邁克爾遜干涉儀（英文：Michelson interferometer）是光學干涉儀中最常見的一種，其發明者是美國物理學家阿爾伯特·亞伯拉罕·邁克爾遜。邁克耳遜干涉儀的原理是一束入射光經過分光鏡分為兩束后各自被對應的平面鏡反射回來，因為這兩束光頻率相同、振動方向相同且相位差恒定（即滿足干涉條件），所以能夠發生干涉。干涉中兩束光的不同光程可以通過調節干涉臂長度以及改變介質的折射率來實現，從而能夠形成不同的干涉圖樣。干涉條紋是等光程差的軌跡，因此，要分析某種干涉產生的圖樣，必需求出相干光的光程差位置分布的函數。測量精度不受空氣湍流的影響，無需預熱時間。吳江區銷售雙頻激光干涉儀產品介紹

激光干涉儀是一種高精度的測量工具，以下是對其的詳細介紹：一、定義與原理激光干涉儀是以激光波長為已知長度，利用邁克爾遜干涉系統測量位移的通用長度測量工具。其工作原理基于干涉原理，即當兩束波重疊并結合時，會產生新的波形模式。在激光干涉儀中，激光束被分為兩路，一路經固定反射鏡反射，另一路經可動反射鏡反射，兩束光重新匯合時產生干涉條紋。當可動反射鏡移動時，干涉條紋的光強變化被轉換為電信號，進而計算出位移量。吳江區銷售雙頻激光干涉儀產品介紹由于其高精度和高靈敏度，激光干涉儀在科學研究和工業應用中都具有重要的地位。

1. 同時測量線性定位誤差、直線度誤差（雙軸）、偏擺角、俯仰角和滾動角2. 設計用于安裝在機床主軸上的5D/6D傳感器3. 可選的無線遙控傳感器**長的控制距離可到25米4. 可測量速度、加速度、振動等參數，并評估機床動態特性5. 全套系統重量*15公斤，設計緊湊、體積小，測量機床時不需三角架6. 集成干涉鏡與激光器于一體，簡化了調整步驟，減少了調整時間7、激光干涉儀可以同時測量線性定位誤差、直線度誤差(雙軸)、偏擺角、俯仰角和滾動角等，以及測量速度、加速度、振動等參數，并評估機床動態特性等。

激光干涉測量儀是一種基于激光干涉原理的高精度計量儀器，廣泛應用于工程與技術科學領域 [1-2]。該儀器通過測量激光波長變化實現幾何量的檢測，具備抗干擾能力強、精度高等特點。主要應用場景包括數控機床校準、三坐標機校準、光學平臺校準等，通過與不同光學組件結合，可檢測線性位移、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等參數 [2]截至2020年11月，激光干涉測量儀的技術參數包括 [1]：標準量程：0-40米測量精度：±0.5 ppm分辨率：1納米比較大速率：240米/分鐘角度測量精度：0.2%激光干涉儀是一種利用激光干涉原理進行測量的精密儀器。

邁克爾遜干涉儀，是1881年美國物理學家邁克爾遜和莫雷合作，為研究“以太”漂移而設計制造出來的精密光學儀器。它是利用分振幅法產生雙光束以實現干涉。通過調整該干涉儀，可以產生等厚干涉條紋，也可以產生等傾干涉條紋。主要用于長度和折射率的測量，若觀察到干涉條紋移動一條，便是M2的動臂移動量為λ/2，等效于M1與M2之間的空氣膜厚度改變λ/2。在近代物理和近代計量技術中，如在光譜線精細結構的研究和用光波標定標準米尺等實驗中都有著重要的應用。利用該儀器的原理，研制出多種**干涉儀。 [1]抗干擾能力強：由于使用了兩種不同頻率的激光，干涉儀對環境噪聲和振動的抗干擾能力較強。昆山通用雙頻激光干涉儀選擇

廣泛應用：廣泛應用于材料科學、機械工程、光學測量、精密制造等領域。吳江區銷售雙頻激光干涉儀產品介紹

機床與加工設備：應用于數控機床、磨床、鏜床、加工中心等設備的定位系統校準及誤差修正，以提升加工精度。集成電路制造：支持半導體光刻技術的工件臺的精密定位。物理實驗：測量位移、速度、加速度等動力學參數。在線監測控制：在大規模集成電路加工設備、精密機床中實現誤差的在線測量，以提升生產穩定性。檢測儀器校準：用于線性位移傳感器、角度傳感器、直線度檢測儀等幾何檢測儀器的標定。雙頻激光干涉儀憑借其高精度、強環境適應力、高實時動態測速以及廣泛的應用領域，在精密制造、科研創新以及標準化檢測等方面發揮著關鍵作用。吳江區銷售雙頻激光干涉儀產品介紹

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