一種晶圓傳輸裝置及其真空吸附機械手，該真空吸附機械手包括：手臂；固定在所述手臂上的吸附絕緣凸臺；設置在所述手臂和吸附絕緣凸臺內的真空氣道；所述吸附絕緣凸臺用于吸附待傳送晶圓的背面，所述吸附絕緣凸臺的硬度小于所述待傳送晶圓的背面的硬度。由于吸附絕緣凸臺的硬度小于待傳送晶圓的背面的硬度，故利用真空吸附機械手將晶圓傳送至所需位置之后，晶圓的背面中與真空吸附機械手接觸的位置不會形成印記，提高了晶圓的合格率。通用性強，能適應多種作業；工藝性好，便于維修調整。圖為單軸機械手臂。單軸機械手臂的組件化**降低了工業設計的成本.肇慶直銷晶圓運送機械吸臂價位

機械臂的工作原理：

一般機構可由電力、液壓、氣動、人力驅動。機構有螺紋頂緊機構（如臺虎鉗）、斜鍥壓緊、

導桿滑塊機構（破碎機常用）、利用重力的自鎖機構（如抓磚頭的）等等。還有簡單的：如可用氣（液壓）缸直接夾緊的。如果是小物品，可直接購買FESTO等公司的氣動手指。

底座是用來安裝和固定機器的。

油箱是裝潤滑油或液壓油循環的。

升降位置檢測器，要么是確定物體或機器部件是否位于某幾個預定高度位置，要么是實時檢測其高度的。

手臂回轉升降機構就是機械臂在升降的同時也可以旋轉的。

手臂伸縮機構是機械臂伸出和縮回的伸縮位置檢測器作用基本等同于升降位置檢測器，只是測量對象換了。

機械手是能模仿人手和臂的某些動作功能，用以按固定程序抓取、搬運物件或操作工具的自動操作裝置。 徐匯區庫存晶圓運送機械吸臂哪個牌子好注塑行業機械臂常稱為注塑機機械手、塑料機機械手。

使用匯編語言編寫計算機程序，程序員仍然需要十分熟悉計算機系統的硬件結構，所以從程序設計本身上來看仍然是低效率的、煩瑣的。但正是由于匯編語言與計算機硬件系統關系密切，在某些特定的場合，如對時空效率要求很高的系統**程序以及實時控制程序等，迄今為止匯編語言仍然是十分有效的程序設計工具。工業機械臂目前還沒有統一的分類標準。根據不同的要求可進行不同的分類。一、按驅動方式分1．液壓式 液壓驅動機械臂通常由液動機（各種油缸、油馬達）、伺服閥、油泵、油箱等組成驅動系統，由驅動機械臂的執行機構進行工作。通常它具有很大的抓舉能力（高達幾百公斤以上），其特點是結構緊湊，動 作平穩，耐沖擊，耐振動，防爆性好，但液壓元件要求有較高的制造精度和密封性能，否則漏油將污染環境。2．氣動式 其驅動系統通常由氣缸、氣閥、氣罐和空壓機組成，其特點是氣源方便，動作迅速、結構簡單、造價較低、維修方便。但難以進行速度控制，氣壓不可太高，故抓舉能力較低。

本發明針對現有技術中的不足，提供了一種晶圓搬運機械手，本發明的機械手在傳送過程中晶片中心始終保證直線運動，且角度不會發生改變。從而提高機械手整體剛度和承重能力，同時提高了重復定位精度。本發明結構合理性能穩定，維護方便，多功能集一身，可滿足多種工藝設備要求，適用于各種半導體設備。

為了解決上述技術問題，本發明通過下述技術方案得以解決：一種晶圓搬運機械手，包括升降軸、旋轉軸和伸展軸，其特征為，所述的伸展軸包括伸展電機、一級伸展臂、二級伸展臂和手指固定座，所述的一級伸展臂與所述伸展電機之間設置有一級關節，所述的一級伸展臂與所述的二級伸展臂之間設置有二級關節，所述的二級伸展臂和所述的手指固定座之間設置有三級關節，所述的伸展電機、所述的一級關節、所述的二級關節和所述的三級關節依次傳動，所述的手指固定座始終保持直線運動。

手臂。起著連接和承受外力的作用。

    區熔法分為兩種：水平區熔法和立式懸浮區熔法。前者主要用于鍺、GaAs等材料的提純和單晶生長；后者主要用于硅。為什么有橫著和豎著長的不同捏？這是由于硅的熔點高，化學性能活潑，容易受到異物的玷污，所以難以找到適合的器皿來盛方，自然水平區熔法不能用在硅的生長上啦。區熔法與直拉法比較大的不同之處在于：區熔法一般不使用坩鍋，引入的雜質更少，生長的材料雜質含量也就更少。總而言之，單晶硅棒是圓柱形的，使用這種方法得到的單晶硅圓片自然也是圓形的了。就是下圖這個樣的——知道是兩頭的尖尖是如何造成的嗎？Bingo，圖左的尖尖是籽晶，圖右的尖尖是晶棒長到***，從熔融態里出來后，由于復雜的流體力學原理，以及熔融態的硅迅速凝固而導致的。 直角坐標系機械手臂有三個主自由度。靜安區銷售晶圓運送機械吸臂代理

對了懸臂式的機械手，還要考慮零件在手臂上布置。肇慶直銷晶圓運送機械吸臂價位

電動式 電力驅動是目前機械臂使用得**多的一種驅動方式。其特點是電源方便，響應快，驅動力較大（關節型的持重已達400公斤），信號檢測、傳遞、處理方便，并可以采用多種靈活的控制方案。驅動電機一般采用步進電機，直流伺服電機以及交流伺服電機（其中交流伺服電機為目前主要的驅動形式）。由于電機速度高，通常采用減速機構（如諧波傳動、RV擺線針輪傳動、齒輪傳動、螺旋行動和多桿式機構等）。目前，有些機械臂已開始采用無減速機構的大轉矩、低轉速的電機進行直接驅動（DD），這既可以使機構簡化，又可提高控制精度。二、按用途分⒈搬運機械臂 這種機械臂用途很廣，一般只需點位控制。即被搬運零件無嚴格的運動軌跡要求，只要求始點和終點位姿準確。如機床上用的上下料器人，工件堆垛機械臂，注塑機配套用的機械等。肇慶直銷晶圓運送機械吸臂價位

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