輸送半導體晶圓的機械手通常具有兩個以上的自由度。這種機械手典型地由兩個連桿和手部構成。在本說明書中，將兩個連桿稱作上臂連桿和前臂連桿。典型地，上臂連桿的一端連結于電機的輸出軸，上臂連桿的另一端連結于前臂連桿的一端。而且，前臂連桿的另一端連結于手部。上臂連桿和前臂連桿經由關節而連結。前臂連桿和手部也經由關節而連結。在各個關節處安裝有軸承，以便使連桿順暢地旋轉。在輸送半導體晶圓的機械手中，為了不污染傳送室內而屏蔽（shield）安裝于關節的軸承。有X移動，Y移動，Z移動，X轉動，Y轉動，Z轉動六個自由度組成。上海直銷晶圓運送機械吸臂廠家報價

多功能一體化機械臂，包括機械臂主體，所述機械臂主體由設置在該機械臂主體底部的底座、設置在底座頂部的后臂及設置在后臂頂部的前臂構成的，該種多功能一體化機械臂，改進了原有產品的缺點，本實用新型多功能一體化機械臂具有成本費用較低、占地面積較小和驅動充足的特點，本機械臂*由底座、前臂和后臂構成的，實現了占地面積小的特點，且在生產過程中由于體積較小，廠家生產成本費較低，同時工人在使用時，移動較為方便，設有的安全離合器、液壓器和液壓室，實現了本新型機械臂驅動充足的特點，在使用過程中完全依靠程序芯片控制，液壓器液壓精細不會江蘇新款晶圓運送機械吸臂廠家報價該機械臂由用戶的頭腦完全控制，靈巧到足以拿起一個玻璃杯，在沒有其他人幫助的情況下喝掉一杯飲料。

受歐美股指隔夜再度全線殺跌的影響，兩市**小幅低開，低開后的市場在抄底盤和北上資金的推動下震蕩走高，早間收盤全線收漲，午后在科技板塊的帶動下市場繼續震蕩走高，**終兩市**以中陽報收。

昨天談到農業、大消費和科技股目前呈現出蹺蹺板的態勢，果不其然***出現了此消彼長的情形。

盤面上看，市場***科技股再度走強，以大基金持有的科技股繼續**著相關題材概念和板塊進行做多，北上資金***依舊大幅凈流入，市場短期做多的因素和動能正在疊加。

盤后出了條消息，“中方不會坐視不理美科技霸凌主義”，先機哥由此猜測市場短期的反彈將還是延著科技股這條主線，畢竟帶動市場人氣方面沒有哪個板塊比科技股更適合。

昨晚提醒大家關注的科遠智慧，***低開高走收大陽，開盤后水下潛入的朋友也有7個點的收獲，該股短期有望突破創新高。

本發明針對現有技術中的不足，提供了一種晶圓搬運機械手，本發明的機械手在傳送過程中晶片中心始終保證直線運動，且角度不會發生改變。從而提高機械手整體剛度和承重能力，同時提高了重復定位精度。本發明結構合理性能穩定，維護方便，多功能集一身，可滿足多種工藝設備要求，適用于各種半導體設備。

為了解決上述技術問題，本發明通過下述技術方案得以解決：一種晶圓搬運機械手，包括升降軸、旋轉軸和伸展軸，其特征為，所述的伸展軸包括伸展電機、一級伸展臂、二級伸展臂和手指固定座，所述的一級伸展臂與所述伸展電機之間設置有一級關節，所述的一級伸展臂與所述的二級伸展臂之間設置有二級關節，所述的二級伸展臂和所述的手指固定座之間設置有三級關節，所述的伸展電機、所述的一級關節、所述的二級關節和所述的三級關節依次傳動，所述的手指固定座始終保持直線運動。

所述鋁合金平板下表面通過金屬箔片密封其真空腔體。

一種用于傳送晶圓的真空吸附機械手，其特征在于，包括：手臂；固定在所述手臂上的吸附絕緣凸臺；設置在所述手臂和吸附絕緣凸臺內的真空氣道；所述吸附絕緣凸臺呈環形，所述吸附絕緣凸臺所圍成的空間構成所述真空氣道的其中一段；位于所述吸附絕緣凸臺內的偽絕緣凸臺，所述偽絕緣凸臺與手臂一體成型，所述真空氣道的其中一段位于所述偽絕緣凸臺內；在垂直于所述手臂的方向上，所述吸附絕緣凸臺比所述偽絕緣凸臺突出；所述吸附絕緣凸臺用于吸附待傳送晶圓的背面，所述吸附絕緣凸臺的硬度小于所述待傳送晶圓的背面的硬度。直角坐標系機械手臂有三個主自由度。揭陽銷售晶圓運送機械吸臂新報價

科學家已經研制出了橡膠機器手臂，可以抓起螞蟻而不是捏死。上海直銷晶圓運送機械吸臂廠家報價

可用于300mm半導體晶圓搬送的5軸水平多關節潔凈機械手臂GTCR5000系列。

單臂雙手指結構能夠實現和雙臂結構同樣的功能。

適用于300mm半導體生產設備內部，檢測設備等的晶圓搬運。

機械手臂標準臂長: 210mm, 280mm機械手臂可以單獨對應2個FOUP（210mm臂長）

或者3個FOUP（280mm臂長）雙手指結構能夠縮短更換晶圓時的手臂動作時間適應設備需求可以選擇底座固定方式，或者法蘭固定方式配備動作監視器控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式全軸采用絕對值編碼器規格的AC伺服電機通過S曲線加減速控制方式以及對運動軌跡的優化

能夠高速，高精度地搬運半導體晶圓晶圓固定方式：真空吸附式，下托式，邊緣夾持式，伯努利非接觸式手指材質：CFRP(碳纖維),鋁合金，高純度陶瓷等多種可選材質 上海直銷晶圓運送機械吸臂廠家報價

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