電源要求的真空計。信號輸出：根據需求選擇模擬信號（如4-20mA、0-10V）或數字信號（如RS485、Modbus）輸出的真空計。8.維護與校準維護需求：選擇易于維護和清潔的真空計。校準周期：了解校準周期和校準方法，選擇易于校準的真空計。9.成本與性價比預算：在預算范圍內選擇性價比高的真空計。長期成本：考慮長期使用成本，包括維護、校準和更換部件費用。10.品牌與售后服務品牌信譽。售后服務：選擇提供良好售后服務的供應商，確保技術支持與維修服務。山東mems電容真空計生產廠家鎢絲皮拉尼真空計原理。

旋片泵的旋片把轉子、泵腔和兩個端蓋所圍成的月牙形空間分隔成A、B、C三部分。當轉子按箭頭方向旋轉時，與吸氣口相通的空間A的容積逐漸增大，正處于吸氣過程；而與排氣口相通的空間C的容積逐漸縮小，正處于排氣過程；居中的空間B的容積也逐漸減小，正處于壓縮過程。由于空間A的容積逐漸增大（即膨脹），氣體壓強降低，泵的入口處外部氣體壓強大于空間A內的壓強，因此將氣體吸入。當空間A與吸氣口隔絕時，即轉至空間B的位置，氣體開始被壓縮，容積逐漸縮小，***與排氣口相通。當被壓縮氣體超過排氣壓強時，排氣閥被壓縮氣體推開，氣體穿過油箱內的油層排至大氣中。如果排出的氣體通過氣道而轉入另一級（低真空級），由低真空級抽走，再經低真空級壓縮后排至大氣中，即組成了雙級泵。

真空計用于測量真空系統中的壓力，使用方法如下：1. 選擇合適類型根據測量需求選擇合適的真空計類型，常見的有：熱偶真空計：適用于低真空（1 Pa - 1000 Pa）。電離真空計：適用于高真空（10^-3 Pa - 10^-8 Pa）。皮拉尼真空計：適用于中真空（0.1 Pa - 1000 Pa）。電容薄膜真空計：適用于寬范圍（10^-4 Pa - 1000 Pa）。2. 安裝位置選擇：安裝在真空系統靠近測量點的位置，避免氣流或溫度波動影響。連接方式：確保接口密封良好，通常使用法蘭或螺紋連接。3. 校準校準步驟：使用標準真空源或校準設備，按說明書進行校準。校準頻率：定期校準，確保測量精度。4. 操作啟動：接通電源，預熱（如有需要）。讀數：待讀數穩定后記錄壓力值。調整：根據測量結果調整真空系統。5. 維護清潔：定期清潔傳感器，避免污染。檢查：檢查密封性和電氣連接，確保正常工作。更換：傳感器老化或損壞時及時更換。6. 注意事項量程：避免超出量程使用，防止損壞。環境：避免在腐蝕性、高溫或高濕環境中使用。安全：操作時注意安全，避免高壓或真空泄漏風險。7. 故障處理無讀數：檢查電源和連接。讀數不穩：檢查密封性和傳感器狀態。誤差大：重新校準或更換傳感器。皮拉尼真空計的測量范圍取決于所使用的具體型號和規格。

3. 電離真空計電離真空計通過電離氣體分子來測量壓力，適用于高真空和超高真空范圍。（1）熱陰極電離真空計原理：利用熱陰極發射電子電離氣體分子，通過離子電流測量壓力。測量范圍：10?1? Torr 到 10?3 Torr。優點：精度高、測量范圍廣。缺點：熱陰極易損壞，需要較高維護。應用：高真空和超高真空系統。（2）冷陰極電離真空計原理：利用冷陰極放電電離氣體分子，通過離子電流測量壓力。測量范圍：10?12 Torr 到 10?3 Torr。優點：無需熱陰極，壽命長。缺點：啟動時間較長，穩定性稍差。應用：高真空和超高真空系統。真空計使用時應該注意什么？山東mems電容真空計生產廠家

電容真空計通常適用于中低真空范圍的測量，如從大氣壓到幾千帕甚至更低。山東mems電容真空計生產廠家

4. 電容式真空計電容式真空計通過測量電容變化來間接測量壓力，適用于中真空和高真空范圍。（1）電容薄膜真空計原理：利用薄膜在壓力作用下的形變引起電容變化來測量壓力。測量范圍：10?? Torr 到 1000 Torr。優點：精度高、響應快。缺點：成本較高。應用：中真空和高真空測量。5. 振膜式真空計振膜式真空計通過測量振膜頻率變化來測量壓力，適用于中真空和高真空范圍。（1）石英晶體真空計原理：利用石英晶體振膜在壓力作用下的頻率變化測量壓力。測量范圍：10?? Torr 到 1000 Torr。優點：精度高、穩定性好。缺點：成本較高。應用：高精度真空測量。山東mems電容真空計生產廠家