本發(fā)明針對現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供了一種晶圓搬運機械手，本發(fā)明的機械手在傳送過程中晶片中心始終保證直線運動，且角度不會發(fā)生改變。從而提高機械手整體剛度和承重能力，同時提高了重復(fù)定位精度。本發(fā)明結(jié)構(gòu)合理性能穩(wěn)定，維護(hù)方便，多功能集一身，可滿足多種工藝設(shè)備要求，適用于各種半導(dǎo)體設(shè)備。

為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明通過下述技術(shù)方案得以解決：一種晶圓搬運機械手，包括升降軸、旋轉(zhuǎn)軸和伸展軸，其特征為，所述的伸展軸包括伸展電機、一級伸展臂、二級伸展臂和手指固定座，所述的一級伸展臂與所述伸展電機之間設(shè)置有一級關(guān)節(jié)，所述的一級伸展臂與所述的二級伸展臂之間設(shè)置有二級關(guān)節(jié)，所述的二級伸展臂和所述的手指固定座之間設(shè)置有三級關(guān)節(jié)，所述的伸展電機、所述的一級關(guān)節(jié)、所述的二級關(guān)節(jié)和所述的三級關(guān)節(jié)依次傳動，所述的手指固定座始終保持直線運動。

對于粉塵作業(yè)的機械手還要添裝防塵設(shè)施。廣州晶圓運送機械吸臂市場報價

接下來是單晶硅生長，**常用的方法叫直拉法（CZ法）。如下圖所示，高純度的多晶硅放在石英坩堝中，并用外面圍繞著的石墨加熱器不斷加熱，溫度維持在大約1400 ℃，爐中的氣體通常是惰性氣體，使多晶硅熔化，同時又不會產(chǎn)生不需要的化學(xué)反應(yīng)。為了形成單晶硅，還需要控制晶體的方向：坩堝帶著多晶硅熔化物在旋轉(zhuǎn)，把一顆籽晶浸入其中，并且由拉制棒帶著籽晶作反方向旋轉(zhuǎn)，同時慢慢地、垂直地由硅熔化物中向上拉出。熔化的多晶硅會粘在籽晶的底端，按籽晶晶格排列的方向不斷地生長上去。因此所生長的晶體的方向性是由籽晶所決定的，在其被拉出和冷卻后就生長成了與籽晶內(nèi)部晶格方向相同的單晶硅棒。廣州晶圓運送機械吸臂市場報價合理選擇機械手的坐標(biāo)形式。直角坐標(biāo)式機械手的位置精度較高，其結(jié)構(gòu)和運動都比較簡單、誤差也小。

沖床行業(yè)機械臂又名沖床行業(yè)機械手、沖床沖壓機械手，它是用于沖床行業(yè)專門用的機械臂，沖床沖壓機械手能按照預(yù)選程序自動完成幾個規(guī)定的動作，實現(xiàn)物體的自動夾取和運送。在沖壓生產(chǎn)中，它不僅用于一臺壓力機上完成上下料工作，實現(xiàn)單機自動化，也可以用在由若干臺壓力機組成的流水生產(chǎn)線上，實現(xiàn)各壓力機之間工件的自動傳遞，形成自動沖壓生產(chǎn)線。由于機械手能方便地改變工作程序，因而在經(jīng)常變換產(chǎn)品品種的中小件沖壓生產(chǎn)中，對于實現(xiàn)生產(chǎn)自動化更具有重要意義。沖床沖壓機械手由執(zhí)行機構(gòu)、驅(qū)動機構(gòu)和電氣控制系統(tǒng)等組成。

2．噴涂機械臂 這種機械臂多用于噴漆生產(chǎn)線上，重復(fù)位姿精度要求不高。但由于漆霧易燃，一般采用液壓驅(qū)動或交流伺服電機驅(qū)動。3．焊接機械臂 這是目前使用**多的一類機械臂，它又可分為點焊和弧焊兩類。點焊機械臂負(fù)荷大基本介紹當(dāng)提到機械人時，許多人會想到有手，有腳的人型機械.不過， 這類機械人往往出現(xiàn)在科幻電影，***所，展覽會和玩具店中，它們與工業(yè)用的機械人大不相同. 工業(yè)機械人（Industrial Robots）簡稱為IR，它們大多為簡單的操作設(shè)備，有時會被稱為機械臂，例如：進(jìn)行簡單的提起或放下動作，在機器內(nèi)放入或取出工件等.不過，亦有不少工業(yè)機械人可以完全用程式控制，并可進(jìn)行不同類型工作，手臂由靜止?fàn)顟B(tài)達(dá)到正常的運動速度為啟動，由常速減到停止不動為制動，速度的變化過程為速度特性曲線。

對于晶圓狀態(tài)的檢測，主要包括晶圓的存在檢測、位置偏差檢測和表面質(zhì)量檢測等。通過光電傳感器或電容傳感器可以快速檢測晶圓是否正確放置在吸臂上，以及在搬運過程中是否發(fā)生位移。表面質(zhì)量檢測傳感器則可以實時監(jiān)測晶圓表面是否有劃痕、顆粒污染等缺陷，一旦發(fā)現(xiàn)異常情況，及時發(fā)出警報并采取相應(yīng)措施，以保證晶圓的質(zhì)量不受影響。基于這些豐富的傳感器數(shù)據(jù)，控制系統(tǒng)可以對機械吸臂進(jìn)行精確的控制?？刂葡到y(tǒng)采用先進(jìn)的算法和控制器，如PID控制算法、模糊控制算法等，根據(jù)傳感器反饋的信息實時調(diào)整吸臂的運動速度、加速度和力量，確保晶圓在搬運過程中的平穩(wěn)性和準(zhǔn)確性。同時，控制系統(tǒng)還具備與其他半導(dǎo)體制造設(shè)備的通信接口，能夠?qū)崿F(xiàn)協(xié)同工作和自動化生產(chǎn)流程的無縫對接。例如，在晶圓送入光刻機進(jìn)行曝光工藝時，機械吸臂可以與光刻機的控制系統(tǒng)進(jìn)行通信，按照預(yù)定的程序和時間節(jié)點將晶圓準(zhǔn)確地放置在光刻機的工作臺上，并在曝光完成后將晶圓安全取出，整個過程高度自動化且精確無誤。簡單的搬運與碼垛，根本無法稱之為智能制造。廣州晶圓運送機械吸臂市場報價

機械手臂是機械人技術(shù)領(lǐng)域中得到*****實際應(yīng)用的自動化機械裝置.廣州晶圓運送機械吸臂市場報價

晶圓運送機械吸臂廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造過程中的各個環(huán)節(jié)，如薄膜沉積、光刻、蝕刻、清洗、檢測等。具體應(yīng)用舉例如下：

薄膜沉積：在薄膜沉積設(shè)備中，晶圓運送機械吸臂負(fù)責(zé)將晶圓從裝載室傳送至沉積室，以及在沉積完成后將晶圓送回裝載室。

光刻：在光刻設(shè)備中，吸臂需將晶圓精確傳送至光刻機工作臺，確保晶圓在曝光過程中的穩(wěn)定性和精度。

蝕刻：在蝕刻設(shè)備中，晶圓運送機械吸臂需將晶圓傳送至蝕刻室，并在蝕刻完成后將其送回清洗設(shè)備。

清洗和干燥：在清洗和干燥設(shè)備中，吸臂負(fù)責(zé)將晶圓傳送至清洗槽，以及在清洗和干燥完成后將其送回下一工藝環(huán)節(jié)。

檢測：在檢測設(shè)備中，晶圓運送機械吸臂需將晶圓傳送至檢測臺，確保檢測過程中的穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性。 廣州晶圓運送機械吸臂市場報價

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