真空計與氣體脫附效應材料放氣（如橡膠釋出H?O）會導致測量值虛高。解決措施：① 選用低放氣材料（Viton替代橡膠）；② 烘烤（150℃可加速脫附）；③ 分離測量（將規管安裝在抽氣口遠端）。超高真空系統放氣率需<10?1? Pa·m3/s·cm2。18. 真空計的電磁兼容性電離規的高壓電源（2 kV）可能輻射EMI，需屏蔽層≥60 dB。MEMS規對RF場敏感，5 GHz Wi-Fi可能導致±5%讀數偏移。航天級真空計需通過MIL-STD-461G標準測試。

測量兩個腔室壓差，量程1~10?? Pa，精度±0.1%。應用包括檢漏儀（氦質譜儀參考端壓力監控）和分子泵前級壓力控制。硅諧振式傳感器（如橫河EJA系列）溫度穩定性達±0.1%FS/年。 電容真空計有哪些優點？廣東mems電容真空計設備廠家

真空計的基本分類真空計按測量原理分為***真空計（直接測量壓力）和相對真空計（需校準）。主要類型包括機械式（如波登管）、熱傳導式（皮拉尼計）、電離式（熱陰極/冷陰極）、電容式（MEMS）等。選擇時需考慮量程（如皮拉尼計適用于1Pa~10??Pa）、精度（±1%~±15%）、氣體類型兼容性（惰性氣體需特殊校準）及環境振動影響。國際標準ISO3567定義了真空計的性能測試方法。

皮拉尼計（熱傳導真空計）基于氣體熱傳導率隨壓力變化的原理，通過加熱電阻絲（通常為鎢或鉑）測量其溫度變化。低壓下氣體分子少，熱導率降低，電阻絲溫度升高導致電阻變化。量程通常為1000 Pa~10?1 Pa，精度±10%。需注意氣體種類影響（氫氣熱導率高，讀數偏低），且長期使用可能因污染導致零點漂移。現代皮拉尼計集成溫度補償算法，穩定性可達±1%/年。3. 熱陰極電離真空計（Bay 蘇州mems皮拉尼真空計原廠家真空計的讀數通常是不變的，這是因為它們通常使用一個固定的參考壓力來校準儀器。

辰儀金屬電容真空計是完全對標MKS的金屬電容真空計而開發的一款金屬膜片真空計，已實現全系列部件國產化，產品測量精度接近MKS金屬電容真空計。辰儀金屬電容真空計已中芯國際等國內FAB廠上機測試，填補了MKS對國內斷供的影響。辰儀金屬電容真空計是完全對標MKS的金屬電容真空計而開發的一款金屬膜片真空計，已實現全系列部件國產化，產品測量精度接近MKS金屬電容真空計。辰儀金屬電容真空計已中芯國際等國內FAB廠上機測試，填補了MKS對國內斷供的影響。

真空計用于測量真空系統中的壓力，使用方法如下：1. 選擇合適類型根據測量需求選擇合適的真空計類型，常見的有：熱偶真空計：適用于低真空（1 Pa - 1000 Pa）。電離真空計：適用于高真空（10^-3 Pa - 10^-8 Pa）。皮拉尼真空計：適用于中真空（0.1 Pa - 1000 Pa）。電容薄膜真空計：適用于寬范圍（10^-4 Pa - 1000 Pa）。2. 安裝位置選擇：安裝在真空系統靠近測量點的位置，避免氣流或溫度波動影響。連接方式：確保接口密封良好，通常使用法蘭或螺紋連接。3. 校準校準步驟：使用標準真空源或校準設備，按說明書進行校準。校準頻率：定期校準，確保測量精度。4. 操作啟動：接通電源，預熱（如有需要）。讀數：待讀數穩定后記錄壓力值。調整：根據測量結果調整真空系統。5. 維護清潔：定期清潔傳感器，避免污染。檢查：檢查密封性和電氣連接，確保正常工作。更換：傳感器老化或損壞時及時更換。6. 注意事項量程：避免超出量程使用，防止損壞。環境：避免在腐蝕性、高溫或高濕環境中使用。安全：操作時注意安全，避免高壓或真空泄漏風險。7. 故障處理無讀數：檢查電源和連接。讀數不穩：檢查密封性和傳感器狀態。誤差大：重新校準或更換傳感器。電容真空計通常適用于中低真空范圍的測量，如從大氣壓到幾千帕甚至更低。

選擇適合的真空計對確保測量精度和系統穩定運行至關重要。以下是選擇真空計時需要考慮的關鍵因素：1. 測量范圍真空度需求：根據應用需求選擇適合的測量范圍，如低真空、中真空、高真空或超高真空。量程匹配：確保真空計的量程覆蓋所需測量范圍。2. 精度與分辨率精度要求：選擇滿足精度要求的真空計，高精度應用需選擇高精度型號。分辨率：確保分辨率足夠高，能檢測到微小壓力變化。3. 響應時間快速響應：對壓力變化敏感的應用需選擇響應時間短的真空計。穩定性：在快速變化環境中，選擇穩定性好的真空計。4. 環境適應性溫度范圍：確保真空計能在工作溫度范圍內正常運行。耐腐蝕性：在腐蝕性氣體環境中，選擇耐腐蝕材料制成的真空計。5. 氣體類型氣體種類：不同氣體對真空計測量有影響，選擇適合測量特定氣體的真空計。氣體清潔度：在污染氣體環境中，選擇不易受污染的真空計。皮拉尼真空計是一種測量真空壓力的儀器，它是根據皮拉尼原理制成的。蘇州mems皮拉尼真空計原廠家

電容真空計與熱傳導式真空計在測量原理上有所不同。廣東mems電容真空計設備廠家

8. 復合真空計復合真空計結合多種測量技術，適用于從粗真空到超高真空的范圍。原理：通常結合皮拉尼真空計和電離真空計。測量范圍：10?1? Torr 到 1000 Torr。優點：測量范圍廣，適用性強。缺點：成本較高。應用：多功能真空系統。9. 其他真空計（1）放射性電離真空計原理：利用放射性物質電離氣體分子測量壓力。測量范圍：10?? Torr 到 10?3 Torr。優點：無需電源，穩定性好。缺點：放射性物質存在安全隱患。應用：特殊環境真空測量。（2）聲波真空計原理：通過聲波傳播速度變化測量壓力。測量范圍：10?? Torr 到 1000 Torr。優點：非接觸式測量。缺點：精度較低。應用：特定工業應用。廣東mems電容真空計設備廠家