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浙江陶瓷真空計設備公司

來源: 發布時間:2025-09-14

皮拉尼真空計,又有翻譯為“派藍尼真空計”,屬于熱傳導式真空計的一種。以下是對皮拉尼真空計的詳細介紹:一、歷史背景皮拉尼真空計由馬塞洛·皮拉尼(Marcello Stefano Pirani)于1906年發明。皮拉尼曾在從事真空燈行業的西門子和哈爾斯克公司工作,當時需要高真空環境來制造燈絲,而生產環境中使用的計量器較為笨重且不便,這促使他發明了更為便捷的真空計。二、工作原理皮拉尼真空計通過加熱電阻絲至一定的工作溫度,然后監測由于氣體粒子與電阻絲碰撞而帶走的能量,這種能量損失與電阻絲周圍的氣體濃度及氣體成分成比例關系。當氣體分子與加熱的金屬絲碰撞時,熱量從金屬絲中傳遞出來。熱損失是氣體壓力的函數,在低壓下,低氣體密度提供了低的熱導率。因此,提供給元件的電流變得依賴于真空壓力,從而可以通過測量的電流間接測量真空值。電容真空計與熱傳導式真空計在測量原理上有所不同。浙江陶瓷真空計設備公司

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真空測量的特點測量壓力范圍寬,105~10-14Pa。2大部分真空計是間接測量,只有壓力為105~10Pa時,可直接測單位面積所受的力。3采用電測技術,反應迅速,靈敏度高,可實現自動化。4大部分真空計的讀數與氣體種類和成分有關。所以測量時要特別注意被測量氣體種類和成分,否則會造成很大誤差。5測量精度不高。選擇真空計的原則在要求的壓力區域內有要求的精度。2被測氣體是否會損傷真空計;真空計可否會給被測氣體狀態帶來影響。3靈敏度與氣體種類有關否。4可否連續指示、電氣指示以及反應時間長短。5穩定性、復現性、可靠性和壽命如何。6還要看真空計的安裝方法、操作性能、保修、管理、市場有無銷售、購買的難易程度和規格如何。7是否具備耐腐蝕性。特殊的真空介質中,如強酸、鹽堿環境下,要求真空計具備一定的耐腐蝕性能。8是否耐高溫。高溫的工藝環境下,對真空計中的敏感及電子元器件有較高的要求,不能發生失效、漂移情況的發生。杭州高質量真空計設備廠家定制真空計可以做到哪些調整?

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電容薄膜真空計:屬彈性元件真空計,其結構和電路原理是一彈性薄膜將規管真空室分為兩個小室,即參考壓強室和測量室。測量低壓強(P<100帕)時,參考室抽至高真空,其壓強近似為零。當測量室壓強不同時,薄膜變形的程度也不同。在測量室中有一固定電極,它與薄膜形成一個電容器。薄膜變形時電容值相應改變,通過電容電橋可測量電容的變化從而確定相應壓強值。電容薄膜真空計可直接測量氣體或蒸氣的壓強,測量值與氣體種類無關、結構牢固、可經受烘烤,如對不同壓強范圍采用不同規頭,可得到較高精度。它可用于高純氣體監測、低真空精密測量和壓強控制,也可用作低真空測量的副標準。

真空的定義與分級真空是指壓力低于標準大氣壓的氣體狀態,根據壓力范圍分為低真空(103~1Pa)、中真空(1~10?1Pa)、高真空(10?1~10??Pa)和超高真空(<10??Pa)。低真空常用于吸塵器,高真空用于電子顯微鏡。真空分級依據氣體分子平均自由程,超高真空中分子自由程可達數千米,幾乎無碰撞。國際標準ISO3529定義了真空等級及其應用場景。托里拆利實驗與真空發現1643年,意大利科學家托里拆利通過**柱實驗***證實真空存在。他將裝滿**的玻璃管倒置,**柱降至約760mm高度,上方形成真空。這一實驗不僅證明了大氣壓力,還為氣壓計發明奠定基礎。該實驗顯示自然厭惡真空("horrorvacui")的亞里士多德理論錯誤,開創了真空科學研究。皮拉尼真空計如何校準?

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(1)利用氣體熱學特征類真空計通過測量氣體分子在真空中的運動狀態或動力學效應來推算真空度,典型**有皮拉尼(Pirani)電阻規和熱電偶規。a)皮拉尼電阻規利用熱絲在真空中的熱傳導效應來測量真空度。當真空度發生變化時,熱絲的熱傳導性能會受到影響,進而導致電阻發生變化。通過測量電阻的變化,可以推算出真空度的數值。皮拉尼電阻規具有靈敏度高、測量范圍寬等特點。b)熱電偶規利用熱電效應進行真空度測量的儀器,其**原理在于熱電偶的溫差電勢與周圍氣體壓力的關系。隨著真空度的變化,熱電偶的溫差電勢也會相應改變,從而提供關于真空度的信息。熱電偶規具有結構簡單、操作便捷等特點。皮拉尼真空計是一種用于測量真空壓力的儀器。天津真空計公司

電容真空計的測量精度受哪些因素影響?浙江陶瓷真空計設備公司

真空計的安裝誤差安裝位置不當導致誤差:①管路流導限制(需短而粗的連接管);②溫度梯度(避免熱源附近);③振動(機械泵需隔振);④方向性(某些薄膜規需水平安裝)。規范要求測量點盡量靠近真空腔體,必要時使用差分測量消除管路效應。電離規安裝角度應避免顆粒落入燈絲區域。10.真空計的氣體種類影響不同氣體熱導率/電離效率差異***:皮拉尼計對H?的靈敏度是N?的7倍;電離規對Ar的靈敏度比He高30倍。實際應用中需輸入氣體修正因子(如SEMI標準E12-0305提供常見氣體系數)。混合氣體需質譜儀輔助分析,否則可能導致>50%的測量偏差。浙江陶瓷真空計設備公司

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