出了通用二自由度空間模塊(TODOM)的概念,并以通用TODOM作為空間機械臂的構造模塊。TO-DOM由兩個旋轉(zhuǎn)模塊及一個連接模塊共三個基本模塊組成。根據(jù)空間機械臂的具體構型需要,將TODOM的三個基本模塊之間的機械接口進行專門設計,即可配置成確定構型的二自由度關節(jié)。由這樣數(shù)個不同構型的二自由度關節(jié)可以組裝出具有偶數(shù)個自由度的空間機器臂。采用一體化概念設計的TODOM減小了關節(jié)的質(zhì)量與體積,提高了系統(tǒng)的可靠性。通過對由TODOM構成的一套二自由度關節(jié)進行的試驗初步驗證了TODOM設計概念的合理性及可行性。對于工業(yè)應用來說，有時并不需要機械手臂具有完整的六個自由度.長寧區(qū)新款晶圓運送機械吸臂哪里好

中國擁有龐大的制造業(yè)，是世界弟一工業(yè)機器人市場，有著1000多家與工業(yè)機器人相關的企業(yè)。但是現(xiàn)階段中國在機械臂制造領域處于大而不強的狀態(tài)。擁有自主品牌的工業(yè)機械臂的數(shù)量和市場占有份額偏低。現(xiàn)在國內(nèi)很多機器人企業(yè)有很多都不是在真心實意地在做技術，很多都是跟著國家提出的中國未來制造的政策與支持來進行獲利的。而且很多符合精度要求的關鍵零部件很大程度上依賴于進口。所以，中國的機械臂在技術方面遠遠落后于國外，占有的只是低端市場的份額。不過，在非民用機器人與航天機械臂領域，中國的技術也不遜色于美國。所以說只要經(jīng)過技術的積累，中國的機械臂技術也會不比國外的差多少。 長寧區(qū)新款晶圓運送機械吸臂哪里好盡管它們的形態(tài)各有不同，但它們都有一個共同的特點，就是能夠接受指令.

背景技術：

晶圓的生產(chǎn)與制作屬極為精密的加工技術，其通常需借助晶圓傳輸裝置來進行運輸傳遞等作業(yè)。例如，準備對晶圓進行刻蝕加工時，需要利用晶圓傳輸裝置將晶舟內(nèi)的待刻蝕晶圓傳輸至刻蝕機臺內(nèi)。

現(xiàn)有一種晶圓傳輸裝置包括機械手臂，該機械手臂的表面設有卡槽，晶圓用于放置在該卡槽內(nèi)，以防止機械手臂在傳送晶圓時發(fā)生晶圓平移(即晶圓相對機械手臂運動)。然而，現(xiàn)有機械手臂易出現(xiàn)碰撞損傷，另外，機械手臂的傳送晶圓效率較低，影響了生產(chǎn)效率。

輸送半導體晶圓的機械手通常具有兩個以上的自由度。這種機械手典型地由兩個連桿和手部構成。在本說明書中，將兩個連桿稱作上臂連桿和前臂連桿。典型地，上臂連桿的一端連結于電機的輸出軸，上臂連桿的另一端連結于前臂連桿的一端。而且，前臂連桿的另一端連結于手部。上臂連桿和前臂連桿經(jīng)由關節(jié)而連結。前臂連桿和手部也經(jīng)由關節(jié)而連結。在各個關節(jié)處安裝有軸承，以便使連桿順暢地旋轉(zhuǎn)。在輸送半導體晶圓的機械手中，為了不污染傳送室內(nèi)而屏蔽（shield）安裝于關節(jié)的軸承。工業(yè)機械臂距離高精度的智能制造還有很長一段路要走。

晶圓是指硅半導體集成電路制作所用的硅晶片，由于其形狀為圓形，故稱為晶圓；在硅晶片上可加工制作成各種電路元件結構，而成為有特定電性功能的集成電路產(chǎn)品。

晶圓的原始材料是硅，而地殼表面有用之不竭的二氧化硅。二氧化硅礦石經(jīng)由電弧爐提煉，**化，并經(jīng)蒸餾后，制成了高純度的多晶硅，其純度高達99.9%。

晶圓是制造半導體芯片的基本材料，半導體集成電路**主要的原料是硅，因此對應的就是硅晶圓。 關節(jié)式機械手因其結構復雜。廣東官方晶圓運送機械吸臂價格便宜 機械手臂根據(jù)結構形式的不同分為多關節(jié)機械手臂.長寧區(qū)新款晶圓運送機械吸臂哪里好

對于半導體制造應用來說，常用的機械手臂是用來搬送晶片.長寧區(qū)新款晶圓運送機械吸臂哪里好

3) 加速度反饋控制。Khorrami FarShad 和Jain Sandeep研究了利用末端加速度反饋控制柔性機械臂的末端軌跡控制問題。4) 被動阻尼控制。為降低柔性體相對彈性變形的影響 選用各種耗能或儲能材料設計臂的結構以控制振動。 或者在柔性梁上采用阻尼減振器、阻尼材料、復合型阻尼金屬板、、阻尼合金或用粘彈性大阻尼材料形成附加阻尼結構均屬于被動阻尼控制。 近年來 粘彈性大阻尼材料用于柔性機械臂的振動控制已引起高度重視。RoSSi Mauro 和Wang David研究了柔性機器人的被動控制問題。5) 力反饋控制法。柔性機械臂振動的力反饋控制實際上是基于逆動力學分析的控制方法 即根據(jù)逆動力學分析 通過臂末端的給定運動求得施加于驅(qū)動端的力矩 并通過運動或力檢測對驅(qū)動力矩進行反饋補償。長寧區(qū)新款晶圓運送機械吸臂哪里好

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