分類激光干涉儀主要分為單頻激光干涉儀和雙頻激光干涉儀兩種:?jiǎn)晤l激光干涉儀:在20世紀(jì)60年代中期出現(xiàn),**初用于檢定基準(zhǔn)線紋尺,后用于在計(jì)量室中精密測(cè)長(zhǎng)。它對(duì)環(huán)境要求較高,周圍大氣需處于穩(wěn)定狀態(tài),以避免空氣湍流對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響。雙頻激光干涉儀:出現(xiàn)于1970年,適宜在車間中使用。它應(yīng)用頻率變化來測(cè)量位移,對(duì)由光強(qiáng)變化引起的直流電平變化不敏感,因此抗干擾能力強(qiáng)。雙頻激光干涉儀常用于檢定測(cè)長(zhǎng)機(jī)、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)、光刻機(jī)和加工中心等的坐標(biāo)精度,也可用作測(cè)長(zhǎng)機(jī)、高精度三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等的測(cè)量系統(tǒng)。三、應(yīng)用雙頻激光干涉儀的發(fā)明使激光干涉儀擺脫了計(jì)量室的束縛,更為廣泛的應(yīng)用于工業(yè)生產(chǎn)和科學(xué)研究中。昆山通用雙頻激光干涉儀選擇

反射光和透射光分別垂直入射到全反射鏡M1和M2,它們經(jīng)反射后回到G1(左)的半透半反射膜處,再分別經(jīng)過透射和反射后,來到觀察區(qū)域E。G2(右)為補(bǔ)償板,它與G1為相同材料,有相同的厚度,且平行安裝,目的是要使參加干涉的兩光束經(jīng)過玻璃板的次數(shù)相等,兩束光在到達(dá)觀察區(qū)域E時(shí)沒有因玻璃介質(zhì)而引入額外的光程差。當(dāng)M2和M1'嚴(yán)格平行時(shí),表現(xiàn)為等傾干涉的圓環(huán)形條紋,移動(dòng)M2時(shí),會(huì)不斷從干涉的圓環(huán)中心“吐出”或向中心“吞進(jìn)”圓環(huán)。兩平面鏡之間的“空氣間隙”距離增大時(shí),中心就會(huì)“吐出”一個(gè)個(gè)條紋;反之則“吞進(jìn)”。M2和M1'不嚴(yán)格平行時(shí),則表現(xiàn)為等厚干涉條紋,移動(dòng)M2時(shí),條紋不斷移過視場(chǎng)中某一標(biāo)記位置,M2平移距離 d 與條紋移動(dòng)數(shù) N 的關(guān)系滿足:d=Nλ/2,λ為入射光波長(zhǎng)。昆山通用雙頻激光干涉儀五星服務(wù)光電探測(cè)器將光信號(hào)轉(zhuǎn)為電信號(hào),經(jīng)電路處理提取差頻變化量,然后通過相位比較或脈沖計(jì)數(shù)來計(jì)算位移。

5、導(dǎo)軌、絲桿、螺母與軸孔部分等傳動(dòng)部件,應(yīng)當(dāng)保持良好的潤(rùn)滑。因此必要時(shí)要使用精密儀表油潤(rùn)滑。6、在使用時(shí)應(yīng)避免強(qiáng)旋、硬扳等情況,合理恰當(dāng)?shù)恼{(diào)整部件。7、避免劃傷或腐蝕導(dǎo)軌面絲桿,保持其不失油。1、儀器應(yīng)妥善地放在干燥、清潔的房間內(nèi),防止振動(dòng),儀器搬動(dòng) 時(shí),應(yīng)托住底座,以防導(dǎo)軌變形。 2、光學(xué)零件不用時(shí),應(yīng)存放在清潔的干燥盆內(nèi),以防止發(fā)霉。反光鏡、分光鏡一般不允許擦拭,必要擦拭時(shí),須先用備件毛刷小心撣去灰塵,再用脫脂清潔棉花球滴上酒精和**混合液輕拭。3、傳動(dòng)部件應(yīng)有良好的潤(rùn)滑。特別是導(dǎo)軌、絲桿、螺母與軸孔部分,應(yīng)用T5精密儀表油潤(rùn)滑。
雙頻激光干涉儀是一種利用兩種不同頻率的激光光源進(jìn)行干涉測(cè)量的儀器。它通常用于高精度的位移、振動(dòng)、形變等物理量的測(cè)量。雙頻激光干涉儀的工作原理基于光的干涉現(xiàn)象,即當(dāng)兩束相干光相遇時(shí),會(huì)產(chǎn)生干涉條紋,條紋的變化可以用來精確測(cè)量物體的位移或其他物理量。主要特點(diǎn)和應(yīng)用:高精度:雙頻激光干涉儀能夠?qū)崿F(xiàn)亞納米級(jí)別的測(cè)量精度,適用于微小位移的檢測(cè)。抗干擾能力強(qiáng):由于使用了兩種不同頻率的激光,干涉儀對(duì)環(huán)境噪聲和振動(dòng)的抗干擾能力較強(qiáng)。光纖干涉儀:利用光纖中的光波干涉現(xiàn)象,廣泛應(yīng)用于傳感器、通信等領(lǐng)域。

環(huán)境適應(yīng)力強(qiáng):雙頻激光干涉儀采用交流放大器對(duì)干涉信號(hào)進(jìn)行放大,即使光強(qiáng)衰減90%,仍然可以得到有效的干涉信號(hào)。因此,它既可在恒溫、恒濕、防震的計(jì)量室內(nèi)使用,也可在普通車間內(nèi)為大型機(jī)床的刻度進(jìn)行標(biāo)定。實(shí)時(shí)動(dòng)態(tài)測(cè)速高:現(xiàn)代的雙頻激光干涉儀測(cè)速普遍達(dá)到1m/s,有的甚至達(dá)到十幾m/s,適于高速動(dòng)態(tài)測(cè)量。三、應(yīng)用領(lǐng)域幾何量精密測(cè)量:用于長(zhǎng)度、角度、直線度、平行度、平面度、垂直度等幾何量的高精度測(cè)量。同時(shí),既支持幾十米大量程的檢測(cè)(如大型機(jī)械),也可對(duì)手表零件等微米級(jí)運(yùn)動(dòng)進(jìn)行測(cè)量。激光發(fā)射:激光器發(fā)出單色光束。昆山通用雙頻激光干涉儀選擇
而雙頻激光干涉儀正好克服了這一弱點(diǎn),它是在單頻激光干涉儀的基礎(chǔ)上發(fā)展的一種外差式干涉儀。昆山通用雙頻激光干涉儀選擇
光源:提供相干光,通常是激光,因?yàn)榧す饩哂懈叨鹊南喔尚裕軌虍a(chǎn)生穩(wěn)定的干涉條紋。分束器:將光束分成兩部分,通常使用半透半反鏡或分光棱鏡。反射鏡:調(diào)節(jié)光程差,確保兩束光在干涉屏(或檢測(cè)器)上相遇時(shí)具有合適的相位差。干涉屏(或檢測(cè)器):顯示干涉結(jié)果,或?qū)⒏缮婧蟮墓馐D(zhuǎn)換為電信號(hào)進(jìn)行進(jìn)一步分析。三、分類干涉儀可以按照不同的分類原則進(jìn)行分類,常見的分類方法包括:按結(jié)構(gòu)區(qū)分:分為單路徑干涉儀和多路徑干涉儀。單路徑干涉儀中,干涉的波通過同一路徑傳播,如Sagnac干涉儀、等傾干涉和等厚干涉等;而多路徑干涉儀中,干涉的波通過不同的路徑傳播,如邁克爾遜干涉儀。昆山通用雙頻激光干涉儀選擇
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