（1）利用氣體熱學(xué)特征類真空計通過測量氣體分子在真空中的運動狀態(tài)或動力學(xué)效應(yīng)來推算真空度，典型**有皮拉尼（Pirani）電阻規(guī)和熱電偶規(guī)。a）皮拉尼電阻規(guī)利用熱絲在真空中的熱傳導(dǎo)效應(yīng)來測量真空度。當(dāng)真空度發(fā)生變化時，熱絲的熱傳導(dǎo)性能會受到影響，進(jìn)而導(dǎo)致電阻發(fā)生變化。通過測量電阻的變化，可以推算出真空度的數(shù)值。皮拉尼電阻規(guī)具有靈敏度高、測量范圍寬等特點。b）熱電偶規(guī)利用熱電效應(yīng)進(jìn)行真空度測量的儀器，其**原理在于熱電偶的溫差電勢與周圍氣體壓力的關(guān)系。隨著真空度的變化，熱電偶的溫差電勢也會相應(yīng)改變，從而提供關(guān)于真空度的信息。熱電偶規(guī)具有結(jié)構(gòu)簡單、操作便捷等特點。真空測量的特點有哪些？溫州高質(zhì)量真空計原廠家

真空計與氣體脫附效應(yīng)材料放氣（如橡膠釋出H?O）會導(dǎo)致測量值虛高。解決措施：① 選用低放氣材料（Viton替代橡膠）；② 烘烤（150℃可加速脫附）；③ 分離測量（將規(guī)管安裝在抽氣口遠(yuǎn)端）。超高真空系統(tǒng)放氣率需<10?1? Pa·m3/s·cm2。18. 真空計的電磁兼容性電離規(guī)的高壓電源（2 kV）可能輻射EMI，需屏蔽層≥60 dB。MEMS規(guī)對RF場敏感，5 GHz Wi-Fi可能導(dǎo)致±5%讀數(shù)偏移。航天級真空計需通過MIL-STD-461G標(biāo)準(zhǔn)測試。

測量兩個腔室壓差，量程1~10?? Pa，精度±0.1%。應(yīng)用包括檢漏儀（氦質(zhì)譜儀參考端壓力監(jiān)控）和分子泵前級壓力控制。硅諧振式傳感器（如橫河EJA系列）溫度穩(wěn)定性達(dá)±0.1%FS/年。 杭州金屬電容薄膜真空計如何定制不同企業(yè)使用的真空計類型？

辰儀金屬電容真空計是完全對標(biāo)MKS的金屬電容真空計而開發(fā)的一款金屬膜片真空計，已實現(xiàn)全系列部件國產(chǎn)化，產(chǎn)品測量精度接近MKS金屬電容真空計。辰儀金屬電容真空計已中芯國際等國內(nèi)FAB廠上機測試，填補了MKS對國內(nèi)斷供的影響。辰儀金屬電容真空計是完全對標(biāo)MKS的金屬電容真空計而開發(fā)的一款金屬膜片真空計，已實現(xiàn)全系列部件國產(chǎn)化，產(chǎn)品測量精度接近MKS金屬電容真空計。辰儀金屬電容真空計已中芯國際等國內(nèi)FAB廠上機測試，填補了MKS對國內(nèi)斷供的影響。

四極質(zhì)譜儀（殘余氣體分析儀）通過質(zhì)荷比（m/z）分析氣體成分，結(jié)合離子流強度定量分壓。質(zhì)量范圍1~300amu，檢測限10?12Pa。需配合電離規(guī)使用，用于真空系統(tǒng)污染診斷（如檢出H?O峰提示漏氣）。動態(tài)模式可實時監(jiān)控工藝氣體（如半導(dǎo)體刻蝕中的CF?），校準(zhǔn)需使用NIST標(biāo)準(zhǔn)氣體。8.真空計的校準(zhǔn)方法分直接比較法（與標(biāo)準(zhǔn)規(guī)并聯(lián)）和間接法（靜態(tài)膨脹法、流量法）。國家計量院采用二級標(biāo)準(zhǔn)膨脹系統(tǒng)，不確定度<0.5%。現(xiàn)場校準(zhǔn)常用便攜式校準(zhǔn)器（如壓強生成器），覆蓋1~10??Pa。溫度、振動和氣體吸附效應(yīng)是主要誤差源，校準(zhǔn)周期建議12個月。ISO3567規(guī)定校準(zhǔn)需在恒溫（23±1℃）無塵環(huán)境下進(jìn)行。真空計使用過程中常見的問題有哪些？

熱傳導(dǎo)真空計：利用氣體在不同壓強下熱傳導(dǎo)能力隨之變化的原理測量氣體壓強。在這類真空計中，以一定加熱電流通過裝有熱絲的規(guī)頭，熱絲的溫度決定于加熱和散熱之間的平衡。散熱能力是氣體壓強的函數(shù)，故熱絲的溫度隨壓強而變化。熱傳導(dǎo)真空計主要用于100~10^-1帕范圍，采取特殊措施可擴大測量范圍。不過，熱傳導(dǎo)真空計的指示不但和氣體種類有關(guān)，而且易受熱絲表面污染、環(huán)境溫度等因素影響，故準(zhǔn)確度不高，只作粗略的真空指示用。粘滯真空計：利用在真空中轉(zhuǎn)動或振動的物體受氣體分子阻尼作用而發(fā)生運動衰減的現(xiàn)象來測量氣體壓強。氣體分子的阻尼力與壓強有關(guān)。實際使用的粘滯真空計主要有磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計和振膜真空計。磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計利用可控磁場把不銹鋼球懸浮在真空中，用旋轉(zhuǎn)磁場把鋼球加速到400轉(zhuǎn)/秒，然后停止加速，任其自然衰減，用電子學(xué)方法精確測量其轉(zhuǎn)速衰減率，從而確定壓強。這種真空計具有很高的測量精度，吸氣、放氣速率小，壓強指示受氣體種類影響小，如鋼球表面鍍金則可在較惡劣的氣氛下工作。然而這種真空計在高真空端的讀數(shù)受振動影響較大，測量時間也較長。因此，它可作為1~10^-4帕范圍內(nèi)的副標(biāo)準(zhǔn)真空計或用作標(biāo)準(zhǔn)傳遞真空計。真空計按原理如何分類？四川陶瓷真空計多少錢

皮拉尼真空計的測量范圍取決于所使用的具體型號和規(guī)格。溫州高質(zhì)量真空計原廠家

電容薄膜真空計：屬彈性元件真空計，其結(jié)構(gòu)和電路原理是一彈性薄膜將規(guī)管真空室分為兩個小室，即參考壓強室和測量室。測量低壓強（P<100帕）時，參考室抽至高真空，其壓強近似為零。當(dāng)測量室壓強不同時，薄膜變形的程度也不同。在測量室中有一固定電極，它與薄膜形成一個電容器。薄膜變形時電容值相應(yīng)改變，通過電容電橋可測量電容的變化從而確定相應(yīng)壓強值。電容薄膜真空計可直接測量氣體或蒸氣的壓強，測量值與氣體種類無關(guān)、結(jié)構(gòu)牢固、可經(jīng)受烘烤，如對不同壓強范圍采用不同規(guī)頭，可得到較高精度。它可用于高純氣體監(jiān)測、低真空精密測量和壓強控制，也可用作低真空測量的副標(biāo)準(zhǔn)。溫州高質(zhì)量真空計原廠家